公开(公告)号：CN102105312A

公开(公告)日：2011-06-22

申请号：CN200980129301.1

申请日：2009-07-13

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 杰·R·华莱士 ,  托马斯·哈梅林 ,  高桥宏幸 ,  亚瑟·H·拉弗拉弥 ,  格雷戈里·R·惠曼

IPC: B44C1/22

CPC classification number: H01L21/67103 ,  H01L21/67248 ,  H01L21/67742

Abstract: 描述了一种用于对多个衬底进行处理的、具有化学处置系统和热处置系统的高产量处理系统。化学处置系统被构造成在干法非等离子体环境下对多个衬底进行化学处置。热处置系统被构造成对在化学处置系统中受到化学处置的多个衬底进行热处置。

公开(公告)号：CN102105312B

公开(公告)日：2014-06-11

申请号：CN200980129301.1

申请日：2009-07-13

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 杰·R·华莱士 ,  托马斯·哈梅林 ,  高桥宏幸 ,  亚瑟·H·拉弗拉弥 ,  格雷戈里·R·惠曼

IPC: H01L21/306

CPC classification number: H01L21/67103 ,  H01L21/67248 ,  H01L21/67742

Abstract: 描述了一种用于对多个衬底进行处理的、具有化学处置系统和热处置系统的高产量处理系统。化学处置系统被构造成在干法非等离子体环境下对多个衬底进行化学处置。热处置系统被构造成对在化学处置系统中受到化学处置的多个衬底进行热处置。