公开(公告)号：CN117626215A

公开(公告)日：2024-03-01

申请号：CN202311107547.7

申请日：2023-08-30

申请人： 三星显示有限公司

发明人： 高晙赫 ,  姜敏求 ,  金义圭 ,  金宗范 ,  柳锡河 ,  李尙玟 ,  郑京勳

IPC分类号： C23C16/04 ,  C23C16/458

摘要： 提供了一种沉积设备和沉积方法，所述沉积设备包括：掩模；掩模框架；平台，设置在掩模框架的后表面上；以及第一外力施加部至第三外力施加部，设置在平台上。第一部分和第二部分中的每个包括支撑件和使支撑件移动的驱动部。第一外力施加部至第三外力施加部向掩模框架施加外力以控制掩模框架的形状。

公开(公告)号：CN117015287A

公开(公告)日：2023-11-07

申请号：CN202310480698.0

申请日：2023-04-28

申请人： 三星显示有限公司

发明人： 赵荣善 ,  金暲祐 ,  李尚玟 ,  郑京勳 ,  洪宰敏

IPC分类号： H10K71/16 ,  C23C14/04 ,  C23C14/24 ,  C23C14/50

摘要： 本发明涉及用于制造显示装置的设备和制造显示装置的方法。所述用于制造显示装置的设备包括：掩模组件，相对于与地面平行的一个平面倾斜；支撑单元，被配置以支撑所述掩模组件的后表面并支撑所述掩模组件的下表面；沉积源，被布置为面向所述掩模组件；以及载架，被布置为面向所述掩模组件并被配置以支撑显示基板。

公开(公告)号：CN116891992A

公开(公告)日：2023-10-17

申请号：CN202310297028.5

申请日：2023-03-24

申请人： 三星显示有限公司

发明人： 金義圭 ,  李尚玟 ,  高晙赫 ,  金宗范 ,  文在晳 ,  安洪均 ,  郑京勳

IPC分类号： C23C14/04 ,  C23C14/22 ,  C23C14/50 ,  H10K71/16

摘要： 公开了沉积掩模台、显示器制造设备以及显示器制造方法，所述沉积掩模台包括台框架、与所述台框架组合的多个卡盘以及在所述台框架的后侧上的多个支撑块。所述多个卡盘在第一方向和第二方向上彼此间隔开，所述第一方向和所述第二方向被限定为所述台框架的延伸方向。所述第一方向和所述第二方向彼此相交。所述多个支撑块在所述台框架的所述后侧上在所述第一方向和所述第二方向上彼此间隔开。

公开(公告)号：CN109423601B

公开(公告)日：2022-07-05

申请号：CN201810171097.0

申请日：2018-03-01

申请人： 三星显示有限公司

发明人： 金明圭 ,  郑京勳

IPC分类号： C23C14/04 ,  C23C14/24

摘要： 提供了夹持装置及包括该夹持装置的掩模组件制造装置。根据本发明一实施方式的夹持装置作为包括夹持单元和使夹持单元移动的拉伸单元的夹持装置，其中，夹持单元包括基础台、相隔开地布置在基础台上的第一驱动台和第二驱动台，以及布置在第一驱动台上的第一指部和布置在第二驱动台上的第二指部。

公开(公告)号：CN117015288A

公开(公告)日：2023-11-07

申请号：CN202310480727.3

申请日：2023-04-28

申请人： 三星显示有限公司

发明人： 赵荣善 ,  洪宰敏 ,  金明圭 ,  金暲祐 ,  朴钟圣 ,  李相信 ,  李政燮 ,  郑京勳 ,  郑恩汀 ,  洪京浩

IPC分类号： H10K71/16 ,  H10K71/70 ,  H01L21/67 ,  C23C14/04

摘要： 本发明涉及用于制造显示装置的设备和方法。所述用于制造显示装置的设备包括：掩模组件，相对于平行于地面的平面倾斜；沉积源，面向所述掩模组件；以及载架，面向所述掩模组件并被配置以支撑显示基板。所述掩模组件包括：掩模框架，具有平坦表面；以及掩模片，具有在所述掩模框架的平坦表面上的端部并联接到所述掩模框架。

