公开(公告)号：CN116997993A

公开(公告)日：2023-11-03

申请号：CN202280021823.5

申请日：2022-03-04

Applicant: 东京毅力科创株式会社 ,  株式会社富士金

Inventor： 广瀬润 ,  泽地淳 ,  松田隆博 ,  渡边一诚 ,  执行耕平 ,  星子泰辉

IPC: H01L21/02

Abstract: 提供一种能够节省空间且能够在短时间内向处理腔室供给稳定的浓度成分的混合气体的气体供给装置。该气体供给装置具有：多个流体控制单元(A1～D2)，其分别包括供气体(G)流通的流路(CH)、以及设于该流路(CH)的中途且对在该流路中流通的气体(G)的流动进行控制的流体控制设备(V1、FC、V2)；以及合流流路(MCH1)，其包括与多个流体控制单元(A1～D2)流体连接的多个连接部(LC1、LC2、RC1、RC2)、以及将通过多个连接部(LC1、LC2、RC1、RC2)导入的气体导出的单一的气体导出部(K1)，多个连接部(LC1、LC2、RC1、RC2)在合流流路(MCH1)的流路方向上相对于气体导出部(K1)对称地配置，且在多个连接部(LC1、LC2、RC1、RC2)分别流体连接有两个以上的流体控制单元。

公开(公告)号：CN105940251A

公开(公告)日：2016-09-14

申请号：CN201580002416.X

申请日：2015-02-10

Applicant: 株式会社富士金

Inventor： 安本直史 ,  土肥亮介 ,  西野功二 ,  池田信一 ,  执行耕平

IPC: F16K31/02 ,  F16K7/14 ,  G05D7/06 ,  H01L41/053 ,  H01L41/09 ,  H02N2/00

CPC classification number: F16K31/004 ,  F16K7/14 ,  F16K7/16 ,  F16K27/041 ,  F16K27/048 ,  F16K31/007 ,  F16K31/008 ,  G05D7/0635 ,  H01L41/053 ,  H01L41/083 ,  H01L41/23 ,  H01L41/25 ,  Y10T137/7761

Abstract: 本发明的目的在于实现压电式线性致动器、压电驱动阀以及流量控制装置的薄型化。本发明的压电式线性致动器具备：层积压电致动器(2)；下部支撑部件(3)，支撑层积压电致动器(2)并在左右侧方向延伸；按压部件(4)，从上部按压层积压电致动器(2)并在左右侧方向延伸；导向部件(5)，连接于下部支撑部件(3)且引导按压部件(4)的左右；和变位传输部件(6)，传输由于层积压电致动器(2)的压电效果产生的变位，变位传输部件(6)具备：一对变位传输板(6a、6b)，以相对于下部支撑部件(3)及按压部件(4)能够上下移动的方式交差且在下部支撑部件(3)的下方及按压部件(4)的上方分别连接；调节螺丝(6g)，与一对变位传输板(6a、6b)连接，能够调节该变位传输板的相对于按压部件(4)的相对高度位置；输出部(6d)，与变位传输板(6a、6b)连接；和弹性体(9)，将该输出部弹推向下方。

公开(公告)号：CN102770697B

公开(公告)日：2014-07-16

申请号：CN201080062408.1

申请日：2010-11-25

Applicant: 株式会社富士金

Inventor： 广濑隆 ,  小川普 ,  吉田俊英 ,  执行耕平

IPC: F16K37/00 ,  F16K31/124 ,  G05D7/00

CPC classification number: F16K31/124 ,  F16K31/1226 ,  F16K37/0066 ,  G05D7/0635

Abstract: 本发明提供一种可以使组合有阀和限位开关的流体控制器小型化的流体控制器。阀(6)具有从壳体(21)的开口突出的突出部，以及作为移动部件的活塞(26)，该活塞(26)随着阀(6)的开闭直线移动而抵接于限位开关(7)。限位开关(7)面对活塞(26)，以能够通过限位开关定位机构(8)调整位置的方式安装。限位开关定位机构(8)具有：固定于主体(2)上的第一螺栓(42)，固定于限位开关(7)上的第二螺栓(43)，以及连接两螺栓(42，43)的连接螺柱(44)，第一螺栓(42)和第二螺栓(43)的螺距不同。

公开(公告)号：CN102265043B

公开(公告)日：2013-12-04

申请号：CN200980152480.0

申请日：2009-11-12

Applicant: 株式会社富士金

Inventor： 广濑隆 ,  筱原努 ,  吉田俊英 ,  执行耕平 ,  山路道雄

IPC: F15D1/02 ,  F16L55/00 ,  G01F1/00 ,  G01F1/42

CPC classification number: F16L23/20 ,  F15D1/025 ,  G01F1/40 ,  G01F1/42 ,  G05D7/0635

