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公开(公告)号：CN114112041A
公开(公告)日：2022-03-01
申请号：CN202111406725.7
申请日：2021-11-24
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
Abstract: 本发明公开了一种基于微纳滤光片阵列的光谱成像系统及其扫描方法，涉及光谱成像技术领域，该系统主要包括：成像镜头、微纳滤光片阵列、二维平移台、面阵探测器和计算机；工作时，通过所述计算机控制所述二维平移台按照设定步长进行横向移动和纵向移动，从而使得目标上的每一个空间像点依次被所述微纳滤光片阵列上不同的滤光片进行光谱调制；经过光谱调制后的空间像点通过所述面阵探测器后形成光电信号；所述光电信号通过所述电连接传输至所述计算机，并经过所述计算机处理后形成所述目标的光谱图像；所述设定步长为所述微纳滤光片阵列中滤光片排列的周期。本发明能够实现高空间分辨率、高光谱精度、低成本的光谱成像。
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公开(公告)号：CN113758565A
公开(公告)日：2021-12-07
申请号：CN202010493231.6
申请日：2020-06-03
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
Abstract: 本发明涉及一种用于光谱传感系统中的连接部件及光谱仪。所述连接部件包括：阵列式布设在基底的上表面的多个纳米结构单元；每个纳米结构单元对应一个设定谐振波长值；每个纳米结构单元均由多个圆形环组成；多个圆形环为同心圆环；每个圆形环由多个相同纳米结构按圆周方向均匀排布而成，所有纳米结构单元的焦距均相等。本发明设置了多个纳米结构，通过根据不同波长的光设置每个纳米结构的相位，使每个纳米结构单元的焦距相等以实现不同波长的光聚焦在一个平面上，使面阵探测器能够准确的测量光强分布，以解决分光光学系统所产生的衍射串扰问题，实现光谱传感系统及光谱仪的高效集成化。
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公开(公告)号：CN113447121A
公开(公告)日：2021-09-28
申请号：CN202010221962.5
申请日：2020-03-26
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
IPC: G01J3/28
Abstract: 本发明涉及一种超表面光谱传感系统及光谱仪。所述超表面光谱传感系统包括：面阵探测器和超表面分光系统，所述超表面分光系统包括多个超表面单元；多个所述超表面单元设置在所述面阵探测器的上表面；每个所述超表面单元均包括多个相同的超原子；所述超表面单元用于针对设定谐振波长值透过率和非设定谐振波长值透过率不同，起到分光的作用；一个所述超表面单元对应一个设定谐振波长值；所述面阵探测器用于探测所述超表面单元透过的光。本发明通过在面阵探测器上表面设置集成化的超表面分光系统，以缩小光谱传感系统的体积，进而减小光谱仪的体积，实现光谱仪的小型化。
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公开(公告)号：CN111830009A
公开(公告)日：2020-10-27
申请号：CN202010729989.5
申请日：2020-07-27
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
IPC: G01N21/65
Abstract: 本发明涉及一种全介质超表面集成化拉曼光谱探测系统。该系统包括激光器、光纤、波导、纳米结构阵列、滤波片和超表面光谱仪，波导激发传输拉曼信号，纳米结构阵列设置在波导的上表面，纳米结构阵列提供强电磁场，将探测物分子悬浮设置在纳米结构阵列周围，探测物分子在强电磁场作用下发出拉曼信号，滤波片镀在波导输出端，滤波片将波导输出的泵浦光滤掉，超表面芯片光谱仪设置在滤波片的表面，超表面芯片光谱仪将滤波片滤掉入射光波段后的拉曼信号进行解析，得到探测物分子的各种光谱信息。本发明能够实现拉曼信号的激发、增强、采集在同一结构上同步进行，完成高度集成芯片化拉曼传感系统的目标。
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公开(公告)号：CN110927170A
公开(公告)日：2020-03-27
申请号：CN201911226014.4
申请日：2019-12-04
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
IPC: G01N21/88
Abstract: 本发明提供了一种缺陷确定方法、装置以及系统，通过先确定待测元件表面是否存在参考缺陷点，若存在，则对所确定的参考缺陷点进行预设激光辐照处理，将预设激光辐照处理过程中荧光信号强度的降低量低于第一预设值且散射光信号强度的降低量低于第二预设值的参考缺陷点确定为待测元件表面的目标缺陷点，目标缺陷点即为元件表面低损伤阈值缺陷，有效地实现了对元件表面低损伤阈值缺陷的定位，有利于去除元件表面低损伤阈值缺陷，提高元件的激光损伤性能。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN110849815A
