采用垂直纳米管的存储器件

    公开(公告)号:CN1512584A

    公开(公告)日:2004-07-14

    申请号:CN03136336.9

    申请日:2003-05-29

    Inventor: 郑炳昊 崔原凤

    Abstract: 本发明公开了一种采用垂直纳米管的存储器件。该存储器件包括条状第一电极的阵列、介电层、纳米管阵列、条状第二电极的阵列、存储单元和栅极电极。介电层设置在第一电极阵列上,并具有多个孔。该纳米管阵列接触第一电极阵列,通过该介电层的孔而垂直生长,并发射电子。第二电极阵列接触纳米管阵列,且第二电极垂直于第一电极地排列在该介电层上。存储单元位于第二电极阵列上,并俘获从纳米管阵列中发出的电子。栅极电极设置在存储单元的上表面上,并在纳米管阵列周围形成电场。因此,该存储器件得以高度集成并具有大的容量。

    采用垂直纳米管的存储器件

    公开(公告)号:CN100474590C

    公开(公告)日:2009-04-01

    申请号:CN03136336.9

    申请日:2003-05-29

    Inventor: 郑炳昊 崔原凤

    Abstract: 本发明公开了一种采用垂直纳米管的存储器件。该存储器件包括条状第一电极的阵列、介电层、纳米管阵列、条状第二电极的阵列、存储单元和栅极电极。介电层设置在第一电极阵列上,并具有多个孔。该纳米管阵列接触第一电极阵列,通过该介电层的孔而垂直生长,并发射电子。第二电极阵列接触纳米管阵列,且第二电极垂直于第一电极地排列在该介电层上。存储单元位于第二电极阵列上,并俘获从纳米管阵列中发出的电子。栅极电极设置在存储单元的上表面上,并在纳米管阵列周围形成电场。因此,该存储器件得以高度集成并具有大的容量。

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