公开(公告)号：CN104004007B

公开(公告)日：2017-09-05

申请号：CN201410063617.8

申请日：2014-02-25

Applicant: 三星电子株式会社 ,  株式会社ADEKA

Inventor： 尹相喆 ,  樱井淳 ,  畑濑雅子 ,  曹仑廷 ,  姜知那 ,  山田直树 ,  崔晶植

IPC: C07F5/06 ,  C23C16/20 ,  H01G4/08 ,  H01G4/10

CPC classification number: H01G4/33 ,  H01G4/085 ,  H01G4/1272 ,  H01L27/10852 ,  H01L28/40

Abstract: 铝化合物由下式1表示。在式1中，X为由以下式2或式3表示的官能团。

公开(公告)号：CN104004007A

公开(公告)日：2014-08-27

申请号：CN201410063617.8

申请日：2014-02-25

Applicant: 三星电子株式会社 ,  株式会社ADEKA

Inventor： 尹相喆 ,  樱井淳 ,  畑濑雅子 ,  曹仑廷 ,  姜知那 ,  山田直树 ,  崔晶植

IPC: C07F5/06 ,  C23C16/20 ,  H01G4/08 ,  H01G4/10

CPC classification number: H01G4/33 ,  H01G4/085 ,  H01G4/1272 ,  H01L27/10852 ,  H01L28/40

Abstract: 铝化合物由下式1表示。在式1中，X为由以下式2或式3表示的官能团。

公开(公告)号：CN111032663A

公开(公告)日：2020-04-17

申请号：CN201880052124.0

申请日：2018-08-09

Applicant: 株式会社ADEKA

Inventor： 冈田奈奈 ,  畑濑雅子 ,  西田章浩 ,  樱井淳

IPC: C07F5/00 ,  C23C16/18 ,  H01L21/31

Abstract: 本发明在于提供由下述通式(1)表示的金属醇盐化合物、含有该化合物的薄膜形成用原料及使用该原料来形成含有金属的薄膜的薄膜的制造方法：[化1](式中，R1表示氢原子或者碳原子数1～4的烷基，R2表示异丙基、仲丁基、叔丁基、仲戊基、1-乙基丙基或者叔戊基，R3表示氢或者碳原子数1～4的烷基，R4表示碳原子数1～4的烷基，M表示钪原子、钇原子、镧原子、铈原子、镨原子、钕原子、钷原子、钐原子、铕原子、钆原子、铽原子、镝原子、钬原子、铒原子、铥原子、镱原子或者镥原子，n表示由M表示的原子的价数。但是，在M为镧原子的情况下，R2为仲丁基、叔丁基、仲戊基、1-乙基丙基或者叔戊基)。

公开(公告)号：CN107428677A

公开(公告)日：2017-12-01

申请号：CN201680013777.9

申请日：2016-02-12

Applicant: 株式会社ADEKA

Inventor： 吉野智晴 ,  远津正挥 ,  西田章浩 ,  杉浦奈奈 ,  樱井淳 ,  冈部诚

IPC: C07C251/08 ,  C23C16/18 ,  C07F15/06

CPC classification number: C07C251/08 ,  C07F15/06 ,  C07F15/065 ,  C23C16/18 ,  C23C16/45553

Abstract: 由下述通式(I)表示的二氮杂二烯基化合物。(式中，R1和R2各自独立地表示碳数1～6的直链或支化状的烷基，R3表示氢原子或碳数1～6的直链或支化状的烷基，M表示金属原子或硅原子，n表示由M表示的金属原子或硅原子的价数。)

公开(公告)号：CN113195784A

公开(公告)日：2021-07-30

申请号：CN201980082940.0

申请日：2019-12-03

Applicant: 株式会社ADEKA

Inventor： 樱井淳 ,  畑濑雅子 ,  吉野智晴 ,  西田章浩 ,  山下敦史

IPC: C23C16/18 ,  C23C16/40 ,  C23C16/455

Abstract: 一种原子层沉积法用薄膜形成原料，其含有由下述通式(1)表示的醇盐化合物。(式中，R1表示氢原子或碳原子数1～5的烷基。R2和R3分别独立地表示碳原子数1～5的烷基。z1表示1～3的整数。)