Abstract: 提供一种密封性良好、并且能够实现省空间化的垫圈型测流孔及使用该测流孔的压力式流量控制装置。本发明是由在中心部具有贯通状的通路（2a）的测流孔基座（2），在中心部具有连通到上述测流孔基座（2）的通路（2a）的贯通状的通路（3a）的测流孔基座（3），和以气密状插装在两测流孔基座（2、3）之间的在中心部形成有测流孔口的测流孔板（4）构成，配设在流体通路中、将两测流孔基座（2、3）的外侧端面分别作为密封面（2c、3c）的垫圈型测流孔（1），将上述两测流孔基座（2、3）中的位于下游侧的测流孔基座（3）的外径形成为比位于上游侧的测流孔基座（2）的外径大，将位于下游侧的测流孔基座（3）的内侧端面的外周缘部分作为密封面（3d）。

公开(公告)号：CN113366251A

公开(公告)日：2021-09-07

申请号：CN202080011998.9

申请日：2020-01-21

Applicant: 株式会社富士金

Inventor： 稻田敏之 ,  渡边一诚 ,  相川献治 ,  执行耕平 ,  中田知宏 ,  松田隆博 ,  篠原努

IPC: F16K27/00 ,  F16K47/08 ,  F16K1/52 ,  G01F1/42 ,  F16L55/00

Abstract: 提供一种流路组件，其组装有节流件、过滤件等功能部件，其中，功能部件与流路部件之间被长期可靠地密封。第1流路构件(51)具有对环状密封构件(54)的中心轴线(Ct)方向上的一端面进行支承的第1密封面(51f)，所述第2流路构件具有对板状构件的表面进行支承的由平坦面形成的第2密封面、以及对环状密封构件的外周面进行支承的第3密封面，对于环状密封构件，该环状密封构件的另一端面被按压于板状构件的背面，该环状密封构件的一端面被按压于第1流路构件的第1密封面，该环状密封构件的外周面被按压于第2流路构件的第3密封面，板状构件被环状密封构件的另一端面按压而该板状构件的表面被按压于第2流路构件的第2密封面。

公开(公告)号：CN111316026A

公开(公告)日：2020-06-19

申请号：CN201880071444.0

申请日：2018-10-22

Applicant: 株式会社富士金

Inventor： 渡边一诚 ,  执行耕平 ,  相川献治 ,  中田知宏 ,  松田隆博 ,  篠原努

IPC: F16K27/02 ,  F16K7/12

Abstract: 提供一种能够确保所需的流量并且能够飞跃性地提高阀体的流路的配置自由度的小型化了的阀装置。所述阀装置具有：阀座支承件(50)，其设于收纳凹部(22)内，具有与阀座(16)的密封面(16f)抵接并且对来自该密封面(16f)的按压力进行支承的支承面(50f1)；以及隔膜(14)，其以能够与阀座(16)的座面(16s)抵接和分离的方式设置在收纳凹部(22)内，将收纳凹部(22)的开口侧密闭，阀座支承件(50)具有与收纳凹部(22)的内壁面的一部分协同动作而将初级侧流路(21)和次级侧流路(24)之间的连通切断的密封面(50b1、50b2、50b3)、以及连接初级侧流路(21)和阀座(16)的流通流路(16a)的迂回流路(50a)。

