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公开(公告)号：CN112117209B
公开(公告)日：2025-03-18
申请号：CN201910543485.1
申请日：2019-06-21
Applicant: 上海微电子装备(集团)股份有限公司
IPC: H01L21/67 , H01L21/683 , H01L21/268 , H01L21/324
Abstract: 本发明公开了一种硅片吸附装置及激光退火设备，该硅片吸附装置具有能够吸附硅片的吸附面，还包括标识差异件，标识差异件设置在硅片吸附装置上，用于形成标识区域，吸附面包括吸附区域，吸附区域被配置为能够吸附固定硅片，标识区域与吸附区域相邻设置，硅片被吸附区域吸附固定后，硅片的边缘至少部分落入标识区域内，标识区域与硅片具有不同的机器识别度。上述的硅片吸附装置能够提高硅片边缘提取精度及效率，硅片与吸盘对准效率高，有利于提高激光退火设备产能。相应地，本发明还提供一种激光退火设备。
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公开(公告)号：CN112445075B
公开(公告)日：2023-12-29
申请号：CN201910818251.3
申请日：2019-08-30
Applicant: 上海微电子装备(集团)股份有限公司
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明提供一种平板簧片、微动装置及光刻机，所述平板簧片包括簧片本体以及设置于所述簧片本体上的模态干涉部件，所述模态干涉部件用以提高或降低所述簧片本体的模态频率。由此，通过调整和改变平板簧片的模态频率，使平板簧片的模态频率与承片台的模态频率错开，避免共振产生，从而能够提高微动装置的控制效果，提高运动控制精度。
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公开(公告)号：CN113547475A
公开(公告)日：2021-10-26
申请号：CN202010327818.X
申请日：2020-04-23
Applicant: 上海微电子装备(集团)股份有限公司
Abstract: 本发明提供了一种拧紧枪批头更换装置，包括拧紧执行单元、拧紧驱动单元和拧紧可拆卸单元，其中，拧紧驱动单元固定在拧紧模组上；拧紧执行单元通过拧紧可拆卸单元与拧紧驱动单元可拆卸连接，拧紧执行单元用于与待拧紧件适配；拧紧执行单元与拧紧驱动单元连接时，拧紧驱动单元用于驱动拧紧执行单元拆装待拧紧件。本发明还提供了一种包括拧紧枪批头更换装置的拧紧模组。本发明提供的拧紧枪批头更换装置充分利用拧紧可拆卸单元的结构来实现拧紧执行单元的快速定位和夹紧，结构简单、紧凑，可靠性高，便于快速更换。对于不同规格的待拧紧件，仅需更换待拧紧执行单元，在提高工作效率的同时节约了成本。
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公开(公告)号：CN112117209A
公开(公告)日：2020-12-22
申请号：CN201910543485.1
申请日：2019-06-21
Applicant: 上海微电子装备(集团)股份有限公司
IPC: H01L21/67 , H01L21/683 , H01L21/268 , H01L21/324
Abstract: 本发明公开了一种硅片吸附装置及激光退火设备，该硅片吸附装置具有能够吸附硅片的吸附面，还包括标识差异件，标识差异件设置在硅片吸附装置上，用于形成标识区域，吸附面包括吸附区域，吸附区域被配置为能够吸附固定硅片，标识区域与吸附区域相邻设置，硅片被吸附区域吸附固定后，硅片的边缘至少部分落入标识区域内，标识区域与硅片具有不同的机器识别度。上述的硅片吸附装置能够提高硅片边缘提取精度及效率，硅片与吸盘对准效率高，有利于提高激光退火设备产能。相应地，本发明还提供一种激光退火设备。
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公开(公告)号：CN111745584A
公开(公告)日：2020-10-09
申请号：CN201910249568.X
申请日：2019-03-29
Applicant: 上海微电子装备(集团)股份有限公司
Abstract: 本发明涉及一种自动拆装机构，用于对一带通孔的标准件进行安装或拆卸，包括：拾取模块，拾取模块包括拾取批头，拾取批头插入标准件的通孔中并与通孔锁定以拾取标准件；运动模块，与拾取批头的尾部连接，以驱动拾取批头运动；解锁模块，用于向标准件施加压力以使拾取披头与通孔解锁，并释放标准件。本发明能够对带通孔的标准件进行自动拾取、拆装及解锁，实现自动化装配，减少人工投入，提高零件的拆装效率。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN113547475B
