-
公开(公告)号：CN101419161A
公开(公告)日：2009-04-29
申请号：CN200810079658.0
申请日：2008-10-24
Applicant: 中北大学
IPC: G01N21/31
Abstract: 本发明涉及基于平面环形微腔的气体检测方法及气体传感器，主要特点是采用两个平面环形微腔与双锥光纤构成的耦合器，一个为检测气体耦合器，另一个为真空环境中耦合器；该气体检测方法是基于倏逝波对不同气体的吸收作用改变了透射光谱峰值的原理，利用待检测气体的检测气体耦合器所透射光谱与真空环境中耦合器所透射光谱进行对比，并由二者的光谱变化来实现检测待测气体的种类和浓度。由该方法设计的气体传感器具有响应时间短、结构相对简单，对于浓度极低的剧毒有害气体也有极高的灵敏性等优点。
-
公开(公告)号：CN101403763A
公开(公告)日：2009-04-08
申请号：CN200810079681.X
申请日：2008-10-28
Applicant: 中北大学
IPC: G01P15/093 , B81B7/02
Abstract: 本发明涉及微机械电子技术，具体是一种基于平面环形微腔的悬臂梁式加速度计。解决了现有高灵敏度加速度计加工工艺相对复杂的问题，基于平面环形微腔的悬臂梁式加速度计包括硅基框架、悬臂梁、以及通过悬臂梁支悬于硅基框架中央的质量块，悬臂梁上设有平面环形微腔，硅基框架上沿与对应悬臂梁垂直的方向设置有与对应悬臂梁上平面环形微腔构成平面环形微腔耦合系统的光波导。本发明结构合理、紧凑，加工方便，灵敏度高，完全可以替代现有各类加速度计而应用于各领域当中进行加速度的测量。
-
公开(公告)号：CN101386403B
公开(公告)日：2011-06-01
申请号：CN200810079408.7
申请日：2008-09-13
Applicant: 中北大学
IPC: B81C1/00
Abstract: 本发明涉及一种采用微光机电系统技术设计的微型传感器，具体为一种利用高Q值的环形微腔加工成的基于环形微腔的微光纤电压传感器。解决了高Q值环形微腔在传感器领域的应用的问题。结构包括由硅柱支撑的平面环形微腔，和与平面环形微腔偶合的锥形光纤，平面环形微腔中部的微盘上设有铝质欧姆接触，在金属欧姆接触上植有两个钨极探针。本发明的优点正是采用日益成熟的MEMS加工工艺技术，以现有的物理知识为理论基础，将电压传感器朝微型化、集成化方向发展。彻底摆脱原有光纤电压传感器体积大、功耗高、受环境影响严重等限制。
-
公开(公告)号：CN101430340A
公开(公告)日：2009-05-13
申请号：CN200810080057.1
申请日：2008-12-06
Applicant: 中北大学
Abstract: 本发明涉及硅微压阻式加速度计，具体是一种能降低温漂的硅微压阻式加速度计。改善了硅微压阻式加速度计的温度特性，减少了温度漂移，该加速度计包括硅基框体、悬臂梁、质量块，设置于悬臂梁与质量块、硅基框体的固定端部的应变压敏电阻，设置于硅基框体上的基准压敏电阻，以及设置于硅基框体外的外围调零电阻；外围调零电阻与应变压敏电阻、基准压敏电阻连接构成惠斯通电桥，外围调零电阻单独作为惠斯通电桥的一个桥臂，且所述外围调零电阻为采用离子注入工艺在另一相同特性的硅基上制作的压敏电阻，在制作该压敏电阻时通过控制离子注入速度对包含该压敏电阻的惠斯通电桥进行调零。本发明调零方便，温度漂移低，输出误差小，工作环境温度范围大。
-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101386403A
公开(公告)日：2009-03-18
申请号：CN200810079408.7
申请日：2008-09-13
Applicant: 中北大学
IPC: B81C1/00
Abstract: 本发明涉及一种采用微光机电系统技术设计的微型传感器，具体为一种利用高Q值的环形微腔加工成的基于环形微腔的微光纤电压传感器。解决了高Q值环形微腔在传感器领域的应用的问题。结构包括由硅柱支撑的平面环形微腔，和与平面环形微腔偶合的锥形光纤，平面环形微腔中部的微盘上设有铝质欧姆接触，在金属欧姆接触上植有两个钨极探针。本发明的优点正是采用日益成熟的MEMS加工工艺技术，以现有的物理知识为理论基础，将电压传感器朝微型化、集成化方向发展。彻底摆脱原有光纤电压传感器体积大、功耗高、受环境影响严重等限制。
