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公开(公告)号：CN105466343B
公开(公告)日：2019-02-05
申请号：CN201410455918.5
申请日：2014-09-09
Applicant: 上海微电子装备(集团)股份有限公司
IPC: G01B11/03
Abstract: 本发明提供了一种平面运动测量装置及其方法，包括：平面运动定子、平面运动动子、以及位于所述平面运动定子与所述平面运动动子之间的至少三个测量模块，所述三个测量模块中二个测第一方向，另一个测第二方向，所述第一方向和所述第二方向垂直,可以达到测量Rz转角偏大的平面运动的目的，实现了X、Y、Rz平面运动的高精度测量，提高了测量的准确性；同时，测量模块中采用鼓形轴承，无机械回差，不会将非测量轴的误差带入测量轴，可以适应平面运动动子在Rx、Ry、Z方向的微量变化。
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公开(公告)号：CN107452659A
公开(公告)日：2017-12-08
申请号：CN201610378218.X
申请日：2016-05-31
Applicant: 上海微电子装备(集团)股份有限公司
IPC: H01L21/673
CPC classification number: H01L21/673
Abstract: 本发明提供了一种分体式承版台，所述分体式承版台用于承载及移动掩膜版，其中，所述承版台包括多个分体版块，通过多个所述分体版块组合形成所述承版台。本发明提供的分体式承版台是通过多个分体版块组合形成的，即相对于一体式承版台，分体版块具有较小的体积，因此其加工难度较小，可节省承版台的加工成本，并且针对不同尺寸的掩膜版，也可在原有的分体式承版台的基础上，通过增加或减少分体版块的数量以组合形成不同尺寸的承版台，而无需额外购买新的承版台。
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公开(公告)号：CN111745584B
公开(公告)日：2022-02-15
申请号：CN201910249568.X
申请日：2019-03-29
Applicant: 上海微电子装备(集团)股份有限公司
Abstract: 本发明涉及一种自动拆装机构，用于对一带通孔的标准件进行安装或拆卸，包括：拾取模块，拾取模块包括拾取批头，拾取批头插入标准件的通孔中并与通孔锁定以拾取标准件；运动模块，与拾取批头的尾部连接，以驱动拾取批头运动；解锁模块，用于向标准件施加压力以使拾取披头与通孔解锁，并释放标准件。本发明能够对带通孔的标准件进行自动拾取、拆装及解锁，实现自动化装配，减少人工投入，提高零件的拆装效率。
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公开(公告)号：CN105301911B
公开(公告)日：2018-07-20
申请号：CN201410284172.6
申请日：2014-06-24
Applicant: 上海微电子装备(集团)股份有限公司
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明公开一种用于高精密工件台的无管路物料吸附装置，其特征在于，包括吸盘、气缸、活塞、电机，所述吸盘内部有管路连接气缸；所述电机带动所述活塞运动，使所述气缸内出现负压，使所述吸盘吸附物料。与现有技术相比较，本发明无外部气源，无传输路径中的压力损失，无管路引起的干扰。同时不受环境限制，能够应用于大气环境。
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公开(公告)号：CN113547475B
公开(公告)日：2023-02-10
申请号：CN202010327818.X
申请日：2020-04-23
Applicant: 上海微电子装备(集团)股份有限公司
Abstract: 本发明提供了一种拧紧枪批头更换装置，包括拧紧执行单元、拧紧驱动单元和拧紧可拆卸单元，其中，拧紧驱动单元固定在拧紧模组上；拧紧执行单元通过拧紧可拆卸单元与拧紧驱动单元可拆卸连接，拧紧执行单元用于与待拧紧件适配；拧紧执行单元与拧紧驱动单元连接时，拧紧驱动单元用于驱动拧紧执行单元拆装待拧紧件。本发明还提供了一种包括拧紧枪批头更换装置的拧紧模组。本发明提供的拧紧枪批头更换装置充分利用拧紧可拆卸单元的结构来实现拧紧执行单元的快速定位和夹紧，结构简单、紧凑，可靠性高，便于快速更换。对于不同规格的待拧紧件，仅需更换待拧紧执行单元，在提高工作效率的同时节约了成本。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN111650815B
公开(公告)日：2022-09-20
