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公开(公告)号：CN109423625B
公开(公告)日：2021-01-22
申请号：CN201810964713.8
申请日：2018-08-23
Applicant: 东京毅力科创株式会社
IPC: C23C16/455 , C23C16/24 , C23C16/34
Abstract: 本公开涉及成膜方法以及成膜装置。在使用包含有机金属化合物的气体对基板进行成膜时，防止基板的背面被金属污染。实施以下工序：预涂工序，向没有被搬入基板(W)的状态的处理容器(11)内供给包含硅的第一气体，利用由硅构成的膜来覆盖包括用于载置基板(W)的载置台(31)在内的所述处理容器(11)内的构件的表面；载置工序，接着，将所述基板(W)以其背面与由所述硅构成的膜接触的方式载置于所述载置台(31)；以及成膜工序，接着，向所述处理容器(11)内供给包含有机金属化合物的第二气体，从而在基板(W)上形成由构成所述有机金属化合物的金属构成的膜。
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公开(公告)号：CN112178332B
公开(公告)日：2022-05-27
申请号：CN202010578342.7
申请日：2020-06-23
Applicant: 东京毅力科创株式会社
Abstract: 本发明提供密封结构、真空处理装置和密封方法。在真空气氛下进行基片的处理的处理腔室所连接的气体供给配管的密封结构，其包括：第1配管部件，其构成上述气体供给配管，具有形成有与处理腔室连通的开口部的端面；第2配管部件，其构成上述气体供给配管，具有被配置在与上述第1配管部件的端面对置的位置的对置面；弹性体制的密封部件，其以包围上述开口部的方式设置在上述第1配管部件的端面与上述第2配管部件的对置面之间；和片状的多孔部件，其以包围上述密封部件的周围的方式设置在上述第1配管部件的端面与上述第2配管部件的对置面之间。本发明在使用弹性体制的密封部件进行密封时，能够抑制大气透过。
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公开(公告)号：CN112185882A
公开(公告)日：2021-01-05
申请号：CN202010600872.7
申请日：2020-06-28
Applicant: 东京毅力科创株式会社
IPC: H01L21/687 , H01L21/67 , H01L21/677
Abstract: 本发明提供基板处理装置和基板的交接方法。在将基板利用载置台加热、冷却的情况下，改善基板的温度的面内均匀性，防止基板支承销折断。基板处理装置包括：具有沿上下方向贯通载置台的贯通孔的载置台，其在上表面载置基板，并对基板进行加热和/或冷却；设有贯穿贯通孔且能够自载置台的上表面突出的贯穿部的基板支承销；能够支承基板支承销的销支承构件，基板支承销设有位于比载置台的下表面靠下侧的凸缘部，销支承构件利用与凸缘部的卡合来支承基板支承销，载置台的贯通孔比基板支承销的凸缘部细，基板支承销具有包含凸缘部的第1构件和与第1构件独立且包含贯穿部的第2构件，第1构件具有载置第2构件且将其支承为滑动自如的滑动面。
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公开(公告)号：CN112185881A
公开(公告)日：2021-01-05
申请号：CN202010599609.0
申请日：2020-06-28
Applicant: 东京毅力科创株式会社
IPC: H01L21/687 , H01L21/67
Abstract: 本发明提供载置台、基板处理装置以及载置台的组装方法。抑制盖构件相对于载置台主体的位置偏移，利用用于抑制该位置偏移的机构防止载置台主体热膨胀或者热收缩时该载置台主体产生破损。载置基板的载置台包括：载置台主体，该载置台主体在上表面载置基板；盖构件，其覆盖载置台主体的上表面的外缘部；以及位置偏移防止用构件，其设于载置台主体的上表面与盖构件的下表面之间，能够滚动或者滑动，在载置台主体的上表面形成有收容位置偏移防止用构件的主体侧凹部，在盖构件的下表面形成有收容被主体侧凹部收容的位置偏移防止用构件的盖侧凹部，主体侧凹部和盖侧凹部中的至少任一者形成为具有沿着载置台主体的径向的倾斜面的研钵状。
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公开(公告)号：CN111834281A
公开(公告)日：2020-10-27
申请号：CN202010275474.2
申请日：2020-04-09
Applicant: 东京毅力科创株式会社
IPC: H01L21/687 , H01L21/67
Abstract: 本发明提供一种基板处理装置。在利用载置台加热或冷却被载置到该载置台的基板的情况下，改善基板的温度的面内均匀性。一种基板处理装置，其是对基板进行处理的基板处理装置，其具备：载置台，其具有在上下方向上贯通的贯通孔，在上表面载置基板并进行所载置的该基板的加热和冷却中的至少任一者；升降销，其构成为，贯穿所述贯通孔，并且能够经由所述贯通孔从所述载置台的上表面突出；以及支承构件，其构成为能够支承所述升降销，所述升降销具有位于比所述载置台的下表面靠下侧的位置的凸缘部，所述支承构件通过与所述凸缘部卡合来支承所述升降销，所述载置台的所述贯通孔比所述升降销的所述凸缘部细。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN111834281B
