公开(公告)号：CN114763019A

公开(公告)日：2022-07-19

申请号：CN202110030746.7

申请日：2021-01-11

Applicant: 上海新微技术研发中心有限公司 ,  中国科学院上海微系统与信息技术研究所

Inventor： 岳文成 ,  汪巍 ,  涂芝娟 ,  余明斌

IPC: B32B3/24 ,  B32B7/023 ,  B32B17/10 ,  B32B27/30 ,  B32B27/36 ,  B32B27/06 ,  B32B33/00 ,  B32B38/04 ,  G02B1/00

Abstract: 本发明提供一种多层聚合物薄膜三维光子晶体及其制作方法，三维光子晶体包括：基底和聚合物薄膜叠层，聚合物薄膜叠层贴合在基底表面，聚合物薄膜叠层由两种或两种以上具有不同折射率的聚合物薄膜交替地周期性排布形成，聚合物薄膜叠层具有多个垂直穿透其厚度方向的空气孔，空气孔在聚合物薄膜叠层中按晶格形式排列。本发明采用的聚合物薄膜的结构千变万化，易于成形和处理，生产制作工艺简单，成本低，利于大面积制作，且聚合物材料种类众多，折射率、密度等可以调控，为光子晶体制作提供了很大的选择空间，可使得光子晶体具有各种各样不同的性质，同时本发明可大大地降低光子晶体的制作难度。

公开(公告)号：CN221351891U

公开(公告)日：2024-07-16

申请号：CN202323266127.1

申请日：2023-11-30

Applicant: 上海新微技术研发中心有限公司

Inventor： 许凡 ,  王书晓 ,  岳文成 ,  涂芝娟 ,  蔡艳

IPC: G02F1/025 ,  G02F1/015

Abstract: 本申请提供一种电光调制器，所述电光调制器包括：直线波导，其形成于衬底表面，沿第一方向延伸；以及环形波导，其形成于衬底表面，为闭合的环状，在与所述环形波导的延伸方向垂直的截面上，所述环形波导具有不同掺杂类型的第一区域和第二区域，所述第一区域和所述第二区域的相交区域沿折线延伸。该电光调制器结合了微环调制器和Z型PN结结构的优点，能够在2um波段具有优异的性能。