-
公开(公告)号：CN104051300A
公开(公告)日：2014-09-17
申请号：CN201410090644.4
申请日：2014-03-12
Applicant: 东京毅力科创株式会社
Inventor： 吉田正宽
IPC: H01L21/67 , H01L21/677
CPC classification number: H01L21/67781 , H01L21/67265
Abstract: 本发明的基板输送装置、基板处理装置以及基板取出方法提高生产能力。基板输送装置具备基板输送部、基板检测部以及控制装置。基板输送部与能够收容多个基板的盒之间交接基板。基板检测部检测在盒内收容的基板。控制装置控制基板输送部。控制装置具备计算部、验证部以及输送控制部。计算部将基板从预先决定的基准位置向上方或者下方偏移的情况设为正而针对每个基板分别计算出由基板检测部检测出的基板的位置与基准位置之间的偏移量。验证部进行验证由计算部计算出的偏移量中的最大值与最小值的差是否为阈值以下的验证处理。在由验证部验证出最大值与最小值的差为阈值以下的情况下，输送控制部控制基板输送部来使输送控制部从盒取出基板。
-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102034730A
公开(公告)日：2011-04-27
申请号：CN201010503730.5
申请日：2010-09-30
Applicant: 东京毅力科创株式会社
IPC: H01L21/677 , B08B3/00
CPC classification number: H01L21/67051 , H01L21/6708 , H01L21/67178 , H01L21/6719 , H01L21/67196 , Y10S414/135
Abstract: 本发明提供一种即使在产生故障的情况下也能不停止整个装置地继续基板处理的可能性高的基板处理装置。基板处理装置(1)包括第1、第2处理区(14a、14b)，该第1、第2处理区包括：用于输送基板(W)的第1、第2基板输送机构(141a、141b)；分别设于该基板输送机构(141a、141b)左右两侧，进行相同处理的处理单元的列(U1～U4)。处理单元的列(U1、U3)和另一方侧的处理单元的列(U2、U4)分别与共用化的处理流体的供给系统(3a、3b)连接。而且，在任一基板输送机构(141a、141b)、处理流体的供给系统(3a、3b)产生故障时，仍能用正常工作的基板输送机构(141b、141a)、处理流体的供给系统(3b、3a)所对应的处理单元的列(U1～U4)来处理基板(W)。
-
公开(公告)号：CN104051300B
公开(公告)日：2018-03-16
申请号：CN201410090644.4
申请日：2014-03-12
Applicant: 东京毅力科创株式会社
Inventor： 吉田正宽
IPC: H01L21/67 , H01L21/677
CPC classification number: H01L21/67781 , H01L21/67265
Abstract: 本发明的基板输送装置、基板处理装置以及基板取出方法提高生产能力。基板输送装置具备基板输送部、基板检测部以及控制装置。基板输送部与能够收容多个基板的盒之间交接基板。基板检测部检测在盒内收容的基板。控制装置控制基板输送部。控制装置具备计算部、验证部以及输送控制部。计算部将基板从预先决定的基准位置向上方或者下方偏移的情况设为正而针对每个基板分别计算出由基板检测部检测出的基板的位置与基准位置之间的偏移量。验证部进行验证由计算部计算出的偏移量中的最大值与最小值的差是否为阈值以下的验证处理。在由验证部验证出最大值与最小值的差为阈值以下的情况下，输送控制部控制基板输送部来使输送控制部从盒取出基板。
-
公开(公告)号：CN102034730B
公开(公告)日：2014-12-03
申请号：CN201010503730.5
申请日：2010-09-30
Applicant: 东京毅力科创株式会社
IPC: H01L21/677 , B08B3/00
CPC classification number: H01L21/67051 , H01L21/6708 , H01L21/67178 , H01L21/6719 , H01L21/67196 , Y10S414/135
Abstract: 本发明提供一种即使在产生故障的情况下也能不停止整个装置地继续基板处理的可能性高的基板处理装置。基板处理装置(1)包括第1、第2处理区(14a、14b)，该第1、第2处理区包括：用于输送基板(W)的第1、第2基板输送机构(141a、141b)；分别设于该基板输送机构(141a、141b)左右两侧，进行相同处理的处理单元的列(U1～U4)。处理单元的列(U1、U3)和另一方侧的处理单元的列(U2、U4)分别与共用化的处理流体的供给系统(3a、3b)连接。而且，在任一基板输送机构(141a、141b)、处理流体的供给系统(3a、3b)产生故障时，仍能用正常工作的基板输送机构(141b、141a)、处理流体的供给系统(3b、3a)所对应的处理单元的列(U1～U4)来处理基板(W)。
-
公开(公告)号：CN111383962B
公开(公告)日：2024-07-09
申请号：CN201911359689.6
申请日：2019-12-25
Applicant: 东京毅力科创株式会社
IPC: H01L21/67
Abstract: 本发明提供一种基板处理装置和基板处理装置的运转方法。基板处理装置具备：贮存部；多个处理部；液供给部，其向贮存部至少供给第一液，该第一液包括处理液自身或者用于调配处理液的原料液；检测部，其检测变量的值，该变量表示从液供给部向贮存部供给的第一液的状态、或者通过从液供给部供给第一液而发生变化的处于贮存部中的处理液的状态；以及控制部，其使多个处理部依次执行相同的液处理。控制部基于变量的值的检测结果来判断是否能够以处理部要求的条件同时从贮存部向预先决定的数量的处理部继续供给处理液，如果判断为不能，则执行使同时执行液处理的处理部的数量相比于预先决定的数量减少的同时处理限制控制。
-
公开(公告)号：CN111383962A
公开(公告)日：2020-07-07
申请号：CN201911359689.6
申请日：2019-12-25
Applicant: 东京毅力科创株式会社
IPC: H01L21/67
Abstract: 本发明提供一种基板处理装置和基板处理装置的运转方法。基板处理装置具备：贮存部；多个处理部；液供给部，其向贮存部至少供给第一液，该第一液包括处理液自身或者用于调配处理液的原料液；检测部，其检测变量的值，该变量表示从液供给部向贮存部供给的第一液的状态、或者通过从液供给部供给第一液而发生变化的处于贮存部中的处理液的状态；以及控制部，其使多个处理部依次执行相同的液处理。控制部基于变量的值的检测结果来判断是否能够以处理部要求的条件同时从贮存部向预先决定的数量的处理部继续供给处理液，如果判断为不能，则执行使同时执行液处理的处理部的数量相比于预先决定的数量减少的同时处理限制控制。
-
-
-
-
-
Search Results
6
records
(took 0.019 seconds)
