公开(公告)号：CN1047465C

公开(公告)日：1999-12-15

申请号：CN93104328.X

申请日：1993-03-18

Applicant: 三菱电机株式会社

Inventor： 户伏广明 ,  神田智幸 ,  久冈靖 ,  佐佐木茂雄 ,  小林实 ,  小田拓嗣 ,  植田隆治 ,  吉田章男 ,  尾胁忠义 ,  山崎昭彦 ,  木下昌昭 ,  福西俊昭

IPC: H01J9/00

CPC classification number: H04N3/30 ,  H01J9/50 ,  H01J2209/3893 ,  Y02W30/828

Abstract: 在彩色阴极射线管中，为了使荫罩不产生热变形以及使荧光体不发生热变质的前提下，能够有效地除去荫罩上所附着的夹杂物，本发明用阴极射线管本身的电子枪的电子束对彩色阴极射线管的萌罩进行全面的扫描照射，根据这时荧光屏的发光情况检测出荫罩上所附着的夹杂物，使电子束偏转并对合检测出的夹杂物的位置，然后用电子束对夹杂物进行脉冲照射从而把夹杂物加热而将其除去。

公开(公告)号：CN1722451A

公开(公告)日：2006-01-18

申请号：CN200510084430.7

申请日：2005-07-15

Applicant: 三菱电机株式会社

Inventor： 日野辉重 ,  田上和昭 ,  柴田英次 ,  小田拓嗣

IPC: H01L27/12 ,  H01L21/84 ,  H01L21/768 ,  H01L21/28 ,  G09F9/30 ,  G02F1/133

CPC classification number: H01L21/31116 ,  G02F1/136227 ,  H01L27/1248 ,  Y10S156/916 ,  Y10T29/41

Abstract: 本发明的目的在于提供一种可以保持蚀刻的一致性并进行高可靠性蚀刻的显示装置的制造方法和制造装置。在本发明的显示装置的制造方法中，在一对电极间产生电场，在至少在表面含有铝的下部电极(2)上的绝缘性基板(3)的表面所形成的绝缘膜上形成接触孔，其特征在于，包括：在上述下部电极(2)上，包围设置了上述绝缘性基板(3)的区域的外周部被绝缘材料所覆盖，在该状态下，在上述绝缘膜上形成接触孔的工序。

公开(公告)号：CN100388502C

公开(公告)日：2008-05-14

申请号：CN200510084430.7

申请日：2005-07-15

Applicant: 三菱电机株式会社

Inventor： 日野辉重 ,  田上和昭 ,  柴田英次 ,  小田拓嗣

IPC: H01L27/12 ,  H01L21/84 ,  H01L21/768 ,  H01L21/28 ,  G09F9/30 ,  G02F1/133

CPC classification number: H01L21/31116 ,  G02F1/136227 ,  H01L27/1248 ,  Y10S156/916 ,  Y10T29/41

Abstract: 本发明的目的在于提供一种可以保持蚀刻的一致性并进行高可靠性蚀刻的显示装置的制造方法和制造装置。在本发明的显示装置的制造方法中，在一对电极间产生电场，在至少在表面含有铝的下部电极(2)上的绝缘性基板(3)的表面所形成的绝缘膜上形成接触孔，其特征在于，包括：在上述下部电极(2)上，包围设置了上述绝缘性基板(3)的区域的外周部被绝缘材料所覆盖，在该状态下，在上述绝缘膜上形成接触孔的工序。

公开(公告)号：CN1082249A

公开(公告)日：1994-02-16

申请号：CN93104328.X

申请日：1993-03-18

Applicant: 三菱电机株式会社

Inventor： 户伏广明 ,  神田智幸 ,  久冈靖 ,  佐佐木茂雄 ,  小林实 ,  小田拓嗣 ,  植田隆治 ,  吉田章男 ,  尾胁忠义 ,  山崎昭彦 ,  木下昌昭 ,  福西俊昭

IPC: H01J9/00

CPC classification number: H04N3/30 ,  H01J9/50 ,  H01J2209/3893 ,  Y02W30/828

Abstract: 在彩色阴极射线管中，为了使荫罩不产生热变形以及使荧光体不发生热变质的前提下，能够有效地除去荫罩上所附着的夹杂物，本发明用阴极射线管本身的电子枪的电子束对彩色阴极射线管的荫罩进行全面的扫描照射，根据这时荧光屏的发光情况检测出荫罩上所附着的夹杂物，使电子束偏转并对合检测出的夹杂物的位置，然后用电子束对夹杂物进行脉冲照射从而把夹杂物加热而将其除去。