公开(公告)号：CN100508127C

公开(公告)日：2009-07-01

申请号：CN02829607.9

申请日：2002-09-20

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 斋藤孝规 ,  长内长荣

IPC: H01L21/205 ,  F27D1/00 ,  F27D11/02 ,  H05B3/62 ,  H01L21/22

Abstract: 本发明的热处理装置具备：用于收容被处理体的反应室、按照包围所述反应室那样设置的隔热体、设置在所述隔热体上的多个孔、分别设置在所述多个孔内部的多个环形间隔部件、和分别插入到所述多个环形间隔部件内的多个加热器元件。

公开(公告)号：CN100505167C

公开(公告)日：2009-06-24

申请号：CN02822002.1

申请日：2002-09-27

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 斋藤孝规 ,  牧谷敏幸 ,  长内长荣 ,  泷泽刚 ,  岛津和久 ,  长谷部一秀 ,  山本博之 ,  斋藤幸正 ,  山贺健一

IPC: H01L21/205

CPC classification number: H01L21/67109 ,  H01L21/67098

Abstract: 本发明提供一种热处理装置，包括：上端部形成有开口部的加热炉主体；该开口部处设置的加热炉主体用罩盖部件；设置在加热炉主体内壁处的加热组件；收装在加热炉主体内部处、单管构成的反应容器；形成在反应容器上部、贯通所述罩盖部件的排气配管连接部；和设置在排气配管连接部周围、控制排气配管连接部温度的第一温度控制组件，排气配管连接部处连接有排出反应容器内的气体的排气配管，排气配管连接部的端部处和排气配管的端部处都形成有凸缘部，排气配管连接部端部处与排气配管端部处的凸缘部被连接，在排气配管连接部的端部处的凸缘部和排气配管端部处的凸缘部中的至少一个上设置有对凸缘部彼此连接部分处的温度实施控制用的第三温度控制组件。

公开(公告)号：CN1669124A

公开(公告)日：2005-09-14

申请号：CN02829607.9

申请日：2002-09-20

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 斋藤孝规 ,  长内长荣

IPC: H01L21/205 ,  F27D1/00 ,  F27D11/02 ,  H05B3/62 ,  H01L21/22

Abstract: 本发明的热处理装置具备：用于收容被处理体的反应室、按照包围所述反应室那样设置的隔热体、设置在所述隔热体上的多个孔、分别设置在所述多个孔内部的多个环形间隔部件、和分别插入到所述多个环形间隔部件内的多个加热器元件。

公开(公告)号：CN1608312A

公开(公告)日：2005-04-20

申请号：CN02822002.1

申请日：2002-09-27

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 斋藤孝规 ,  牧谷敏幸 ,  长内长荣 ,  泷泽刚 ,  岛津和久 ,  长谷部一秀 ,  山本博之 ,  斋藤幸正 ,  山贺健一

IPC: H01L21/205

CPC classification number: H01L21/67109 ,  H01L21/67098

Abstract: 本发明提供了一种热处理装置，它包括：在上端部形成有开口部的加热炉主体：设置在所述加热炉主体内壁处的加热组件；收装在所述加热炉主体内部处的、由单管构成的反应容器：形成在所述反应容器上部处的排气配管连接部；以及设置在所述排气配管连接部周围位置处的第一温度控制组件。

公开(公告)号：CN2573509Y

公开(公告)日：2003-09-17

申请号：CN02282982.2

申请日：2002-09-27

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 斋藤孝规 ,  牧谷敏幸 ,  长内长荣 ,  泷泽刚 ,  岛津和久 ,  长谷部一秀 ,  山本博之 ,  斋藤幸正 ,  山贺健一

IPC: C23C16/00

CPC classification number: H01L21/67109 ,  H01L21/67098

Abstract: 本实用新型提供了一种热处理装置，它包括：在上端部形成有开口部的加热炉主体；设置在所述加热炉主体内壁处的加热组件；收装在所述加热炉主体内部处的、由单管构成的反应容器；形成在所述反应容器上部处的排气配管连接部；以及设置在所述排气配管连接部周围位置处的第一温度控制组件。所述排气配管连接部呈弯曲形式。