透明导电膜用溅射靶
    2.
    发明授权

    公开(公告)号:CN110546299B

    公开(公告)日:2022-09-30

    申请号:CN201880027424.3

    申请日:2018-03-08

    Abstract: 本发明的透明导电膜用溅射靶由氧化物烧结体形成,所述氧化物烧结体的构成元素为In、Sn、Si和O,或者为In、Si和O,In的含有比率以In2O3换算计为70.0质量%以上且小于85.0质量%,Sn的含有比率以SnO2换算计为0质量%以上且10.0质量%以下,Si的含有比率以SiO2换算计大于15.0质量%且为20.0质量%以下,在上述溅射靶的X射线衍射测定中,Si全部以具有钪钇石型结构的硅酸铟化合物的峰的形式表现。本发明的导电膜形成用溅射靶的电阻率低,能够进行DC溅射,结瘤和电弧的产生少。另外,通过溅射,能够成膜成具有高的膜电阻率和高的蚀刻加工性的透明导电膜。

    透明导电膜用溅射靶
    3.
    发明授权

    公开(公告)号:CN110546300B

    公开(公告)日:2022-09-30

    申请号:CN201880027441.7

    申请日:2018-03-08

    Abstract: 本发明涉及一种透明导电膜用溅射靶,其由氧化物烧结体形成,所述氧化物烧结体的构成元素为In、Sn、Si和O,In的含有比率以In2O3换算计大于25.0质量%且为82.0质量%以下,Sn的含有比率以SnO2换算计为15.0质量%以上且65.0质量%以下,Si的含有比率以SiO2换算计为3.0质量%以上且小于10.0质量%。本发明的导电膜形成用溅射靶的电阻率低,能够进行DC溅射,通过溅射,能够形成具有高的膜电阻率和高耐化学试剂性的透明导电膜。

    透明导电膜用溅射靶
    4.
    发明公开

    公开(公告)号:CN110546300A

    公开(公告)日:2019-12-06

    申请号:CN201880027441.7

    申请日:2018-03-08

    Abstract: 本发明涉及一种透明导电膜用溅射靶,其由氧化物烧结体形成,所述氧化物烧结体的构成元素为In、Sn、Si和O,In的含有比率以In2O3换算计大于25.0质量%且为82.0质量%以下,Sn的含有比率以SnO2换算计为15.0质量%以上且65.0质量%以下,Si的含有比率以SiO2换算计为3.0质量%以上且小于10.0质量%。本发明的导电膜形成用溅射靶的电阻率低,能够进行DC溅射,通过溅射,能够形成具有高的膜电阻率和高耐化学试剂性的透明导电膜。

    透明导电膜用溅射靶
    5.
    发明公开

    公开(公告)号:CN110546299A

    公开(公告)日:2019-12-06

    申请号:CN201880027424.3

    申请日:2018-03-08

    Abstract: 本发明的透明导电膜用溅射靶由氧化物烧结体形成,所述氧化物烧结体的构成元素为In、Sn、Si和O,或者为In、Si和O,In的含有比率以In2O3换算计为70.0质量%以上且小于85.0质量%,Sn的含有比率以SnO2换算计为0质量%以上且10.0质量%以下,Si的含有比率以SiO2换算计大于15.0质量%且为20.0质量%以下,在上述溅射靶的X射线衍射测定中,Si全部以具有钪钇石型结构的硅酸铟化合物的峰的形式表现。本发明的导电膜形成用溅射靶的电阻率低,能够进行DC溅射,结瘤和电弧的产生少。另外,通过溅射,能够成膜成具有高的膜电阻率和高的蚀刻加工性的透明导电膜。

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