公开(公告)号：CN110709381A

公开(公告)日：2020-01-17

申请号：CN201880037348.4

申请日：2018-05-28

Applicant: 株式会社ADEKA

Inventor： 樱井淳 ,  畑濑雅子 ,  冈田奈奈 ,  西田章浩

IPC: C07C251/08 ,  C07F5/00 ,  C23C16/18 ,  C23C16/30 ,  H01L21/285

Abstract: 本发明提供由下述通式(1)表示的金属醇盐化合物:(式中，R1和R2各自独立地表示碳数1～4的烷基，R3表示碳数2或3的烷基，M表示钪原子、钇原子、镧原子、铈原子、镨原子、钕原子、钷原子、钐原子、铕原子、钆原子、铽原子、镝原子、钬原子、铒原子、铥原子、镱原子或镥原子，n表示M表示的原子的价数。)

公开(公告)号：CN106660946B

公开(公告)日：2019-07-23

申请号：CN201580040201.7

申请日：2015-07-16

Applicant: 株式会社ADEKA

Inventor： 樱井淳 ,  畑濑雅子 ,  吉野智晴 ,  远津正挥

IPC: C07C251/08 ,  C23C16/18 ,  H01L21/285 ,  C07F1/08 ,  C07F15/06

Abstract: 本发明的醇盐化合物的特征在于由下述通式(I)表示。

公开(公告)号：CN106458849B

公开(公告)日：2018-02-13

申请号：CN201580024971.2

申请日：2015-04-08

Applicant: 株式会社ADEKA

Inventor： 吉野智晴 ,  远津正挥 ,  樱井淳 ,  西田章浩 ,  冈部诚

IPC: C07C215/08 ,  C23C16/18 ,  H01L21/28 ,  H01L21/285 ,  C07F1/08

CPC classification number: C07F1/08 ,  C07C215/08 ,  C09D1/00 ,  C09D5/24 ,  C23C16/06 ,  C23C16/18 ,  C23C16/45525 ,  C23C16/45542 ,  C23C16/45553 ,  H01L21/28 ,  H01L21/285

Abstract: 本发明的铜化合物由下述通式(I)表示。通式(I)中，R1～R3各自独立地表示碳数1～5的直链或支链烷基，其中，R1和R2为甲基时，R3表示碳数2～5的直链或支链烷基；R1为甲基、R2为乙基时，R3表示甲基或碳数3～5的直链或支链烷基。另外，本发明的薄膜形成用原料含有上述通式(I)表示的铜化合物。根据本发明，可提供熔点低、可在液体状态下输送、而且蒸气压大、容易气化的铜化合物及使用其的薄膜形成用原料。

公开(公告)号：CN107428677B

公开(公告)日：2022-04-05

申请号：CN201680013777.9

申请日：2016-02-12

Applicant: 株式会社ADEKA

Inventor： 吉野智晴 ,  远津正挥 ,  西田章浩 ,  杉浦奈奈 ,  樱井淳 ,  冈部诚

IPC: C07C251/08 ,  C23C16/18 ,  C07F15/06

Abstract: 由下述通式(I)表示的二氮杂二烯基化合物。(式中，R1和R2各自独立地表示碳数1～6的直链或支化状的烷基，R3表示氢原子或碳数1～6的直链或支化状的烷基，M表示金属原子或硅原子，n表示由M表示的金属原子或硅原子的价数。)

公开(公告)号：CN106660946A

公开(公告)日：2017-05-10

申请号：CN201580040201.7

申请日：2015-07-16

Applicant: 株式会社ADEKA

Inventor： 樱井淳 ,  畑濑雅子 ,  吉野智晴 ,  远津正挥

IPC: C07C251/08 ,  C23C16/18 ,  H01L21/285 ,  C07F1/08 ,  C07F15/06

Abstract: 本发明的醇盐化合物的特征在于由下述通式(I)表示。