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公开(公告)号：CN118241174A
公开(公告)日：2024-06-25
申请号：CN202410658231.5
申请日：2024-05-27
Applicant: 上海米蜂激光科技有限公司
IPC: C23C14/54
Abstract: 本说明书实施例提供一种真空镀膜机安全控制方法，当关门组件输出真空腔门完成关闭的关门信号时，通过活体检测子系统对真空镀膜机的腔体内部进行活体目标检测，当检测到活体目标时，向真空镀膜机输出禁止启动信号；其中，关门组件包括关门传感器、关门顶块和电子锁单元，电子锁单元安装在真空腔架上且位于关门顶块的后方，电子锁单元用于锁止关门顶块以及电子锁单元用于解锁关门顶块。通过关门组件检测真空腔门是否完成关闭，当关门组件输出真空腔门完成关闭的关门信号时，通过活体检测子系统对真空镀膜机的腔体内部进行活体目标检测，在检测到活体目标时，活体检测子系统向真空镀膜机输出禁止启动信号，可以最大限度的保证人身安全，安全性高。
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公开(公告)号：CN117488248A
公开(公告)日：2024-02-02
申请号：CN202410001174.3
申请日：2024-01-02
Applicant: 上海米蜂激光科技有限公司
Abstract: 本发明提供一种修正板的设计方法、修正板、镀膜装置以及镀膜方法，该设计方法首先采用初始修正板确定伞架上每一圈基片中目标基片的运动轨迹对应的投影弧线、以及该投影弧线的初始角度；而后根据各目标基片对应的投影弧线的初始角度、在其未使用修正板进行镀膜时的第一膜厚、其在使用修正板进行镀膜时的第二膜厚，确定各目标基片对应的修正系数；最后根据指定的目标膜厚、以及各目标基片对应的第二膜厚及修正系数，对各目标基片对应的投影弧线的初始角度进行调整得到相应的目标角度，并基于各目标基片对应的投影弧线的目标角度，确定目标修正板的轮廓。本发明通过理论计算的方式设计修正板的轮廓，能够提高修正板设计的精度和效率。
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公开(公告)号：CN112553585A
公开(公告)日：2021-03-26
申请号：CN202011408757.6
申请日：2020-12-04
Applicant: 上海米蜂激光科技有限公司
Abstract: 本发明提供了一种聚甲基丙烯酸甲酯基底介质增透膜及其制备方法，该增透膜的膜系结构为：Sub/M/H/L/A；其中，Sub为PMMA基底层，M为Al2O3过渡层，H为Ta2O5高折射率膜层，L为SiO2低折射率膜层，A为空气层。该制备方法中利用磁控溅射方式制备PMMA基底上的过渡层，使过渡层实现了基底与后续功能层的稳定连接，同时利用电子束蒸发、离子束辅助方式制备功能层，极大地改善了后续功能层的应力状态，有效的解决了PMMA基底与膜层热膨胀系数差异导致的脱膜、机械强度低等问题。本发明制备的PMMA基底增透膜能够在940nm波段获得极高的透过率，具有可操作性强、制备工艺重复性好、产品质量优良等优点，可广泛应用于光电系统等领域。
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公开(公告)号：CN111722307A
公开(公告)日：2020-09-29
申请号：CN202010846185.3
申请日：2020-08-21
Applicant: 上海米蜂激光科技有限公司
Abstract: 本发明提供了一种以非球面硫系玻璃为基底的红外增透膜及其制备方法，该红外增透膜包括基底层，所述基底层上由内向外依次包括第一层ZnSe膜层、第二层Ge膜层、第三层ZnS膜层、第四层YbF3或MgF2膜层。本发明采用双面不同温度，并且在镀膜时增加离子预照射和后照射的方法，解决了在非球面硫系玻璃基底上双面镀膜容易脱膜的问题，并实现了优异的增透效果，良好的机械强度和附着力，通过恶劣的雨淋，腐蚀，盐雾，摩擦以及菌株测试，能够正常工作在复杂的环境中，且将成品放入恒温干燥箱中干燥后，会更显著提高耐摩擦性。
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公开(公告)号：CN118241174B
公开(公告)日：2024-08-06
申请号：CN202410658231.5
申请日：2024-05-27
Applicant: 上海米蜂激光科技有限公司
IPC: C23C14/54