-
公开(公告)号：CN101598772B
公开(公告)日：2011-12-07
申请号：CN200910074572.3
申请日：2009-06-26
Applicant: 中北大学
Abstract: 本发明涉及原子蒸汽泡，具体是一种微型原子蒸汽泡制作方法。解决了现有制作微型原子蒸汽泡的方法对工艺、设备要求高，而导致制作成本过高的问题，步骤如下：选取有两平行端面、侧壁开有小直径通孔的微型玻璃腔；置于侧壁上设有锡化锌玻璃窗口的密闭玻璃器皿内，放在悬置于密闭玻璃器皿内的玻璃棒的正下方，通孔正对玻璃棒，对密闭玻璃器皿抽真空，充入惰性气体、碱性金属蒸气；加热密闭玻璃器皿，用激光器经锡化锌玻璃窗口对玻璃棒端部大功率激光照射，玻璃棒溶化为玻璃小液珠，滴落在通孔处，密封通孔；取出；打磨微型玻璃腔平行端面，镀设增透膜。工艺简单、合理，应用装置简单，制作成本低廉，适用于制作微型体积的原子蒸汽泡，意义重大。
-
公开(公告)号：CN101419161B
公开(公告)日：2010-10-13
申请号：CN200810079658.0
申请日：2008-10-24
Applicant: 中北大学
IPC: G01N21/31
Abstract: 本发明涉及基于平面环形微腔的气体检测方法及气体传感器，主要特点是采用两个平面环形微腔与双锥光纤构成的耦合器，一个为检测气体耦合器，另一个为真空环境中耦合器；该气体检测方法是基于倏逝波对不同气体的吸收作用改变了透射光谱峰值的原理，利用待检测气体的检测气体耦合器所透射光谱与真空环境中耦合器所透射光谱进行对比，并由二者的光谱变化来实现检测待测气体的种类和浓度。由该方法设计的气体传感器具有响应时间短、结构相对简单，对于浓度极低的剧毒有害气体也有极高的灵敏性等优点。
-
公开(公告)号：CN101598772A
公开(公告)日：2009-12-09
申请号：CN200910074572.3
申请日：2009-06-26
Applicant: 中北大学
Abstract: 本发明涉及原子蒸汽泡，具体是一种微型原子蒸汽泡制作方法。解决了现有制作微型原子蒸汽泡的方法对工艺、设备要求高，而导致制作成本过高的问题，步骤如下：选取有两平行端面、侧壁开有小直径通孔的微型玻璃腔；置于侧壁上设有锡化锌玻璃窗口的密闭玻璃器皿内，放在悬置于密闭玻璃器皿内的玻璃棒的正下方，通孔正对玻璃棒，对密闭玻璃器皿抽真空，充入惰性气体、碱性金属蒸气；加热密闭玻璃器皿，用激光器经锡化锌玻璃窗口对玻璃棒端部大功率激光照射，玻璃棒溶化为玻璃小液珠，滴落在通孔处，密封通孔；取出；打磨微型玻璃腔平行端面，镀设增透膜。工艺简单、合理，应用装置简单，制作成本低廉，适用于制作微型体积的原子蒸汽泡，意义重大。
-
公开(公告)号：CN201430345Y
公开(公告)日：2010-03-24
申请号：CN200920103562.3
申请日：2009-07-04
Applicant: 中北大学
Abstract: 本实用新型涉及垂直腔面发射激光器，具体是一种垂直腔面发射激光器激光二极管的温度控制装置。改进了现有应用于垂直腔面发射激光器的激光二极管温度控制装置，包括温控电路、用于嵌放激光二极管的冷却体、受温控电路控制的热电致冷器TEC，以及固定于热电致冷器TEC上、且其上均布散热鳍片的热沉，冷却体与激光二极管的接触面上开有凹槽，凹槽内放置有温度传感器；冷却体的外部形状为圆柱状，热电致冷器TEC、热沉皆为圆筒状，热电致冷器TEC套于冷却体外，热沉套于热电致冷器TEC外，冷却体与热电致冷器TEC之间、热电致冷器TEC与热沉之间通过环氧树脂衔接固定。改进简单、合理，能有效控制垂直腔面发射激光器激光二极管的温度，避免出现热控制失调状况。
-
-
-
-
-
-
-
-
Search Results
9
records
(took 0.017 seconds)
