公开(公告)号：CN110831311B

公开(公告)日：2024-12-06

申请号：CN201910112754.9

申请日：2019-02-13

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 田炳焕

IPC: H05G2/00

Abstract: 极紫外(EUV)产生装置，包括：壳体模块，其包括：壳体，其内部维持真空状态；以及出射窗，其形成在壳体一侧；激光源，其通过出射窗向壳体的内部发射激光，等离子体产生模块，其位于壳体内部并通过允许朝向流入激光焦点区域的等离子气体发射激光来产生等离子体，以及射频(RF)电源模块，其在等离子气体流入激光焦点区域之前，对等离子气体预电离。

公开(公告)号：CN110501879A

公开(公告)日：2019-11-26

申请号：CN201811597573.1

申请日：2018-12-26

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 田炳焕

IPC: G03F7/20

Abstract: 提供了一种包括残余物屏蔽组件的光产生器及使用其制造集成电路装置的方法，所述光产生器包括：室，具有等离子体产生空间；光学元件，位于室中；以及残余物屏蔽组件，在室中位于光学元件与等离子体产生空间之间，残余物屏蔽组件包括保护膜和保护框架，保护膜覆盖光学元件并与光学元件分隔开，保护膜与光学元件之间具有保护空间，保护空间包括光路，保护框架支撑保护膜并且将保护空间与等离子体产生空间屏蔽开。

公开(公告)号：CN109507190A

公开(公告)日：2019-03-22

申请号：CN201811066403.0

申请日：2018-09-13

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 安泰兴 ,  金英德 ,  朴相吉 ,  朴峻范 ,  岩阳一郎 ,  田炳焕

IPC: G01N21/88

Abstract: 一种检查设备包括光源。第一测量单元被配置为接收来自光源的光并将其引导到第一测量物体。第二测量单元被配置为接收来自光源的光并将其引导到第二测量物体。检查单元被配置为接收从第一测量单元提供的第一光信号并且使用第一光信号检查第一测量物体，并且接收从第二测量单元提供的第二光信号并且使用第二光信号检查第二测量物体。测量位置选择单元被配置为通过调整反射镜的角度来交替地启用两个测量单元的检查。

公开(公告)号：CN110579478B

公开(公告)日：2024-03-29

申请号：CN201910417361.9

申请日：2019-05-20

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 金洸秀 ,  朴永圭 ,  张城豪 ,  田炳焕

IPC: G01N21/88 ,  G01N21/25 ,  H01L21/67 ,  H01L21/66

Abstract: 公开了一种执行检验和计量处理的设备和方法。所述设备可包括：工作台，其被被配置为在其上装载基板；传感器，其位于工作台上；物镜，其位于传感器和工作台之间；光源，其产生将通过物镜被发送到基板的照明光；第一带滤波部件，其位于光源和物镜之间，以将照明光的波长控制在第一带宽内；以及第二带滤波部件，其位于光源和物镜之间，以将照明光的波长控制在第二带宽内，第二带宽小于第一带宽。

公开(公告)号：CN1297962C

公开(公告)日：2007-01-31

申请号：CN03159752.1

申请日：2003-09-24

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 朴喆洙 ,  郑在贤 ,  田炳焕 ,  奇钟日

IPC: G11B7/085 ,  G01R31/00 ,  G01M11/00

CPC classification number: G11B7/22

Abstract: 一种拾取器检验装置，用来检验安装在磁盘驱动器上并且从磁盘中读取数据的拾取器的性能，该拾取器检验装置包括：可旋转地支撑磁盘的磁盘驱动单元；及多个拾取器传送单元，设置在磁盘驱动单元周围，每个拾取器传送单元保持拾取器中对应的一个拾取器，并将拾取器传送至磁盘驱动单元以读取记录在磁盘上的数据，以便同时检验由拾取器传送单元中对应的一个拾取器传送单元保持的拾取器；拾取器传送单元包括：保持拾取器的拾取器保持器；角度调整件，其连接至拾取器保持器，以调整拾取器保持器相对磁盘驱动单元的角度；及进给电动机，其连接至角度调整件，以将由拾取器保持器保持的拾取器传送至磁盘驱动单元。

