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公开(公告)号：CN115870515A
公开(公告)日：2023-03-31
申请号：CN202111159764.1
申请日：2021-09-30
Applicant: 上海微电子装备(集团)股份有限公司
Inventor： 吴飞
Abstract: 本发明提供了一种连续过渡晶格结构、增材料及其制造方法，所述的连续过渡晶格结构包括晶格层，所述晶格层表面设有连续过渡层，所述的连续过渡层由靠近晶格层的一侧表面向远离晶格层的方向形成密度梯度。本发明实现了材料的连续增长，极大改善了悬垂问题，提高了承载能力，同时也改善了应力集中问题。
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公开(公告)号：CN114326315A
公开(公告)日：2022-04-12
申请号：CN202011062625.2
申请日：2020-09-30
Applicant: 上海微电子装备(集团)股份有限公司
Abstract: 本发明实施例公开了一种光束透过率调节装置和光学照明系统。该光束透过率调节装置包括驱动单元和至少一组透过率调节单元；透过率调节单元包括栅格板和旋转轴，栅格板包括由多个栅条分隔形成的均匀分布的多个栅格；旋转轴与栅格板平行且与栅格板的一侧固定连接，栅格板设置在光束的传播路径上，旋转轴设置在光束的一侧且与光束的传播方向垂直；驱动单元驱动旋转轴旋转，并带动栅格板与光束的传播方向的夹角发生变化，以使栅格板沿光束传播方向上的透光面积发生变化，以此实现不同光束透过率的调节。本发明实施例采用机械方式可实现透过率全档位连续调节，能够对光学照明系统中光源的功率进行精准调节，避免多光源系统光源功率差异影响照明系统。
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公开(公告)号：CN111352231A
公开(公告)日：2020-06-30
申请号：CN201811582754.7
申请日：2018-12-24
Applicant: 上海微电子装备(集团)股份有限公司
IPC: G02B26/04
Abstract: 本发明公开了一种透过率调整装置，包括：旋转中心区域，以及围绕旋转中心区域设置的环形结构；环形结构包括透过率调整区和完全透光区；透过率调整区垂直于旋转中心区域轴向的第一侧边与完全透光区垂直于旋转中心区域轴向的第三侧边连接；透过率调整区垂直于旋转中心区域轴向的第二侧边与完全透光区垂直于旋转中心区域轴向的第四侧边连接；透过率调整区设置有阵列排布的透光孔，透过率调整区的透光面积在沿围绕旋转中心区域的顺时针或逆时针方向上逐渐增大。本发明提供了一种透过率调整装置，以解决现有的机械式透过率调整装置的透过率调整上限受到限制，并且不能实现透过率的连续调整的问题。
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公开(公告)号：CN110555878A
公开(公告)日：2019-12-10
申请号：CN201810549518.9
申请日：2018-05-31
Applicant: 上海微电子装备(集团)股份有限公司
Abstract: 本发明公开了一种物体空间位置形态的确定方法、装置、存储介质及机器人。该物体空间位置形态的确定方法包括：通过双目视觉装置获取待测物品和标准标记的双目视觉图像；对待测物品的双目视觉图像进行校正拟合，得到待测物品在世界坐标系下的深度图像，根据深度图像确定待测物品的点云数据图像；确定上表面点云数据以及上表面中心位置，作为待测物品的位置数据；并根据待测物品的上表面点云数据的拟合面，以及待测物品的上表面中心位置与待测物品的上表面点云数据边界位置的距离，确定待测物品的形态数据。上述技术方案，可以实现通过双目视觉装置获取待测物品的图像后，经过处理和分析，确定待测物品的空间位置和形态的效果。
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公开(公告)号：CN114326316A
公开(公告)日：2022-04-12
申请号：CN202011066021.5
申请日：2020-09-30
Applicant: 上海微电子装备(集团)股份有限公司
Abstract: 本发明实施例公开了一种光束透过率调节装置和光学照明系统。该光束透过率调节装置包括驱动单元和透过率调节单元，透过率调节单元包括至少一个旋转叶片和至少一个旋转轴；旋转叶片包括旋转中心区和圆环区，圆环区包括透过率调节区；透过率调节区的多个透光孔的面积占比沿顺时针或逆时针方向越来越小；至少一个旋转叶片与至少一个旋转轴一一对应同轴固定连接，旋转轴设置在光束的一侧且与光束的传播方向平行；驱动单元驱动旋转轴并带动旋转叶片旋转，以使光束从旋转叶片的透过率调节区中的不同区域透射。本发明实施例采用机械方式可实现透过率全档位连续调节，能够对光学照明系统中光源功率进行精准调节，避免多光源系统光源功率差异影响照明系统。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN110555878B