申请号：CN201910161037.5
申请日：2019-03-04
Applicant: 上海微电子装备(集团)股份有限公司
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明属于光刻技术领域，具体公开了一种掩模台和光刻系统，其中掩模台包括：支撑底座；承版台，滑动连接在支撑底座的上端面上；两组Y向运动机构，设置在支撑底座上，且两组Y向运动机构分别设置在承版台沿X方向的两侧；X向运动机构，设置在Y向运动机构上且与承版台连接，Y向运动机构带动X向运动机构沿Y方向运动，Y方向与X方向垂直。光刻系统包括上述掩模台。本发明公开的掩模台和光刻系统，能够减小掩模台和光刻系统的体积，降低掩模台和光刻系统的成本。
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公开(公告)号：CN110609448B
公开(公告)日：2020-12-01
申请号：CN201810615331.4
申请日：2018-06-14
Applicant: 上海微电子装备(集团)股份有限公司
Abstract: 本发明涉及集成电路制造领域，尤其涉及一种硅片边缘保护装置，包括保护环、水平抓环机构及垂向运送机构，所述水平抓环机构用于水平抓取及放下所述保护环；所述垂向运送机构可拆卸连接于所述水平抓环机构上方，所述垂向运送机构能够带动所述水平抓环机构垂向运动，并能在失去动力时向上拉动所述水平抓环机构。本发明提供的硅片边缘保护装置，能实现在突然断电或断气等失去动力的异常情况时将水平抓环机构向上拉起，避免水平抓环机构与工作台发生碰撞，从而有效保护硅片，且提高了装置维护的便利性，提高了垂向运动精度。
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公开(公告)号：CN110119069A
公开(公告)日：2019-08-13
申请号：CN201810113746.1
申请日：2018-02-05
Applicant: 上海微电子装备(集团)股份有限公司
IPC: G03F7/20 , H01L21/683
Abstract: 本发明公开了一种基底吸附装置、光刻设备及吸附方法，其中，吸附装置包括吸附机构，以及与吸附机构相对设置的整形机构，吸附机构和整形机构之间形成基底容纳空间；吸附机构包括吸盘，吸盘表面上分布有多个吸气孔，吸盘用于从第一侧吸附基底容纳空间内的基底；整形机构用于从与第一侧相对的第二侧对基底容纳空间内的基底作用，以与吸盘配合对基底容纳空间内的基底进行整平。本发明实施例通过设置与吸附机构相对的整形机构，吸附机构通过吸盘上的吸气孔，吸附基底片，整形机构与吸盘配合对基底进行整平，使基底完全吸附在吸盘上，实现了对大翘曲量基底的整平及完全吸附，提高了基底曝光质量和良率，提高了生产效率。
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公开(公告)号：CN113547475A
公开(公告)日：2021-10-26
申请号：CN202010327818.X
申请日：2020-04-23
Applicant: 上海微电子装备(集团)股份有限公司
Abstract: 本发明提供了一种拧紧枪批头更换装置，包括拧紧执行单元、拧紧驱动单元和拧紧可拆卸单元，其中，拧紧驱动单元固定在拧紧模组上；拧紧执行单元通过拧紧可拆卸单元与拧紧驱动单元可拆卸连接，拧紧执行单元用于与待拧紧件适配；拧紧执行单元与拧紧驱动单元连接时，拧紧驱动单元用于驱动拧紧执行单元拆装待拧紧件。本发明还提供了一种包括拧紧枪批头更换装置的拧紧模组。本发明提供的拧紧枪批头更换装置充分利用拧紧可拆卸单元的结构来实现拧紧执行单元的快速定位和夹紧，结构简单、紧凑，可靠性高，便于快速更换。对于不同规格的待拧紧件，仅需更换待拧紧执行单元，在提高工作效率的同时节约了成本。
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公开(公告)号：CN111745584A
公开(公告)日：2020-10-09
申请号：CN201910249568.X
申请日：2019-03-29
Applicant: 上海微电子装备(集团)股份有限公司
Abstract: 本发明涉及一种自动拆装机构，用于对一带通孔的标准件进行安装或拆卸，包括：拾取模块，拾取模块包括拾取批头，拾取批头插入标准件的通孔中并与通孔锁定以拾取标准件；运动模块，与拾取批头的尾部连接，以驱动拾取批头运动；解锁模块，用于向标准件施加压力以使拾取披头与通孔解锁，并释放标准件。本发明能够对带通孔的标准件进行自动拾取、拆装及解锁，实现自动化装配，减少人工投入，提高零件的拆装效率。
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