公开(公告)号：CN113543920B

公开(公告)日：2023-04-11

申请号：CN202080019362.9

申请日：2020-02-28

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 前田浩史 ,  三村勇之 ,  饭野克宏 ,  古屋径荣 ,  坂本亮一 ,  山崎亮

IPC: H01L21/02 ,  H01L21/677 ,  B23K20/00

Abstract: 一种接合系统，具备：表面改性装置，其在减压气氛下对第一基板的包括金属层的接合面和第二基板的包括金属层的接合面一边加热一边改性；以及接合装置，其将所述改性后的所述第一基板的所述接合面和所述改性后的所述第二基板的所述接合面相对来进行接合，所述接合系统还具备：大气搬送装置，其在充满常压的大气的大气搬送区域中搬送所述第一基板和所述第二基板；加载互锁装置，其在用于在所述大气搬送区域与表面改性装置之间搬送所述第一基板和所述第二基板的搬送路径的中途形成切换气压的加载互锁室；以及冷却装置，其在将所述改性后的所述第一基板和所述改性后的所述第二基板中的至少一个基板从所述加载互锁室搬出至所述大气搬送区域之前冷却所述至少一个基板。

公开(公告)号：CN115910895A

公开(公告)日：2023-04-04

申请号：CN202210954916.5

申请日：2022-08-10

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 寺田尚司 ,  三村勇之 ,  前田浩史 ,  野田和孝 ,  本田胜 ,  坂本亮一 ,  山崎穰 ,  北山殖也 ,  福富亮

IPC: H01L21/683 ,  H01L21/67

Abstract: 本发明涉及剥离方法、剥离装置以及剥离系统。提供一种能够使剥离处理高效化的技术。本公开的一技术方案的剥离方法包含保持的工序和剥离的工序。保持的工序对将第1基板与第2基板接合而成的重合基板进行保持。剥离的工序以重合基板的侧面为起点自重合基板剥离第1基板。另外，剥离的工序包含使含有水的流体与侧面接触的工序。

公开(公告)号：CN116724378A

公开(公告)日：2023-09-08

申请号：CN202280010522.2

申请日：2022-01-13

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 三村勇之 ,  前田浩史 ,  增住拓朗 ,  寺田尚司 ,  本田胜 ,  坂本亮一 ,  布瀬晓志 ,  久保田雄介

IPC: H01L21/02

Abstract: 本公开的表面改性方法用于通过处理气体的等离子体将基板的与其它基板接合的接合面进行改性，所述表面改性方法包括调整工序和改性工序。在调整工序中，通过向能够收容基板的处理容器内供给加湿后的气体，来调整处理容器内的水分量。在改性工序中，在调整了处理容器内的水分量的状态下，在处理容器内生成处理气体的等离子体，由此将基板的接合面进行改性。

公开(公告)号：CN116762153A

公开(公告)日：2023-09-15

申请号：CN202280010161.1

申请日：2022-01-19

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 寺田尚司 ,  三村勇之 ,  前田浩史 ,  增住拓朗 ,  本田胜 ,  坂本亮一

IPC: H01L21/02

Abstract: 表面改性装置是通过处理气体的等离子体对基板的要与其它基板接合的接合面进行改性的表面改性装置。表面改性装置具备处理容器、测定部以及控制各部的控制部。处理容器以能够收容基板的方式构成。测定部测定表示处理容器内的水分量的值。控制部基于由测定部测定出的表示处理容器内的水分量的值，来判定在假定为将在处理容器内改性后的基板与其它基板进行了接合的情况下基板与其它基板之间的接合强度是否良好。

公开(公告)号：CN115428121A

公开(公告)日：2022-12-02

申请号：CN202180026341.4

申请日：2021-03-30

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 川内拓男 ,  松永正隆 ,  坂本亮一 ,  本田胜 ,  西村理志

IPC: H01L21/02 ,  H01L21/677

Abstract: 第1输送装置(22)和第2输送装置(32)在常压气氛下输送第1基板(W1)和第2基板(W2)。第3输送装置(34)在减压气氛下输送第1基板(W1)和第2基板(W2)。加载互锁室(31d)具有能够收纳第1基板(W1)和第2基板(W2)的收纳部(311、312)，并能够将收纳部(311、312)在常压气氛与减压气氛之间切换。多个闸门(101～104)分别设于加载互锁室(31d)的不同的三个侧面，并能够开闭加载互锁室(31d)。另外，第1输送装置(22)、第2输送装置(32)以及第3输送装置(34)经由多个闸门(101～104)中的各不相同的闸门(101～104)来相对于加载互锁室(31d)进行第1基板(W1)和第2基板(W2)的送入送出。

公开(公告)号：CN115410997A

公开(公告)日：2022-11-29

申请号：CN202210558803.3

申请日：2022-05-20

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 三村勇之 ,  前田浩史 ,  寺田尚司 ,  本田胜 ,  坂本亮一 ,  山崎穰

IPC: H01L23/00 ,  H01L21/67 ,  H01J37/32 ,  H01L21/306

Abstract: 本发明提供一种接合系统和表面改性方法，能够提高重合基板的接合质量。本公开的一个方式的接合系统具备表面改性装置和接合装置。表面改性装置通过处理气体的等离子体对基板的与其它基板进行接合的接合面进行改性。接合装置通过分子间力将被表面改性装置改性后的两个所述基板接合。另外，表面改性装置具备能够收容基板的处理容器、向处理容器的内部供给包含水分的处理气体的处理气体供给部、以及生成包含水分的处理气体的等离子体的等离子体生成部。

公开(公告)号：CN113543920A

公开(公告)日：2021-10-22

申请号：CN202080019362.9

申请日：2020-02-28

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 前田浩史 ,  三村勇之 ,  饭野克宏 ,  古屋径荣 ,  坂本亮一 ,  山崎亮

IPC: B23K20/00 ,  H01L21/02 ,  H01L21/677

Abstract: 一种接合系统，具备：表面改性装置，其在减压气氛下对第一基板的包括金属层的接合面和第二基板的包括金属层的接合面一边加热一边改性；以及接合装置，其将所述改性后的所述第一基板的所述接合面和所述改性后的所述第二基板的所述接合面相对来进行接合，所述接合系统还具备：大气搬送装置，其在充满常压的大气的大气搬送区域中搬送所述第一基板和所述第二基板；加载互锁装置，其在用于在所述大气搬送区域与表面改性装置之间搬送所述第一基板和所述第二基板的搬送路径的中途形成切换气压的加载互锁室；以及冷却装置，其在将所述改性后的所述第一基板和所述改性后的所述第二基板中的至少一个基板从所述加载互锁室搬出至所述大气搬送区域之前冷却所述至少一个基板。