公开(公告)日：2020-02-28
申请号：CN201911213585.4
申请日：2019-12-02
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
Abstract: 本发明涉及一种预测光学元件表面激光损伤性能的方法和系统，通过选取标准光学元件；获取所述标准光学元件的吸收性缺陷分布特性，得到不同吸收水平的缺陷密度；获取损伤性能；损伤性能包括损伤阈值和损伤密度；采用Spearman相关性分析法，确定标准光学元件的不同吸收水平的缺陷密度中与损伤性能相关性最高的缺陷密度，得到各所述损伤性能对应的缺陷密度，并建立损伤性能与其对应的缺陷密度之间的关联曲线，作为标准曲线；获取待检测光学元件的缺陷密度，根据所述标准曲线，确定所述待检测光学元件的损伤性能。本发明提供的预测光学元件表面激光损伤性能的方法和系统，能够在不损坏光学元件的基础上，提高光学元件损伤性能的评估准确性。
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公开(公告)号：CN106277814B
公开(公告)日：2019-04-05
申请号：CN201610606135.1
申请日：2016-07-28
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
IPC: C03C15/02
Abstract: 本发明提供了一种熔石英光学元件表面的处理方法，主要包括如下步骤：(A)对熔石英光学元件的表面进行反应离子刻蚀处理后，去离子水漂洗；(B)再采用HF‑NH4F缓释溶液对熔石英光学元件的表面进行刻蚀处理，去离子水漂洗，即可。本发明实施例的熔石英光学元件的表面处理方法实现了以较低的材料去除量对熔石英光学元件表面进行处理，并使得处理后的熔石英光学元件不仅具有较高的损伤阈值，还具有较低的粗糙度。
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公开(公告)号：CN108710163A
公开(公告)日：2018-10-26
申请号：CN201810436156.2
申请日：2018-05-08
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
IPC: G02B1/10 , G02B1/14 , C09D129/04
Abstract: 一种熔石英表面镀聚乙烯醇涂层、制备方法以及应用，本发明属于光学材料制备技术领域，包括：用孔径为0.15‑0.30μm的PVDF过滤头对质量百分比为0.5％‑5％的聚乙烯醇水溶液进行过滤，最后冷却待用；通过旋涂或提拉镀膜的方式将所述聚乙烯醇镀制在表面整洁的熔石英基片后表面，干燥后得到聚乙烯醇涂层。这种聚乙烯醇涂层能够将最高电场强度的分布从熔石英后表面转移到涂层上，从而降低熔石英后表面的电场强度，其在紫外波段的激光损伤阈值提高10‑20％。这种方法工艺简单，条件温和，易于控制，成本低廉，环境友好，在光学材料领域具有良好的应用前景。
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公开(公告)号：CN107831635B
公开(公告)日：2023-10-24
申请号：CN201711234879.6
申请日：2017-11-30
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
IPC: G03B42/02
Abstract: 本发明公开了一种X射线条纹相机时标光耦合器，该耦合器将靶场提供的紫外时标光信号通过光纤连接到真空紫外光纤连接器上，紫外时标光信号先经过真空紫外光纤连接器，再经过紫外光纤传输到时标光聚焦组件，紫外时标光信号由时标光聚焦组件的壳体入射端入射，然后被聚焦透镜聚焦成很小的光点后从出射端出射，并穿过阴极狭缝后进入X射线条纹相机并被其记录。本发明的X射线条纹相机时标光耦合器能够使X射线条纹相机记录靶场的紫外时标光信号，从而对探测到的物理信号时间进行精密定标，结构简单，操作简易，具有广阔的应用前景。
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公开(公告)号：CN107706075B
公开(公告)日：2023-09-19
申请号：CN201711095055.5
申请日：2017-11-09
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
Abstract: 本发明公开了一种多区域探测扫描变像管。所述的变像管中的阴极、栅网、预偏阵列板I、聚焦系统、预偏阵列板II、隔离网、扫描板和荧光屏沿轴向OZ顺序排列。待测信号穿过阴极上的多条狭缝后，与阴极相互作用发射出多条电子束，电子束在预偏阵列板I与预偏阵列板II的共同作用下实现分离，并在聚焦系统和扫描板的共同作用下，实现对电子束的聚焦成像和扫描，获得待测信号的时空信息。由于各条电子束之间分离距离较大，扫描过程中不会相互干扰。这种多区域探测扫描变像管可以对待测目标的多个区域进行同时测量，可以获取等多的有用信息，具有广阔的应用前景。
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