公开(公告)号：CN105190142A

公开(公告)日：2015-12-23

申请号：CN201480004461.4

申请日：2014-03-17

Applicant: 株式会社富士金

Inventor： 广濑隆 ,  山路道雄 ,  吉田俊英 ,  执行耕平

IPC: F16K31/02 ,  F16K27/02

Abstract: 本发明通过实现在流量控制装置等中使用的压电元件驱动式金属隔膜控制阀的构造的简单化和小型化、组装及维护检修的容易化，不会造成半导体制造装置用集成化气体供给装置等的大型化，就可以应对供给气体种类、供给电路数量的增加的要求。本发明由下述部件构成：包括具有阀座(6)的上方敞口的阀室用孔部(1a)和与之连通的流体入口通路(7a)以及流体出口通路(7b)的阀主体(1)；在阀座(6)的上方相对状配设并且外周缘固定于阀室用孔部(1a)的底面的倒碟形的金属隔膜阀体(2)；螺纹旋插到阀室用孔部(1a)中并按压固定金属隔膜阀体(2)的外周缘的压紧螺钉(5)；通过压紧螺钉(5)内部并插入到阀室用孔部(1a)内，在前端部的底壁下方具备隔膜压件(3)，并且在侧壁上相对且贯通状地设置有从侧壁的上端到达中间部的长方形的切口(22a)的下部支承筒体(22)；螺接到下部支承筒体(22)的上端部而形成支承筒体(23)的圆筒状的上部支承筒体(21)；载置在下部支承筒体(22)的底壁上的具有保持部(8a)的碟簧承受台(8)；载置在碟簧承受台(8)上的碟簧(18)；插通下部支承筒体(22)的切口(22a)而水平配设，中央具有保持碟簧保持部(8a)的前端部的碟簧承受台引导孔(19)，并且在两端部设置有螺栓插入孔(20)的支承台架(16)；载置在支承台架(16)的碟簧承受台引导孔(19)的上方的下部承受台(9)；插入下部承受台(9)的上方的支承筒体(23)内的压电元件(10)；具备引导筒(24a)和从其下端部向两侧突出的凸缘部(24c)，使支承筒体(23)以能够向上下方向移动的方式插通到引导筒(24a)内，并且使凸缘部(24c)与支承台架(16)的两端部相对，利用固定用螺栓(17)与所述支承台架(16)一并被固定于阀主体(1)的引导体(24)；和螺接在上部支承筒体(21)的上端部的定位螺母(12)，通过压电元件(10)的伸长将支承筒体(23)推向上方，利用金属隔膜阀体(2)的弹力使其从阀座(6)分离。

公开(公告)号：CN102812275B

公开(公告)日：2015-05-20

申请号：CN201080065200.5

申请日：2010-12-09

Applicant: 株式会社富士金

Inventor： 广濑隆 ,  小川普 ,  吉田俊英 ,  执行耕平

IPC: F16K31/122 ,  F16K37/00

CPC classification number: F16K7/14 ,  F16K31/1225 ,  F16K31/1226

Abstract: 本发明提供一种流体控制器，能够以简单结构对其开闭状态进行视觉确认。外壳(3)以在上方开口的方式形成，在阀杆(7)位于上方位置时，以使活塞上端部从外壳(3)的开口露出的方式在阀杆(7)上端部设置活塞(8)。

公开(公告)号：CN111836985A

公开(公告)日：2020-10-27

申请号：CN201980016155.5

申请日：2019-02-19

Applicant: 株式会社富士金

Inventor： 渡边一诚 ,  执行耕平 ,  泽田洋平 ,  中田知宏 ,  篠原努

IPC: F16K7/16 ,  F16K27/02 ,  H01L21/02

Abstract: 本发明提供进一步降低物理性冲击对阀芯的影响的阀装置。阀装置(1)具有：阀座(41)，其配置在与形成于阀体(3)内的流路连接的开口的周围；隔膜(5)，其通过在相对于阀座(41)接触的接触位置以及相对于阀座(41)不接触的非接触位置之间移动而进行流路的开闭；按压转接器(6)，其与隔膜(5)的周缘部接触；壳体(2)，其内置有使隔膜(5)动作的致动器，与形成于阀体(3)的螺纹孔螺纹结合而固定在阀体(3)；以及转接器固定环(7)，其与螺纹孔螺纹结合并对按压转接器(6)以及隔膜(5)进行按压，并且固定在阀体(3)内。

公开(公告)号：CN111295544A

公开(公告)日：2020-06-16

申请号：CN201880071418.8

申请日：2018-10-24

Applicant: 株式会社富士金

Inventor： 渡边一诚 ,  执行耕平 ,  相川献治 ,  中田知宏 ,  松田隆博 ,  篠原努

IPC: F16L55/00 ,  F16K1/42 ,  F16K7/14 ,  F16K27/02 ,  F16K51/00

Abstract: 提供一种组装有节流孔、过滤器等功能部件的流路组件，功能部件与划定流路的流路部件之间被长期可靠地密封。在流路构件(51、52)的相对面(51f、52f)的外侧具有介于流路构件(51、52)之间的环状的弹性构件(54)，流路构件(52)具有凿紧部(52e_c)，凿紧部(52e_c)将流路构件(51、52)和板状构件一体化，以相对面(51f、52f)中的一者朝向相对面(51f、52f)中的另一者的方式对流路构件(52)施加力，对作为板状构件的节流孔板(53)与相对面(51f、52f)之间进行密封，弹性构件(54)在流路构件(51、52)之间被压扁而对流路构件(51、52)之间进行密封。