公开(公告)号：CN108292599B

公开(公告)日：2022-06-10

申请号：CN201680068848.5

申请日：2016-11-17

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 小佐井一树 ,  甲斐義广 ,  五师源太郎 ,  小宫洋司 ,  藤本诚也 ,  大塚贵久

IPC: H01L21/306 ,  H01L21/304

Abstract: 基板处理装置具备：基板保持部(31)，其保持基板(W)；外喷嘴(45)，其以使基板的表面的至少中心部被喷出的处理液的液膜覆盖的方式从比被基板保持部保持的基板的外周缘靠外侧的位置朝向基板的表面喷出处理液；以及致动器(46、90)，其能够变更外喷嘴的高度位置或俯仰角。

公开(公告)号：CN107240565A

公开(公告)日：2017-10-10

申请号：CN201710137651.9

申请日：2017-03-09

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 饭野正 ,  井原亨 ,  甲斐義广 ,  德永容一

IPC: H01L21/67 ,  H05F3/02

CPC classification number: C25D17/08 ,  C25D7/12 ,  C25D17/007 ,  C25D21/12 ,  H01L21/2885 ,  H01L21/67023 ,  H01L21/67173 ,  H01L21/6723 ,  H01L21/67253 ,  H01L21/67742 ,  H01L21/68728 ,  H01L21/68742 ,  H01L21/6875 ,  H01L21/68785 ,  H01L21/68792 ,  H05F3/02

Abstract: 本发明提供一种能够适当地保护基板以避免基板发生电气故障的基板处理装置和基板处理方法。实施方式所涉及的基板处理装置具备导电性的保持部、导通路径部、供给部、接地部以及可变电阻部。保持部用于保持基板。导通路径部与保持部接触，由导电性材料形成。供给部对被保持部保持着的基板供给处理液。接地部的一端部与导通路径部连接，接地部的另一端部连接于接地电位。可变电阻部设置于接地部，能够变更电阻值。

公开(公告)号：CN107240565B

公开(公告)日：2021-11-16

申请号：CN201710137651.9

申请日：2017-03-09

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 饭野正 ,  井原亨 ,  甲斐義广 ,  德永容一

IPC: H01L21/67 ,  H05F3/02

Abstract: 本发明提供一种能够适当地保护基板以避免基板发生电气故障的基板处理装置和基板处理方法。实施方式所涉及的基板处理装置具备导电性的保持部、导通路径部、供给部、接地部以及可变电阻部。保持部用于保持基板。导通路径部与保持部接触，由导电性材料形成。供给部对被保持部保持着的基板供给处理液。接地部的一端部与导通路径部连接，接地部的另一端部连接于接地电位。可变电阻部设置于接地部，能够变更电阻值。

公开(公告)号：CN108292599A

公开(公告)日：2018-07-17

申请号：CN201680068848.5

申请日：2016-11-17

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 小佐井一树 ,  甲斐義广 ,  五师源太郎 ,  小宫洋司 ,  藤本诚也 ,  大塚贵久

IPC: H01L21/306 ,  H01L21/304

CPC classification number: H01L21/304 ,  H01L21/306

Abstract: 基板处理装置具备：基板保持部(31)，其保持基板(W)；外喷嘴(45)，其以使基板的表面的至少中心部被喷出的处理液的液膜覆盖的方式从比被基板保持部保持的基板的外周缘靠外侧的位置朝向基板的表面喷出处理液；以及致动器(46、90)，其能够变更外喷嘴的高度位置或俯仰角。