半导体器件及其制造方法
    1.
    发明公开

    公开(公告)号:CN117812913A

    公开(公告)日:2024-04-02

    申请号:CN202310545947.X

    申请日:2023-05-15

    Abstract: 一种半导体器件,包括:衬底,包括多个突出部、第一沟槽和第二沟槽,多个突出部从衬底的上表面突出并且沿彼此相交的第一方向和第二方向二维布置,第一沟槽沿第一方向设置在突出部之间,第二沟槽沿第二方向设置在突出部之间;第一器件隔离层,填充第一沟槽;栅极图案,设置在沿第二方向的突出部上,突出部的上表面分别在栅极图案的两侧暴露;以及第二器件隔离层,填充在第二方向上的栅极图案之间的空间和第二沟槽,并且每个栅极图案具有与第二沟槽相邻并且与第二沟槽的内壁对齐的第一侧壁。

    半导体器件和包括该半导体器件的电子系统

    公开(公告)号:CN117440689A

    公开(公告)日:2024-01-23

    申请号:CN202310624659.3

    申请日:2023-05-30

    Abstract: 提供了一种半导体器件和一种包括该半导体器件的电子系统。所述半导体器件包括:外围电路结构,其包括电路、布线层和通路接触;板公共源极线,其覆盖所述外围电路结构;绝缘插塞,其穿过所述板公共源极线;横向绝缘间隔物,其位于所述外围电路结构与所述板公共源极线之间;存储堆叠结构,其包括位于所述板公共源极线上的栅极线;贯通接触,其穿过所述栅极线中的至少一条栅极线和所述绝缘插塞,所述贯通接触连接到所述通路接触中的第一通路接触;以及源极线接触,其穿过所述横向绝缘间隔物,所述源极线接触位于所述通路接触中的第二通路接触与所述板公共源极线之间,其中,在横向方向上所述第一通路接触的宽度大于所述绝缘插塞的宽度。

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