公开(公告)号：CN1861840B

公开(公告)日：2010-05-12

申请号：CN200610080157.5

申请日：2006-05-09

申请人： 三星移动显示器株式会社

发明人： 姜熙哲 ,  古野和雄 ,  金汉基 ,  金明洙

IPC分类号： C23C16/448

CPC分类号： C23C16/44 ,  C23C16/4408 ,  C23C16/455

摘要： 本发明提供了一种催化剂增强化学气相沉积(CECVD)设备，在该CECVD设备中，喷头和催化剂支撑体相互独立。该CECVD设备具有在喷头、催化剂丝和基底之间的良好的间隔，并可被净化以防止在低温下运行的部分上形成的污染。该CECVD设备包括：反应室；喷头，用于将反应气体引入到反应室中；催化剂丝，用于分解反应气体；催化剂支撑体，用于支撑催化剂丝；基底，已分解的气体沉积在其上；基底支撑体，用于支撑基底。

公开(公告)号：CN102005541A

公开(公告)日：2011-04-06

申请号：CN201010266406.6

申请日：2010-08-27

申请人： 三星移动显示器株式会社

发明人： 赵昌睦 ,  金钟宪 ,  崔镕燮 ,  金相洙 ,  姜熙哲 ,  崔永默

IPC分类号： H01L51/56 ,  H01L27/32 ,  H01L21/82

CPC分类号： H01L33/005 ,  C23C14/042 ,  C23C14/12 ,  C23C14/243 ,  C23C14/246 ,  C23C14/568 ,  H01L21/67173 ,  H01L21/67225 ,  H01L21/67236 ,  H01L21/6831 ,  H01L27/3211 ,  H01L51/001 ,  H01L51/0011 ,  H01L51/56

摘要： 本发明公开了一种用来大规模地制造大基底并能够具有高清晰度图案化的薄膜沉积设备和一种使用该薄膜沉积设备制造有机发光显示设备的方法，所述薄膜沉积设备包括：装载单元，将基底固定到静电吸盘上；沉积单元，包括保持在真空状态的室和设置在室中的薄膜沉积组件，用来将薄膜沉积在固定于静电吸盘上的基底上，薄膜沉积组件与基底分开预定的距离；卸载单元，将完成了沉积工艺的基底与静电吸盘分离；第一循环单元，将固定有基底的静电吸盘顺序地移动到装载单元、沉积单元和卸载单元；第二循环单元，将与基底分离的静电吸盘从卸载单元返回到装载单元，其中，第一循环单元在穿过沉积单元时穿过室。