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公开(公告)号：CN120051738A
公开(公告)日：2025-05-27
申请号：CN202380073298.6
申请日：2023-10-24
Applicant: 东京毅力科创株式会社
Abstract: 本发明提供能够期待有效利用从对象装置获得的数据的信息处理方法、计算机程序以及信息处理装置。本实施方式的信息处理方法由信息处理装置进行下述处理：获取与对象装置相关的时间序列的观测数据，通过基于获取到的观测数据的动态模式分解来计算模型的第一参数以及第二参数，上述模型是基于观测数据来预测上述观测数据的时间演化数据的模型，上述第一参数是与将上述观测数据转换为上述时间演化数据的转换函数有关的参数，上述第二参数是与解释上述时间演化数据的上述观测数据的函数有关的参数。
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公开(公告)号：CN110880462B
公开(公告)日：2024-06-07
申请号：CN201910827312.2
申请日：2019-09-03
Applicant: 东京毅力科创株式会社
Abstract: 本发明涉及基片状态判断装置及方法、基片处理装置和模型生成装置。本发明的一个方式的基片状态判断装置包括：拍摄载置于载置台的基片的拍摄部；学习部，其使用在上述基片的图像添加了表示基片的状态的信息而得的训练数据进行机械学习，来生成基片状态判断模型，上述基片状态判断模型以上述基片的图像为输入、以关于与该基片的图像对应的基片的状态的值为输出；和判断部，其使用由上述学习部生成的上述基片状态判断模型，判断与由上述拍摄部拍摄的上述基片的图像对应的上述基片的状态。本发明能够以高精度检测在半导体制造装置中载置于载置台的基片的状态。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN120051737A
公开(公告)日：2025-05-27
申请号：CN202380073294.8
申请日：2023-10-24
Applicant: 东京毅力科创株式会社
Abstract: 本发明提供能够期待有效利用从基板处理装置得到的数据的信息处理方法、计算机程序以及信息处理装置。本实施方式的信息处理方法由信息处理装置进行如下处理：获取观测基板处理装置的状态所得的时间序列的观测数据，基于获取到的上述时间序列的观测数据通过动态模式分解来计算模型的参数，上述模型是基于与第一时刻的观测数据相关的第一观测信息来预测与上述第一时刻之后的第二时刻的观测数据相关的第二观测信息的模型。
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公开(公告)号：CN119998739A
公开(公告)日：2025-05-13
申请号：CN202380070719.X
申请日：2023-10-11
Applicant: 东京毅力科创株式会社
Abstract: 本发明提供能够期待修正与基准装置的机械误差来进行对象装置的控制等的信息处理方法、计算机程序以及信息处理装置。信息处理装置获取对象装置的传感器值，将获取到的上述对象装置的传感器值输入到传感器值转换模型来获取由上述传感器值转换模型输出的上述基准装置的传感器值，将获取到的上述基准装置的传感器值与所希望的目标值一同输入到控制输入值决定模型来获取由上述控制输入值决定模型输出的上述基准装置的控制输入值，将获取到的上述基准装置的控制输入值输入到控制输入值转换模型来获取由上述控制输入值转换模型输出的上述对象装置的控制输入值，基于获取到的上述对象装置的控制输入值来控制上述对象装置。
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公开(公告)号：CN113614664B
公开(公告)日：2024-05-17
申请号：CN202080021847.1
申请日：2020-03-18
Applicant: 东京毅力科创株式会社
IPC: G05B23/02 , H01L21/677
Abstract: 本发明提供状态判断装置、状态判断方法和计算机可读取的存储介质，判断构成为能够在基片处理装置中保持基片并且使之动作的驱动机构的状态。该状态判断装置包括：构成为能够获取驱动机构的动作数据的获取部；模型生成部，其构成为能够基于正常动作数据，执行使用自动编码器的机器学习，来生成驱动机构的监视模型，其中，正常动作数据来自于在驱动机构的正常动作时由获取部获取到的动作数据；和第一判断部，其构成为能够基于将评价数据输入监视模型而得到的第一输出数据，判断驱动机构的状态，其中，评价数据来自于在驱动机构的评价时由获取部获取到的动作数据。
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公开(公告)号：CN113614664A
公开(公告)日：2021-11-05
申请号：CN202080021847.1
申请日：2020-03-18
Applicant: 东京毅力科创株式会社
IPC: G05B23/02 , H01L21/677
Abstract: 本发明提供状态判断装置、状态判断方法和计算机可读取的存储介质，判断构成为能够在基片处理装置中保持基片并且使之动作的驱动机构的状态。该状态判断装置包括：构成为能够获取驱动机构的动作数据的获取部；模型生成部，其构成为能够基于正常动作数据，执行使用自动编码器的机器学习，来生成驱动机构的监视模型，其中，正常动作数据来自于在驱动机构的正常动作时由获取部获取到的动作数据；和第一判断部，其构成为能够基于将评价数据输入监视模型而得到的第一输出数据，判断驱动机构的状态，其中，评价数据来自于在驱动机构的评价时由获取部获取到的动作数据。
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公开(公告)号：CN110880462A
公开(公告)日：2020-03-13
申请号：CN201910827312.2
申请日：2019-09-03
Applicant: 东京毅力科创株式会社
Abstract: 本发明涉及基片状态判断装置及方法、基片处理装置和模型生成装置。本发明的一个方式的基片状态判断装置包括：拍摄载置于载置台的基片的拍摄部；学习部，其使用在上述基片的图像添加了表示基片的状态的信息而得的训练数据进行机械学习，来生成基片状态判断模型，上述基片状态判断模型以上述基片的图像为输入、以关于与该基片的图像对应的基片的状态的值为输出；和判断部，其使用由上述学习部生成的上述基片状态判断模型，判断与由上述拍摄部拍摄的上述基片的图像对应的上述基片的状态。本发明能够以高精度检测在半导体制造装置中载置于载置台的基片的状态。
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