Abstract: 本说明书实施例提供一种真空镀膜机安全控制方法，当关门组件输出真空腔门完成关闭的关门信号时，通过活体检测子系统对真空镀膜机的腔体内部进行活体目标检测，当检测到活体目标时，向真空镀膜机输出禁止启动信号；其中，关门组件包括关门传感器、关门顶块和电子锁单元，电子锁单元安装在真空腔架上且位于关门顶块的后方，电子锁单元用于锁止关门顶块以及电子锁单元用于解锁关门顶块。通过关门组件检测真空腔门是否完成关闭，当关门组件输出真空腔门完成关闭的关门信号时，通过活体检测子系统对真空镀膜机的腔体内部进行活体目标检测，在检测到活体目标时，活体检测子系统向真空镀膜机输出禁止启动信号，可以最大限度的保证人身安全，安全性高。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN117512553B
公开(公告)日：2024-04-02
申请号：CN202410003805.5
申请日：2024-01-03
Applicant: 上海米蜂激光科技有限公司
Abstract: 本说明书实施例提供一种微晶玻璃真空镀膜方法，采用真空镀膜机对微晶玻璃进行镀膜，微晶玻璃包括上表面、下表面、两组相互对称的第一侧面、两组相互对称的第二侧面和两组相互对称的第一斜面，上表面开设有若干凹槽，第二侧面和第一斜面处于同一侧，对两组第一侧面、两组第二侧面和两组第一斜面进行镀膜，镀膜方法包括：通过第一夹具对微晶玻璃进行夹持固定形成第一固定件；对第一侧面进行镀膜；对第二侧面进行镀膜；对第一斜面进行镀膜。可实现对微晶玻璃两个第一侧面、两个第二侧面和两个第一斜面的镀膜，在镀膜的过程中不会对微晶玻璃造成损伤，镀膜效果好。
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公开(公告)号：CN112958539A
公开(公告)日：2021-06-15
申请号：CN202110310393.6
申请日：2021-03-23
Applicant: 上海米蜂激光科技有限公司
Abstract: 本公开实施例中提供了一种锗镜片的清洗方法，包括：将锗镜片在频率为30‑80kHz的超声波中配合溶剂进行多次清洗，再将超声波清洗完成后的锗镜片在频率高于800kHz的兆声波中进行清洗。本发明的清洗方法实现了对小尺寸锗镜片的高效、高洁净度的超声清洗，在实现锗镜片高洁净度清洗的同时避免了超声波过度清洗对锗镜片元件造成的表面损伤和材料损伤。
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公开(公告)号：CN112376021A
公开(公告)日：2021-02-19
申请号：CN202011266720.4
申请日：2020-11-13
Applicant: 上海米蜂激光科技有限公司
Abstract: 本发明提供了一种新型宽带增透膜及其制备方法，该增透膜包括基底层，所述基底层上由内向外依次包括第一层Cu膜层和第二层MgF2膜层，其物理厚度依次为2.0‑3.5nm和70.0‑80.0nm。本发明通过引入金属层来降低整个膜层厚度，减少膜层数，提高制备的生产效率；并且改善增透膜的光谱特性，使光谱波纹减少，从而提高薄膜的重复性和稳定性。
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公开(公告)号：CN111733398A
公开(公告)日：2020-10-02
申请号：CN202010882019.9
申请日：2020-08-28
Applicant: 上海米蜂激光科技有限公司
IPC: C23C14/50 , C23C16/458
Abstract: 本发明提供了一种棒状基板的镀膜卡具架，包括卡具底座和翻转卡条，所述卡具底座的夹持部相对两侧均开设相互连通的圆形嵌槽和方形嵌槽；待镀膜基板的相对两侧均固定所述翻转卡条，所述翻转卡条上固定设置与所述方形嵌槽适配的突出块，使所述翻转卡条与所述卡具底座活动连接；其中，所述突出块的长度小于所述圆形嵌槽的直径。本发明能够牢固固定棒状基板，有效保护基板的光学表面，还可以达到直接翻转基板的目的，有效保证了产品的镀膜质量和工作效率。
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公开(公告)号：CN117512553A
公开(公告)日：2024-02-06
申请号：CN202410003805.5
申请日：2024-01-03
Applicant: 上海米蜂激光科技有限公司
Abstract: 本说明书实施例提供一种微晶玻璃真空镀膜方法，采用真空镀膜机对微晶玻璃进行镀膜，微晶玻璃包括上表面、下表面、两组相互对称的第一侧面、两组相互对称的第二侧面和两组相互对称的第一斜面，上表面开设有若干凹槽，第二侧面和第一斜面处于同一侧，对两组第一侧面、两组第二侧面和两组第一斜面进行镀膜，镀膜方法包括：通过第一夹具对微晶玻璃进行夹持固定形成第一固定件；对第一侧面进行镀膜；对第二侧面进行镀膜；对第一斜面进行镀膜。可实现对微晶玻璃两个第一侧面、两个第二侧面和两个第一斜面的镀膜，在镀膜的过程中不会对微晶玻璃造成损伤，镀膜效果好。
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