公开(公告)日：2024-07-30
申请号：CN202010275474.2
申请日：2020-04-09
Applicant: 东京毅力科创株式会社
IPC: H01L21/687 , H01L21/67
Abstract: 本发明提供一种基板处理装置。在利用载置台加热或冷却被载置到该载置台的基板的情况下，改善基板的温度的面内均匀性。一种基板处理装置，其是对基板进行处理的基板处理装置，其具备：载置台，其具有在上下方向上贯通的贯通孔，在上表面载置基板并进行所载置的该基板的加热和冷却中的至少任一者；升降销，其构成为，贯穿所述贯通孔，并且能够经由所述贯通孔从所述载置台的上表面突出；以及支承构件，其构成为能够支承所述升降销，所述升降销具有位于比所述载置台的下表面靠下侧的位置的凸缘部，所述支承构件通过与所述凸缘部卡合来支承所述升降销，所述载置台的所述贯通孔比所述升降销的所述凸缘部细。
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公开(公告)号：CN112185882B
公开(公告)日：2024-05-03
申请号：CN202010600872.7
申请日：2020-06-28
Applicant: 东京毅力科创株式会社
IPC: H01L21/687 , H01L21/67 , H01L21/677
Abstract: 本发明提供基板处理装置和基板的交接方法。在将基板利用载置台加热、冷却的情况下，改善基板的温度的面内均匀性，防止基板支承销折断。基板处理装置包括：具有沿上下方向贯通载置台的贯通孔的载置台，其在上表面载置基板，并对基板进行加热和/或冷却；设有贯穿贯通孔且能够自载置台的上表面突出的贯穿部的基板支承销；能够支承基板支承销的销支承构件，基板支承销设有位于比载置台的下表面靠下侧的凸缘部，销支承构件利用与凸缘部的卡合来支承基板支承销，载置台的贯通孔比基板支承销的凸缘部细，基板支承销具有包含凸缘部的第1构件和与第1构件独立且包含贯穿部的第2构件，第1构件具有载置第2构件且将其支承为滑动自如的滑动面。
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公开(公告)号：CN112992769B
公开(公告)日：2024-01-30
申请号：CN202011457639.4
申请日：2020-12-11
Applicant: 东京毅力科创株式会社
IPC: H01L21/687 , H01L21/67
Abstract: 本发明提供基板处理装置和载置台。在利用具有贯通孔的载置台对载置于该载置台的基板进行加热、冷却的情况下改善基板的温度的面内均匀性。用于对基板进行处理的基板处理装置包括：具有沿上下方向贯通的贯通孔的载置台，其上表面供基板载置并对基板进行加热和/或冷却；贯穿于贯通孔的基板支承销；构成为能够支承基板支承销的支承构件，基板支承销具有：构成为能够经由贯通孔自载置台的上表面突出的突出部；位于突出部的下方并形成得比突出部粗的大径部，载置台还具有形成为自载置台的侧面延伸并与贯通孔相交、供支承构件插入的横孔，在支承构件插入于横孔的状态下利用与大径部之间的卡合来支承基板支承销，贯通孔的上侧的开口端比大径部细。
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公开(公告)号：CN112992769A
公开(公告)日：2021-06-18
申请号：CN202011457639.4
申请日：2020-12-11
Applicant: 东京毅力科创株式会社
IPC: H01L21/687 , H01L21/67
Abstract: 本发明提供基板处理装置和载置台。在利用具有贯通孔的载置台对载置于该载置台的基板进行加热、冷却的情况下改善基板的温度的面内均匀性。用于对基板进行处理的基板处理装置包括：具有沿上下方向贯通的贯通孔的载置台，其上表面供基板载置并对基板进行加热和/或冷却；贯穿于贯通孔的基板支承销；构成为能够支承基板支承销的支承构件，基板支承销具有：构成为能够经由贯通孔自载置台的上表面突出的突出部；位于突出部的下方并形成得比突出部粗的大径部，载置台还具有形成为自载置台的侧面延伸并与贯通孔相交、供支承构件插入的横孔，在支承构件插入于横孔的状态下利用与大径部之间的卡合来支承基板支承销，贯通孔的上侧的开口端比大径部细。
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公开(公告)号：CN112178332A
公开(公告)日：2021-01-05
申请号：CN202010578342.7
申请日：2020-06-23
Applicant: 东京毅力科创株式会社
Abstract: 本发明提供密封结构、真空处理装置和密封方法。在真空气氛下进行基片的处理的处理腔室所连接的气体供给配管的密封结构，其包括：第1配管部件，其构成上述气体供给配管，具有形成有与处理腔室连通的开口部的端面；第2配管部件，其构成上述气体供给配管，具有被配置在与上述第1配管部件的端面对置的位置的对置面；弹性体制的密封部件，其以包围上述开口部的方式设置在上述第1配管部件的端面与上述第2配管部件的对置面之间；和片状的多孔部件，其以包围上述密封部件的周围的方式设置在上述第1配管部件的端面与上述第2配管部件的对置面之间。本发明在使用弹性体制的密封部件进行密封时，能够抑制大气透过。
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