公开(公告)号：CN101430340A

公开(公告)日：2009-05-13

申请号：CN200810080057.1

申请日：2008-12-06

Applicant: 中北大学

Inventor： 张文栋 ,  闫树斌 ,  沈三民 ,  张会新 ,  任小红 ,  荆彦峰 ,  王少辉 ,  吉喆 ,  王宝花 ,  姜国庆 ,  严英占 ,  赵军 ,  张荣彦

IPC: G01P15/12 ,  B81B7/00

Abstract: 本发明涉及硅微压阻式加速度计，具体是一种能降低温漂的硅微压阻式加速度计。改善了硅微压阻式加速度计的温度特性，减少了温度漂移，该加速度计包括硅基框体、悬臂梁、质量块，设置于悬臂梁与质量块、硅基框体的固定端部的应变压敏电阻，设置于硅基框体上的基准压敏电阻，以及设置于硅基框体外的外围调零电阻；外围调零电阻与应变压敏电阻、基准压敏电阻连接构成惠斯通电桥，外围调零电阻单独作为惠斯通电桥的一个桥臂，且所述外围调零电阻为采用离子注入工艺在另一相同特性的硅基上制作的压敏电阻，在制作该压敏电阻时通过控制离子注入速度对包含该压敏电阻的惠斯通电桥进行调零。本发明调零方便，温度漂移低，输出误差小，工作环境温度范围大。

公开(公告)号：CN201430345Y

公开(公告)日：2010-03-24

申请号：CN200920103562.3

申请日：2009-07-04

Applicant: 中北大学

Inventor： 秦丽 ,  赵军 ,  任小红

IPC: H01S5/32 ,  H01S5/183 ,  H01S5/024 ,  G05D23/20

Abstract: 本实用新型涉及垂直腔面发射激光器，具体是一种垂直腔面发射激光器激光二极管的温度控制装置。改进了现有应用于垂直腔面发射激光器的激光二极管温度控制装置，包括温控电路、用于嵌放激光二极管的冷却体、受温控电路控制的热电致冷器TEC，以及固定于热电致冷器TEC上、且其上均布散热鳍片的热沉，冷却体与激光二极管的接触面上开有凹槽，凹槽内放置有温度传感器；冷却体的外部形状为圆柱状，热电致冷器TEC、热沉皆为圆筒状，热电致冷器TEC套于冷却体外，热沉套于热电致冷器TEC外，冷却体与热电致冷器TEC之间、热电致冷器TEC与热沉之间通过环氧树脂衔接固定。改进简单、合理，能有效控制垂直腔面发射激光器激光二极管的温度，避免出现热控制失调状况。