发明公开
- 专利标题： 用于制造显示装置的设备和方法
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申请号： CN202310480727.3申请日： 2023-04-28
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公开(公告)号： CN117015288A公开(公告)日： 2023-11-07
- 发明人: 赵荣善 , 洪宰敏 , 金明圭 , 金暲祐 , 朴钟圣 , 李相信 , 李政燮 , 郑京勳 , 郑恩汀 , 洪京浩
- 申请人： 三星显示有限公司
- 申请人地址： 韩国京畿道
- 专利权人： 三星显示有限公司
- 当前专利权人： 三星显示有限公司
- 当前专利权人地址： 韩国京畿道
- 代理机构： 北京德琦知识产权代理有限公司
- 代理商 张红霞; 周艳玲
- 优先权： 10-2022-0055020 20220503 KR
- 主分类号： H10K71/16
- IPC分类号： H10K71/16 ; H10K71/70 ; H01L21/67 ; C23C14/04
摘要：
本发明涉及用于制造显示装置的设备和方法。所述用于制造显示装置的设备包括：掩模组件，相对于平行于地面的平面倾斜；沉积源，面向所述掩模组件；以及载架，面向所述掩模组件并被配置以支撑显示基板。所述掩模组件包括：掩模框架，具有平坦表面；以及掩模片，具有在所述掩模框架的平坦表面上的端部并联接到所述掩模框架。
