半导体装置的电气特性检查装置及半导体装置的电气特性检查方法

    公开(公告)号:CN114839498A

    公开(公告)日:2022-08-02

    申请号:CN202210020429.1

    申请日:2022-01-10

    Abstract: 涉及半导体装置的电气特性检查装置及方法。目的在于提供能够容易地创建与半导体装置的电气特性检查相关的精密的测定条件的技术。电气特性检查装置(100)具有:存储部(101),存储检查对象即半导体装置(108)的测定条件;控制部(102),从存储部读出与所实施的检查内容对应的测定条件;感应电感控制电路部(104),设定针对半导体装置的感应电感(L);以及杂散电感控制电路部(106),设定针对半导体装置的杂散电感(Ls)。控制部(102)基于从存储部读出的测定条件,通过对感应电感控制电路部(104)进行控制而调整感应电感(L),并且通过对杂散电感控制电路部(106)进行控制而调整杂散电感(Ls)。

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