公开(公告)号：CN1508552A

公开(公告)日：2004-06-30

申请号：CN03159752.1

申请日：2003-09-24

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 朴喆洙 ,  郑在贤 ,  田炳焕 ,  奇钟日

IPC: G01R31/00 ,  G01M11/00

CPC classification number: G11B7/22

Abstract: 一种拾取器检验装置，其用来检验拾取器的性能，其中所述拾取器安装在磁盘驱动器上且从磁盘上读取数据，所述拾取器检验装置包括：可旋转地支撑磁盘的磁盘驱动单元；多个围绕磁盘驱动单元设置的拾取器传送单元，其中每个拾取器传送单元保持拾取器，并将拾取器传送至磁盘驱动单元，以便读取记录在磁盘上的数据，从而同时检验多个拾取器。拾取器检验单元的检验效率得到改进。

公开(公告)号：CN110501879B

公开(公告)日：2023-10-31

申请号：CN201811597573.1

申请日：2018-12-26

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 田炳焕

IPC: G03F7/20

Abstract: 提供了一种包括残余物屏蔽组件的光产生器及使用其制造集成电路装置的方法，所述光产生器包括：室，具有等离子体产生空间；光学元件，位于室中；以及残余物屏蔽组件，在室中位于光学元件与等离子体产生空间之间，残余物屏蔽组件包括保护膜和保护框架，保护膜覆盖光学元件并与光学元件分隔开，保护膜与光学元件之间具有保护空间，保护空间包括光路，保护框架支撑保护膜并且将保护空间与等离子体产生空间屏蔽开。

公开(公告)号：CN109540295A

公开(公告)日：2019-03-29

申请号：CN201810337027.8

申请日：2018-04-16

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 朴相吉 ,  田炳焕 ,  安泰兴

IPC: G01J3/443 ,  G01J3/02 ,  G01N21/73

Abstract: 本公开提供了原子发射光谱仪、半导体制造系统和半导体元件制造方法。一种原子发射光谱仪(AES)包括：至少一个激光发生器，其被构造为产生激光束；室，其包括布置在室中的椭圆反射镜或球面镜，椭圆反射镜或球面镜被构造为反射透射至室中的激光束，使得激光束会聚和照射至容纳在室中的被分析物上，以产生等离子体并发射等离子体光；供应器，其连接至室，以将被分析物供应至室中；以及光谱仪，其被构造为接收和分析等离子体光，并且获得关于等离子体光的数据以检测被分析物中的元素。

公开(公告)号：CN1215196A

公开(公告)日：1999-04-28

申请号：CN98119671.3

申请日：1998-09-21

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 田炳焕

IPC: G06T7/00

Abstract: 本发明的复合图像处理装置用于同时处理具有不同技术规格的图像信号及把该已处理图像信号传送到共用输入和输出(I/O)总线。在各自图像信号的传送通道和共用(I/O)总线之间备有各自的图像接口和各自的图像RAM。各自的图像接口把来自对应传输通道的图像信号变换成数字图像数据。各自的图像RAM按照定时控制信号或输入地址,把来自对应图像接口或主控制器的数据存储到指定的地址区中,或者把已存储图像数据传送到共用I/O总线。

公开(公告)号：CN1155130A

公开(公告)日：1997-07-23

申请号：CN96121847.9

申请日：1996-11-29

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 田炳焕

IPC: G06T3/00

Abstract: 一种图形覆盖装置，包括：帧存储器，用于存储视频数据；视频地址产生器，用于产生视频地址以指示帧存储器的一个区域以便从其读出或向其存储；至少两个图形覆盖存储器，用于以预定的周期交替地读出和写入图形数据，其中该写入由图形地址指示，而读出由视频地址指示；多路复用器，用于从一图形覆盖存储器选择并输出图形数据输出；查询表，用于覆盖视频数据和图形数据，并输出该覆盖的数据；以及一个中央处理单元。