公开(公告)号：CN104303284A

公开(公告)日：2015-01-21

申请号：CN201380025694.8

申请日：2013-05-02

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 熊谷圭太 ,  佐佐木义明 ,  菊岛博人 ,  井富隼人

IPC: H01L21/677 ,  F24F7/06 ,  F24F13/08 ,  H01L21/02 ,  H01L21/205

CPC classification number: H01L21/67742 ,  F24F13/02 ,  H01L21/02041 ,  H01L21/67109 ,  H01L21/67766 ,  H01L21/67781 ,  H01L21/681 ,  H01L21/68707 ,  Y10S901/30

Abstract: 本发明提供一种冷却机构(10)，其特征在于，该冷却机构(10)包括：多个支承台(54)，其设于形成有下降流的大气输送室(6)，且沿上下方向设为多层；多个支承销(56)，其设于各所述支承台(54)，用于与所述被处理体(W)的背面接触而支承所述被处理体(W)；和折流板(58)，其设于所述支承台(54)，用于利用所述下降流冷却被支承在位于该支承台(54)的下层的支承台(54)上的所述被处理体(W)。

公开(公告)号：CN104303284B

公开(公告)日：2016-10-26

申请号：CN201380025694.8

申请日：2013-05-02

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 熊谷圭太 ,  佐佐木义明 ,  菊岛博人 ,  井富隼人

IPC: H01L21/677 ,  F24F7/06 ,  F24F13/08 ,  H01L21/02 ,  H01L21/205

CPC classification number: H01L21/67742 ,  F24F13/02 ,  H01L21/02041 ,  H01L21/67109 ,  H01L21/67766 ,  H01L21/67781 ,  H01L21/681 ,  H01L21/68707 ,  Y10S901/30

Abstract: 本发明提供一种冷却机构(10)，其特征在于，该冷却机构(10)包括：多个支承台(54)，其设于形成有下降流的大气输送室(6)，且沿上下方向设为多层；多个支承销(56)，其设于各所述支承台(54)，用于与所述被处理体(W)的背面接触而支承所述被处理体(W)；和折流板(58)，其设于所述支承台(54)，用于利用所述下降流冷却被支承在位于该支承台(54)的下层的支承台(54)上的所述被处理体(W)。