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公开(公告)号:CN118241174A
公开(公告)日:2024-06-25
申请号:CN202410658231.5
申请日:2024-05-27
Applicant: 上海米蜂激光科技有限公司
IPC: C23C14/54
Abstract: 本说明书实施例提供一种真空镀膜机安全控制方法,当关门组件输出真空腔门完成关闭的关门信号时,通过活体检测子系统对真空镀膜机的腔体内部进行活体目标检测,当检测到活体目标时,向真空镀膜机输出禁止启动信号;其中,关门组件包括关门传感器、关门顶块和电子锁单元,电子锁单元安装在真空腔架上且位于关门顶块的后方,电子锁单元用于锁止关门顶块以及电子锁单元用于解锁关门顶块。通过关门组件检测真空腔门是否完成关闭,当关门组件输出真空腔门完成关闭的关门信号时,通过活体检测子系统对真空镀膜机的腔体内部进行活体目标检测,在检测到活体目标时,活体检测子系统向真空镀膜机输出禁止启动信号,可以最大限度的保证人身安全,安全性高。
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公开(公告)号:CN118241174B
公开(公告)日:2024-08-06
申请号:CN202410658231.5
申请日:2024-05-27
Applicant: 上海米蜂激光科技有限公司
IPC: C23C14/54
Abstract: 本说明书实施例提供一种真空镀膜机安全控制方法,当关门组件输出真空腔门完成关闭的关门信号时,通过活体检测子系统对真空镀膜机的腔体内部进行活体目标检测,当检测到活体目标时,向真空镀膜机输出禁止启动信号;其中,关门组件包括关门传感器、关门顶块和电子锁单元,电子锁单元安装在真空腔架上且位于关门顶块的后方,电子锁单元用于锁止关门顶块以及电子锁单元用于解锁关门顶块。通过关门组件检测真空腔门是否完成关闭,当关门组件输出真空腔门完成关闭的关门信号时,通过活体检测子系统对真空镀膜机的腔体内部进行活体目标检测,在检测到活体目标时,活体检测子系统向真空镀膜机输出禁止启动信号,可以最大限度的保证人身安全,安全性高。
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公开(公告)号:CN117512553B
公开(公告)日:2024-04-02
申请号:CN202410003805.5
申请日:2024-01-03
Applicant: 上海米蜂激光科技有限公司
Abstract: 本说明书实施例提供一种微晶玻璃真空镀膜方法,采用真空镀膜机对微晶玻璃进行镀膜,微晶玻璃包括上表面、下表面、两组相互对称的第一侧面、两组相互对称的第二侧面和两组相互对称的第一斜面,上表面开设有若干凹槽,第二侧面和第一斜面处于同一侧,对两组第一侧面、两组第二侧面和两组第一斜面进行镀膜,镀膜方法包括:通过第一夹具对微晶玻璃进行夹持固定形成第一固定件;对第一侧面进行镀膜;对第二侧面进行镀膜;对第一斜面进行镀膜。可实现对微晶玻璃两个第一侧面、两个第二侧面和两个第一斜面的镀膜,在镀膜的过程中不会对微晶玻璃造成损伤,镀膜效果好。
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公开(公告)号:CN117512553A
公开(公告)日:2024-02-06
申请号:CN202410003805.5
申请日:2024-01-03
Applicant: 上海米蜂激光科技有限公司
Abstract: 本说明书实施例提供一种微晶玻璃真空镀膜方法,采用真空镀膜机对微晶玻璃进行镀膜,微晶玻璃包括上表面、下表面、两组相互对称的第一侧面、两组相互对称的第二侧面和两组相互对称的第一斜面,上表面开设有若干凹槽,第二侧面和第一斜面处于同一侧,对两组第一侧面、两组第二侧面和两组第一斜面进行镀膜,镀膜方法包括:通过第一夹具对微晶玻璃进行夹持固定形成第一固定件;对第一侧面进行镀膜;对第二侧面进行镀膜;对第一斜面进行镀膜。可实现对微晶玻璃两个第一侧面、两个第二侧面和两个第一斜面的镀膜,在镀膜的过程中不会对微晶玻璃造成损伤,镀膜效果好。
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公开(公告)号:CN116090349A
公开(公告)日:2023-05-09
申请号:CN202310094416.3
申请日:2023-02-03
Applicant: 上海米蜂激光科技有限公司
IPC: G06F30/27 , G06F119/02
Abstract: 本申请提供一种光学薄膜生产工艺优化方法、设备及存储介质,涉及大数据分析及工艺优化技术领域。所述光学薄膜生产工艺优化方法,包括:获取影响镀膜质量的工艺数据,所述工艺数据至少包括镀膜过程参数、工艺参数和膜系质量参数;对所述工艺数据进行数据分析,确定影响镀膜质量的关键工艺数据;利用所述关键工艺数据进行模型训练,获得工艺优化的计算模型,本申请提供的光学薄膜生产工艺优化方案,提高了镀膜工艺效率,节约了工艺成本,提升了光学薄膜生产工艺精度。
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公开(公告)号:CN118374775B
公开(公告)日:2024-09-03
