掩模组件
    1.
    发明公开
    掩模组件 审中-实审

    公开(公告)号:CN113930718A

    公开(公告)日:2022-01-14

    申请号:CN202110647568.2

    申请日:2021-06-09

    Abstract: 本申请涉及一种掩模组件。掩模组件包括沉积掩模框架和沉积掩模,沉积掩模框架包括:边缘部分,包括沿着第一方向的相对的上部部分和下部部分;以及支承件,沿着第一方向在边缘部分的上部部分与下部部分之间,沉积掩模可附接至沉积掩模框架。沉积掩模包括图案区域和第一沉积区域,图案区域与支承件对应,并且包括:第一焊接区域,在第一焊接区域处,沉积掩模可附接至支承件;对准调整图案,沿着第一方向邻近于第一焊接区域;以及在对准调整图案处的第二厚度的沉积掩模,该第二厚度小于沉积掩模在第一焊接区域处的第一厚度,第一沉积区域包括沉积掩模的上部沉积开口,并且在掩模框架的上部部分与支承件之间。

    沉积装置
    2.
    发明公开
    沉积装置 审中-公开

    公开(公告)号:CN110983247A

    公开(公告)日:2020-04-10

    申请号:CN201910938890.3

    申请日:2019-09-30

    Abstract: 本发明涉及一种沉积装置,包括:腔室;腔室中的掩模组件,该掩模组件被配置为使目标基板安置在掩模组件上并且包括在一个方向上排列的多个掩模;沉积源,该沉积源面对腔室中的掩模组件并且包含沉积材料;连接到沉积源并且被配置为朝向掩模组件注入沉积材料的多个喷嘴;以及面对掩模组件的按压部件,目标基板在按压部件和掩模组件之间,该按压部件被配置为朝向多个掩模提供按压力并且包括:具有板形状并且与多个掩模重叠的按压板;以及在按压板下面的多个电极部件,其中具有彼此不同的幅度的电压被分别施加到多个电极部件。

    有机电致发光显示器及其制造方法

    公开(公告)号:CN103811523B

    公开(公告)日:2018-07-13

    申请号:CN201310295009.5

    申请日:2013-07-15

    CPC classification number: H01L51/0003

    Abstract: 公开了一种有机电致发光显示器及其制造方法。在一个方面中,有机电致发光显示器包括衬底和设置在衬底上的第一电极。其还包括设置在第一电极上的像素限定层,其中像素限定层包括开口部分,开口部分形成在与第一电极重叠的区域中。其还包括设置在第一电极和像素限定层上的亲液层、设置在亲液层上的有机发光层以及设置在有机发光层上的第二电极。亲液层包括中心部分和边缘部分。中心部分通过开口部分设置在第一电极上并且包括形成于其中的至少一个凹口部分。边缘部分从中心部分延伸并设置在像素限定层上。

    掩模组件以及使用该掩模组件的掩模框组件

    公开(公告)号:CN102851638B

    公开(公告)日:2015-11-18

    申请号:CN201210263043.X

    申请日:2005-11-17

    Inventor: 金义圭 金泰亨

    CPC classification number: G03F7/70783 B05B12/20 C23C14/042 H01L51/56

    Abstract: 本发明公开了一种掩模组件,其被构造成防止掩模热变形并保持多个分开的图案掩模之间的间隙。根据一个实施例,该掩模组件包括:开口掩模,其具有在行或列上排列的多个第一开口;图案掩模,其包括多个单位图案掩模。在一些实施例中,可相对于开口掩模固定单位图案掩模的端部,该单位图案掩模包括被构造成与开口掩模的多个第一开口对齐的多个掩模图案单元。在一些实施例中,拉力被施加到单位图案掩模。

    沉积设备
    6.
    发明授权

    公开(公告)号:CN110983246B

    公开(公告)日:2024-09-10

    申请号:CN201910911434.X

    申请日:2019-09-25

    Abstract: 本申请涉及沉积设备。该沉积设备包括衬底支承件、掩模框架、多个精细金属掩模、多个第一外力施加器以及多个第二外力施加器,其中,衬底支承件配置成支承衬底的两侧;掩模框架设置在衬底支承件下方并具有框架形状;多个精细金属掩模设置在衬底支承件的下部部分下方并在第一方向上延伸,布置在与第一方向交叉的第二方向上,并且设置在掩模框架上;多个第一外力施加器设置在掩模框架的在第一方向上彼此相对的外侧表面上;多个第二外力施加器设置在掩模框架的在第一方向上彼此面对的内侧表面上。

    显示设备和电子装置
    7.
    发明公开

    公开(公告)号:CN113140595A

    公开(公告)日:2021-07-20

    申请号:CN202011482876.6

    申请日:2020-12-16

    Abstract: 提供了显示设备和电子装置。显示设备包括显示区域和围绕显示区域的非显示区域,显示区域包括第一显示区域和第二显示区域。显示设备还包括衬底和多个像素,所述多个像素布置在衬底上方并且包括第一像素和第二像素,第一像素包括在第一显示区域中,并且第二像素包括在第二显示区域中,其中,第一像素包括第一像素单元的重复布置结构,该第一像素单元各自包括具有不同颜色的像素,并且第二像素包括第二像素单元的重复布置结构,该第二像素单元各自包括比第一像素单元中的每个中所包括的像素的数量更多数量的像素。

    沉积设备及其驱动方法
    10.
    发明公开

    公开(公告)号:CN117467998A

    公开(公告)日:2024-01-30

    申请号:CN202310505859.7

    申请日:2023-05-08

    Abstract: 提供了沉积设备及其驱动方法。沉积设备包括:板;多个静电卡盘,该多个静电卡盘包括:第一表面,板布置在第一表面上;以及第二表面,基板被支撑在第二表面上;以及控制装置,该控制装置控制多个静电卡盘之间的平坦度,并且多个静电卡盘中的每个包括布置成穿过多个静电卡盘中的每个的第一表面的边缘的区域的多个驱动轴,并且控制装置通过测量多个静电卡盘之间的高度偏差经由多个驱动轴来控制多个静电卡盘之间的平坦度。

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