本申请提供一种真空镀膜机电子枪控制方法及系统、镀膜监控系统，应用于真空镀膜枪技术领域，其中，采集电子枪在靶材上的光斑图像；获取光斑图像中的连通域，并使用形态学运算对连通域进行形态学梯度处理，得到光斑的实际轮廓大小；根据光斑的实际轮廓大小获取轮廓点集合，并根据轮廓点集合拟合得到光斑的拟合质心；将光斑的实际轮廓大小与光斑的理论轮廓大小比较，以及将光斑的拟合质心与光斑的理论质心比较，得到偏差结果；根据偏差结果调整电子枪的控制参数。本申请可以快速准确地调整电子枪的质心位置和轮廓大小，保证电子枪的位置和角度与目标表面保持一致，提高镀膜过程的自动化程度，提高生产效率、镀膜精度和质量。