申请号:CN202410825107.3
申请日:2024-06-25
Applicant: 上海米蜂激光科技有限公司
IPC: C23C14/30 , C23C14/54 , G06T7/155 , G06T7/187 , G06T7/73 , G06T7/181 , G06T5/70 , G06T5/20 , G06V10/762
Abstract: 本申请提供一种真空镀膜机电子枪控制方法及系统、镀膜监控系统,应用于真空镀膜枪技术领域,其中,采集电子枪在靶材上的光斑图像;获取光斑图像中的连通域,并使用形态学运算对连通域进行形态学梯度处理,得到光斑的实际轮廓大小;根据光斑的实际轮廓大小获取轮廓点集合,并根据轮廓点集合拟合得到光斑的拟合质心;将光斑的实际轮廓大小与光斑的理论轮廓大小比较,以及将光斑的拟合质心与光斑的理论质心比较,得到偏差结果;根据偏差结果调整电子枪的控制参数。本申请可以快速准确地调整电子枪的质心位置和轮廓大小,保证电子枪的位置和角度与目标表面保持一致,提高镀膜过程的自动化程度,提高生产效率、镀膜精度和质量。
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公开(公告)号:CN118374775A
公开(公告)日:2024-07-23
申请号:CN202410825107.3
申请日:2024-06-25
Applicant: 上海米蜂激光科技有限公司
IPC: C23C14/30 , C23C14/54 , G06T7/155 , G06T7/187 , G06T7/73 , G06T7/181 , G06T5/70 , G06T5/20 , G06V10/762
Abstract: 本申请提供一种真空镀膜机电子枪控制方法及系统、镀膜监控系统,应用于真空镀膜枪技术领域,其中,采集电子枪在靶材上的光斑图像;获取光斑图像中的连通域,并使用形态学运算对连通域进行形态学梯度处理,得到光斑的实际轮廓大小;根据光斑的实际轮廓大小获取轮廓点集合,并根据轮廓点集合拟合得到光斑的拟合质心;将光斑的实际轮廓大小与光斑的理论轮廓大小比较,以及将光斑的拟合质心与光斑的理论质心比较,得到偏差结果;根据偏差结果调整电子枪的控制参数。本申请可以快速准确地调整电子枪的质心位置和轮廓大小,保证电子枪的位置和角度与目标表面保持一致,提高镀膜过程的自动化程度,提高生产效率、镀膜精度和质量。
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公开(公告)号:CN116377410A
公开(公告)日:2023-07-04
申请号:CN202310095850.3
申请日:2023-02-07
Applicant: 上海米蜂激光科技有限公司
Abstract: 本申请提供一种光学膜厚控制实现方法、系统及存储介质,涉及光学工艺监控技术领域。所述光学膜厚控制实现方法,包括:搭建生成光学膜厚监控信号的硬件系统;编写光控信号的相关处理程序以及上下位机数据通信程序;完成系统集成。本申请提供的光学膜厚控制实现方案,提升了系统监控的控制精度,且增强了人机交互友好性。
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公开(公告)号:CN113604783A
公开(公告)日:2021-11-05
申请号:CN202110869856.2
申请日:2021-07-30
Applicant: 上海米蜂激光科技有限公司
IPC: C23C14/50 , C23C16/458
Abstract: 本发明提供了一种管状或棒状光学元件外表面镀膜专用夹具,所述专用夹具设置于镀膜机的工件盘上,所述专用夹具包括驱动装置和多个传动齿轮,驱动装置的驱动轴连接驱动轮,传动齿轮与驱动轮啮合传动;传动齿轮的内圈过盈配合装配夹具转轴,夹具转轴的端部开设夹具孔,夹具孔中过盈配合设置硅胶棒,硅胶棒从端面向内部开设中空腔,中空腔中过盈配合装配待镀膜的管状或棒状光学元件,使待镀膜的管状或棒状光学元件被所述夹具转轴带动旋转。本发明适于真空沉积镀膜中对于管状、棒状、柱面和光纤外表面等光学元件镀膜,可以用于批量生产,且能有效保证膜厚均匀性。
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公开(公告)号:CN222472287U
公开(公告)日:2025-02-14
申请号:CN202421280701.0
申请日:2024-06-05
Applicant: 上海米蜂激光科技有限公司
IPC: B25B11/00
Abstract: 本说明书实施例提供一种光谱测试镜片夹具,包括:基板,测试镜片放置于基板上,基板上开设有滑槽;定位部,定位部用于对测试镜片进行定位,定位部包括定位块,定位块可相对于基板滑动;夹持部,夹持部用于对测试镜片进行夹持固定,夹持部包括固定件、弹性件和夹持件,固定件固定安装于基板上,弹性件的第一端与固定件相连接,弹性件的第二端与夹持件相连接,夹持件在滑槽内滑动。通过定位部对测试镜片进行定位,通过夹持件对镜片进行夹持固定,保证对测试镜片的夹持固定效果,在进行测试时,保证基板和测试光垂直的情况下,只需要测试镜片和基板贴紧即可,从而可以精密测量一定尺寸范围及厚度的镜片。
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