公开(公告)日：2021-04-13
申请号：CN201810549518.9
申请日：2018-05-31
Applicant: 上海微电子装备(集团)股份有限公司
Abstract: 本发明公开了一种物体空间位置形态的确定方法、装置、存储介质及机器人。该物体空间位置形态的确定方法包括：通过双目视觉装置获取待测物品和标准标记的双目视觉图像；对待测物品的双目视觉图像进行校正拟合，得到待测物品在世界坐标系下的深度图像，根据深度图像确定待测物品的点云数据图像；确定上表面点云数据以及上表面中心位置，作为待测物品的位置数据；并根据待测物品的上表面点云数据的拟合面，以及待测物品的上表面中心位置与待测物品的上表面点云数据边界位置的距离，确定待测物品的形态数据。上述技术方案，可以实现通过双目视觉装置获取待测物品的图像后，经过处理和分析，确定待测物品的空间位置和形态的效果。
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公开(公告)号：CN105372939B
公开(公告)日：2019-01-18
申请号：CN201410412524.1
申请日：2014-08-20
Applicant: 上海微电子装备(集团)股份有限公司
Abstract: 本发明提供了一种主基板及其制造方法和光刻机，通过将主基板设计为主基板本体和与之可拆卸连接的若干主动减振器接口支撑模块，其中，主基板本体为三层结构，包括第一表面、第二表面以及设置在所述第一表面和第二表面之间并搭接所述第一表面与第二表面的平板结构，避免了现有技术的主基板由一锻件作加工整体成型使得主基板体积较大的现象，减小了主基板本体的体积，降低了制造成本；另外，采用3D打印工艺，对经过宏观结构设计及微观结构设计的主基板进行激光成型一体化制造，降低了主基板的重量，提高了主基板的模态，实现了主基板的快速成型。
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公开(公告)号：CN108789423A
公开(公告)日：2018-11-13
申请号：CN201710295962.8
申请日：2017-04-28
Applicant: 上海微电子装备(集团)股份有限公司
CPC classification number: B25J11/0095 , B25J19/0091
Abstract: 本发明提供一种片盒搬运机器人，包括自动导引小车和架设在所述自动导引小车上的外部框架，所述外部框架上设有片盒承载装置、搬运所述片盒的机械手以及若干减振组件，所述若干减振组件对称分布在所述外部框架与自动导引小车之间，这样在片盒搬运机器人的移动过程中，当受到撞击或者外力或者被突然停止时，减振组件可以减缓其突然停止的动作，防止位于片盒架中的晶圆被突然停止的动作而与片盒发生碰撞或者片盒从片盒架上甩出去，同时由于减缓了突然停止的动作，能有效降低因机械振动对机器人本体造成的疲劳和寿命缩短，提高系统的可靠性。
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公开(公告)号：CN106255922B
公开(公告)日：2018-06-29
申请号：CN201480078178.6
申请日：2014-08-26
Applicant: 上海微电子装备(集团)股份有限公司
Abstract: 一种EUV光刻装置及其曝光方法。所述装置的掩模台(300)承载多个反射式掩模(400a，400b)，处于曝光位的反射式掩模(400a)在曝光的同时，处于测量位的另一块反射式掩模(400b)可同时进行面型和位置测量。多批次硅片曝光时，能够节约面型和位置测量时间，提高产率。掩模台(300)也可承载多个相同的反射式掩模，通过切换掩模的方式交替使用进行硅片曝光，通过不断切换反射式掩模可避免在高真空环境中散热困难导致反射式掩模在一段时间曝光后的受热形变导致像质受损的情况发生。
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公开(公告)号：CN111352231B
公开(公告)日：2021-10-22
申请号：CN201811582754.7
申请日：2018-12-24
Applicant: 上海微电子装备(集团)股份有限公司
IPC: G02B26/04
Abstract: 本发明公开了一种透过率调整装置，包括：旋转中心区域，以及围绕旋转中心区域设置的环形结构；环形结构包括透过率调整区和完全透光区；透过率调整区垂直于旋转中心区域轴向的第一侧边与完全透光区垂直于旋转中心区域轴向的第三侧边连接；透过率调整区垂直于旋转中心区域轴向的第二侧边与完全透光区垂直于旋转中心区域轴向的第四侧边连接；透过率调整区设置有阵列排布的透光孔，透过率调整区的透光面积在沿围绕旋转中心区域的顺时针或逆时针方向上逐渐增大。本发明提供了一种透过率调整装置，以解决现有的机械式透过率调整装置的透过率调整上限受到限制，并且不能实现透过率的连续调整的问题。
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