修正板的设计方法、修正板、镀膜装置以及镀膜方法
Abstract:
本发明提供一种修正板的设计方法、修正板、镀膜装置以及镀膜方法,该设计方法首先采用初始修正板确定伞架上每一圈基片中目标基片的运动轨迹对应的投影弧线、以及该投影弧线的初始角度;而后根据各目标基片对应的投影弧线的初始角度、在其未使用修正板进行镀膜时的第一膜厚、其在使用修正板进行镀膜时的第二膜厚,确定各目标基片对应的修正系数;最后根据指定的目标膜厚、以及各目标基片对应的第二膜厚及修正系数,对各目标基片对应的投影弧线的初始角度进行调整得到相应的目标角度,并基于各目标基片对应的投影弧线的目标角度,确定目标修正板的轮廓。本发明通过理论计算的方式设计修正板的轮廓,能够提高修正板设计的精度和效率。
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