-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN100371717C
公开(公告)日：2008-02-27
申请号：CN200410012574.7
申请日：2004-09-30
Applicant: 中北大学
IPC: G01P15/10 , G01P15/125
Abstract: 本发明微机械数字式差频加速度计，特点是采用框架结构，其外检测质量块的共振音叉驱动与感应电极等构成两级自振荡装置。两极共振音叉用来驱动整个结构并且输出信号；在没有受到垂直检测质量块沿Y轴方向加速度时，一级、二级框架结构会以不同的频率在X轴方向作简谐运动，此时系统将输出他们的频率差；当受到垂直检测质量块沿Y轴方向的加速度后，一级框架结构内的检测质量块受到压力沿Y轴向下运动，导致整个框架结构质心下移，使得一级框架结构的振动频率增加；同理二级框架结构质心上升振动频率降低；两极共振音叉驱动整个结构输出频率发生变化。它具有较强的抗干扰能力，检测灵敏度高和精度高；结构紧凑，强度好，使用寿命较长。输出数字信号可直接与数字处理器相连接。
-
公开(公告)号：CN1766528A
公开(公告)日：2006-05-03
申请号：CN200510012983.1
申请日：2005-11-11
Applicant: 中北大学
Abstract: 本发明提供了具有较高灵敏度和带宽的差分式微机械陀螺，它以硅作为衬底材料，采用多晶硅或单晶硅材料形成微结构；其特点包括驱动电极、驱动检测电极、检测电极、带驱动梳齿的驱动框架、用于连接驱动框架的柔性杆、驱动框架内带检测梳齿的检测框架、将检测框架与驱动框架相连的柔性杆等；整个结构由柔性杆支撑并悬浮于衬底上方；并采用了直流自动增益控制闭环驱动电路。具有较高灵敏度和带宽，结构紧凑，稳定性好，使用寿命较长等优点。
-
公开(公告)号：CN1766528B
公开(公告)日：2010-09-15
申请号：CN200510012983.1
申请日：2005-11-11
Applicant: 中北大学
Abstract: 本发明提供了具有较高灵敏度和带宽的差分式微机械陀螺，它以硅作为衬底材料，采用多晶硅或单晶硅材料形成微结构；其特点包括驱动电极、驱动检测电极、检测电极、带驱动梳齿的驱动框架、用于连接驱动框架的柔性杆、驱动框架内带检测梳齿的检测框架、将检测框架与驱动框架相连的柔性杆等；整个结构由柔性杆支撑并悬浮于衬底上方；并采用了直流自动增益控制闭环驱动电路。具有较高灵敏度和带宽，结构紧凑，稳定性好，使用寿命较长等优点。
-
公开(公告)号：CN1601282A
公开(公告)日：2005-03-30
申请号：CN200410012574.7
申请日：2004-09-30
Applicant: 中北大学
Abstract: 本发明微机械数字式差频加速度计，特点是由半导体衬底、柔性杆、框架结构、检测质量；框架结构上下两侧的共振音叉驱动与感应电极等构成两级自振荡装置。两极共振音叉用来驱动整个结构并且输出信号；在没有受到垂直方向加速度时，一级、二级框架结构会以不同的频率在水平方向作简谐运动，此时系统将输出他们的频率差；当受到垂直方向向上的加速度后，一级框架结构内的检测质量受到压力向下运动，导致整个框架结构质心下移，使得一级框架结构的振动频率增加；同理，二级框架结构质心上升振动频率降低；因此，两极共振音叉驱动整个结构输出频率发生变化；当受到垂直方向向下的加速度后，情况相反。它具有较强的抗干扰能力，检测灵敏度高和精度高；结构紧凑，强度好，使用寿命较长。输出数字信号可直接与数字处理器相连接。
-
公开(公告)号：CN2729731Y
公开(公告)日：2005-09-28
申请号：CN200420091870.6
申请日：2004-09-30
Applicant: 中北大学
Abstract: 本实用新型微机械数字式差频加速度计，特点是由半导体衬底、柔性杆、框架结构、检测质量；框架结构上下两侧的共振音叉驱动与感应电极等构成两级自振荡装置。两极共振音叉用来驱动整个结构并且输出信号；在没有受到垂直方向加速度时，一级、二级框架结构会以不同的频率在水平方向作简谐运动，此时系统将输出他们的频率差；当受到垂直方向向上的加速度后，一级框架结构内的检测质量受到压力向下运动，导致整个框架结构质心下移，使得一级框架结构的振动频率增加；同理，二级框架结构质心上升振动频率降低；因此，两极共振音叉驱动整个结构输出频率发生变化；当受到垂直方向向下的加速度后，情况相反。它具有较强的抗干扰能力，检测灵敏度高和精度高；结构紧凑，强度好，使用寿命较长。输出数字信号可直接与数字处理器相连接。
-
-
-
-
Search Results
5
records
(took 0.021 seconds)
