公开(公告)号：CN114599459A

公开(公告)日：2022-06-07

申请号：CN202080075319.4

申请日：2020-09-29

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 乔舒亚·霍格 ,  迈克尔·卡尔卡西 ,  马克·萨默维尔

IPC: B05C11/10 ,  B05C13/02 ,  B05C5/02 ,  H01L21/67

Abstract: 本文描述了用于监测和同步用于处理系统的分配系统的实施例。对于一个实施例，使用压力传感器和流速传感器来确定流量变化事件与流速增加之间的延迟，并且使用该延迟来检测该分配系统内的缺陷或状况。对于一个实施例，使用流速传感器来同步分配系统操作。对于一个实施例，使用基于组合的压力/流量/自旋/浓度传感器数据的模拟模型或复合分配曲线来实现复杂的工艺方案。对于一个实施例，使用分配间的压力和/或流速测量结果来检测分配参数和缺陷。对于一个实施例，使用相机和图像处理来检测分配喷嘴的流速，并且使用分配间的测量结果来检测分配参数和缺陷。所披露实施例中的一个或多个可以用在用于微电子工件的处理系统中。

公开(公告)号：CN114631175A

公开(公告)日：2022-06-14

申请号：CN202080076992.X

申请日：2020-09-30

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 迈克尔·卡尔卡西 ,  乔舒亚·霍格 ,  马克·萨默维尔 ,  岩城浩之 ,  田所真任 ,  榎本正志 ,  乔尔·埃斯特雷拉 ,  桾本裕一朗

IPC: H01L21/67 ,  H01L21/66 ,  G01N21/95

Abstract: 相机图像可以用于检测衬底边缘，并提供关于该衬底在流体分配系统内的定心的信息。相机图像还可以用于监测该流体分配系统内的杯形件的位置。所利用的信号处理技术可以包括数据平滑、仅分析反射能量的特定波长、变换数据(在一个实施例中利用傅立叶变换)、和/或分析所收集的数据像素的子集。本文收集的相机图像数据可以与各种各样的其他数据组合，以便更好地监测、表征和/或控制衬底加工工艺流程。

公开(公告)号：CN114127895A

公开(公告)日：2022-03-01

申请号：CN202080042922.2

申请日：2020-06-09

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 瑞安·布恩斯 ,  马克·萨默维尔 ,  科里·莱姆利

IPC: H01L21/033 ,  H01L21/311

Abstract: 在某些实施例中，一种用于处理衬底的方法包括：将表面处理施加到衬底的选定表面。衬底具有不平坦形貌，该不平坦形貌包括限定凹部的结构。该方法进一步包括：通过旋涂沉积将填充材料沉积在衬底上。表面处理将填充材料引导到凹部和引导远离选定表面，以用填充材料来填充凹部而不附着到选定表面。该方法进一步包括：从衬底的选定表面移除表面处理并通过旋涂沉积将平坦化膜沉积在衬底上。平坦化膜沉积在顶表面以及填充材料的顶表面上。