公开(公告)号：CN115020275A

公开(公告)日：2022-09-06

申请号：CN202210202538.5

申请日：2022-03-03

申请人： 三星显示有限公司 ,  株式会社爱发科

发明人： 郑京勳 ,  西口昌男 ,  岩瀬大辅 ,  卢基俊 ,  张万洙

IPC分类号： H01L21/67 ,  C23C14/04 ,  C23C14/34 ,  C23C14/56 ,  C23C16/04 ,  C23C16/54

摘要： 本发明涉及一种真空处理装置和使用该真空处理装置的真空处理方法。一种真空处理装置，包括：沿着第一方向依次布置的多个传送室；沿着垂直于所述第一方向的第二方向连接到所述多个传送室的多个处理室；以及连接到所述多个传送室中的第一传送室的位置转换室。所述多个传送室各自包括旋转运动台，所述旋转运动台被配置用以围绕垂直于所述第一方向和所述第二方向的旋转轴线旋转，并且用以沿着由所述第一方向和所述第二方向形成的平面移动。

公开(公告)号：CN113571459A

公开(公告)日：2021-10-29

申请号：CN202110386748.X

申请日：2021-04-12

申请人： 三星显示有限公司

发明人： 沈载原 ,  李润宰 ,  金盛来 ,  李康源 ,  郑京勳

IPC分类号： H01L21/683 ,  C23C14/04 ,  C23C14/50 ,  C23C16/04 ,  C23C16/458

摘要： 提供了用于制造显示装置的设备和用于制造显示装置的方法。所述设备包括：第一壳体，具有第一腔室；支撑构件，设置在第一腔室中并且包括具有多个开口的框架；多个粘合图案，设置在框架上；以及多个静电支撑件，与多个开口叠置并且被支撑用于在多个开口中的相应开口中往复移动。

公开(公告)号：CN109423601A

公开(公告)日：2019-03-05

申请号：CN201810171097.0

申请日：2018-03-01

申请人： 三星显示有限公司

发明人： 金明圭 ,  郑京勳

IPC分类号： C23C14/04 ,  C23C14/24

摘要： 提供了夹持装置及包括该夹持装置的掩模组件制造装置。根据本发明一实施方式的夹持装置作为包括夹持单元和使夹持单元移动的拉伸单元的夹持装置，其中，夹持单元包括基础台、相隔开地布置在基础台上的第一驱动台和第二驱动台，以及布置在第一驱动台上的第一指部和布置在第二驱动台上的第二指部。

公开(公告)号：CN220746055U

公开(公告)日：2024-04-09

申请号：CN202322347922.7

申请日：2023-08-30

申请人： 三星显示有限公司

发明人： 高晙赫 ,  姜敏求 ,  金义圭 ,  金宗范 ,  柳锡河 ,  李尙玟 ,  郑京勳

IPC分类号： C23C14/04 ,  C23C16/04 ,  C23C14/50 ,  C23C16/458

摘要： 提供了一种沉积设备，其包括：掩模，在掩模中限定有多个沉积开口；掩模框架，包括第一部分、第二部分、第三部分和第四部分并且设置在掩模的后表面上，并且在掩模框架中限定有开口；平台，设置在掩模框架的后表面上；以及第一外力施加部、第二外力施加部和第三外力施加部，设置在平台上，其中，第一部分和第二部分中的每个在第一方向上延伸，并且第三部分和第四部分中的每个在与第一方向垂直的第二方向上延伸，并且第一外力施加部至第三外力施加部中的每个包括支撑掩模框架的外表面的支撑件和使支撑件在与掩模框架的外表面垂直的方向上移动的驱动部。根据公开的沉积设备包括能够调节掩模框架的位置的外力施加部，使得沉积设备具有改善的沉积精度。

公开(公告)号：CN221079960U

公开(公告)日：2024-06-04

申请号：CN202322633141.4

申请日：2023-09-27

申请人： 三星显示有限公司

发明人： 铃木俊成 ,  郑京勳

IPC分类号： H01L21/677

摘要： 本实用新型提供了一种基板传送装置，其包括：载体，包括用于安置基板的主体部、在第一方向上与主体部相邻的第一端部以及在与第一方向相反的方向上与主体部相邻的第二端部；第一移动部，在第一方向上与第一端部相邻，并且包括上部移动磁体；第一框架，包括使载体磁悬浮的上部固定磁体；第二移动部，布置在第二端部的下方，并且包括第一下部移动磁体和第二下部移动磁体；以及第二框架，布置在第二移动部的下方，并且包括与第一下部移动磁体相对的第一线性推进模块以及与第二下部移动磁体相对的第一下部固定磁体。