公开(公告)日：2023-02-10
申请号：CN202010327818.X
申请日：2020-04-23
Applicant: 上海微电子装备(集团)股份有限公司
Abstract: 本发明提供了一种拧紧枪批头更换装置，包括拧紧执行单元、拧紧驱动单元和拧紧可拆卸单元，其中，拧紧驱动单元固定在拧紧模组上；拧紧执行单元通过拧紧可拆卸单元与拧紧驱动单元可拆卸连接，拧紧执行单元用于与待拧紧件适配；拧紧执行单元与拧紧驱动单元连接时，拧紧驱动单元用于驱动拧紧执行单元拆装待拧紧件。本发明还提供了一种包括拧紧枪批头更换装置的拧紧模组。本发明提供的拧紧枪批头更换装置充分利用拧紧可拆卸单元的结构来实现拧紧执行单元的快速定位和夹紧，结构简单、紧凑，可靠性高，便于快速更换。对于不同规格的待拧紧件，仅需更换待拧紧执行单元，在提高工作效率的同时节约了成本。
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公开(公告)号：CN111745584B
公开(公告)日：2022-02-15
申请号：CN201910249568.X
申请日：2019-03-29
Applicant: 上海微电子装备(集团)股份有限公司
Abstract: 本发明涉及一种自动拆装机构，用于对一带通孔的标准件进行安装或拆卸，包括：拾取模块，拾取模块包括拾取批头，拾取批头插入标准件的通孔中并与通孔锁定以拾取标准件；运动模块，与拾取批头的尾部连接，以驱动拾取批头运动；解锁模块，用于向标准件施加压力以使拾取披头与通孔解锁，并释放标准件。本发明能够对带通孔的标准件进行自动拾取、拆装及解锁，实现自动化装配，减少人工投入，提高零件的拆装效率。
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公开(公告)号：CN112445075A
公开(公告)日：2021-03-05
申请号：CN201910818251.3
申请日：2019-08-30
Applicant: 上海微电子装备(集团)股份有限公司
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明提供一种平板簧片、微动装置及光刻机，所述平板簧片包括簧片本体以及设置于所述簧片本体上的模态干涉部件，所述模态干涉部件用以提高或降低所述簧片本体的模态频率。由此，通过调整和改变平板簧片的模态频率，使平板簧片的模态频率与承片台的模态频率错开，避免共振产生，从而能够提高微动装置的控制效果，提高运动控制精度。
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公开(公告)号：CN217305707U
公开(公告)日：2022-08-26
申请号：CN202122984231.9
申请日：2021-11-30
Applicant: 上海微电子装备(集团)股份有限公司
IPC: G03F7/20
Abstract: 本实用新型公开了一种掩模台及光刻机，属于光刻设备领域，该掩模台包括水平向运动单元和垂向运动单元，所述水平向运动单元包括底座和承版台组件，所述底座上设有所述承版台组件，所述承版台组件用于承载掩模版；所述垂向运动单元位于所述水平向运动单元的下方，所述垂向运动单元包括底板和垂向运动补偿组件，所述垂向运动补偿组件设置于所述底板和所述底座之间，所述垂向运动补偿组件被配置为能够驱动所述水平向运动单元沿竖直方向上下运动，以实现掩模台的垂向位置补偿。该光刻机包括上述掩模台。该掩模台实现了掩模台的垂向运动补偿，从而实现了实时补偿掩模台与物镜的位置偏差，掩模台精度高。
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公开(公告)号：CN209747482U
公开(公告)日：2019-12-06
申请号：CN201920942568.3
申请日：2019-06-21
Applicant: 上海微电子装备(集团)股份有限公司
IPC: H01L21/67 , H01L21/683 , H01L21/268 , H01L21/324
Abstract: 本实用新型公开了一种硅片吸附装置及激光退火设备，该硅片吸附装置具有能够吸附硅片的吸附面，吸附面包括吸附区域和标识区域，吸附区域被配置为能够吸附固定硅片，标识区域与吸附区域相邻设置，硅片被吸附区域吸附固定后，硅片的边缘至少部分落入标识区域内，标识区域与硅片具有不同的机器识别度。上述的硅片吸附装置能够提高硅片边缘提取精度及效率，硅片与吸盘对准效率高，有利于提高激光退火设备产能。相应地，本实用新型还提供一种激光退火设备。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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