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公开(公告)号：CN107533283B
公开(公告)日：2021-05-28
申请号：CN201680023233.0
申请日：2016-04-11
Abstract: 本发明的课题是抑制在裁剪时产生的异物粒子附着于防护膜组件。本发明涉及的防护膜组件的制造方法是制造包含防护膜和支撑该防护膜周围的防护膜组件框的防护膜组件的方法，所述方法包含如下操作：在基板上形成防护膜(101)，将具有伸缩性且在受到来自外部的刺激时粘着力会降低的粘着片(106，107)粘贴于基板的两面侧，在粘贴有粘着片的部分的基板的内部形成切口，维持粘贴有粘着片的状态，将基板的形成了上述切口的部分的外侧的基板外周部(111)分离从而形成防护膜组件框，对粘着片给予刺激而剥离粘着片。
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公开(公告)号：CN107533283A
公开(公告)日：2018-01-02
申请号：CN201680023233.0
申请日：2016-04-11
CPC classification number: G03F1/24 , C09J7/38 , G03F1/54 , G03F1/60 , G03F1/62 , G03F1/64 , G03F1/76 , G03F1/80 , G03F1/82
Abstract: 本发明的课题是抑制在裁剪时产生的异物粒子附着于防护膜组件。本发明涉及的防护膜组件的制造方法是制造包含防护膜和支撑该防护膜周围的防护膜组件框的防护膜组件的方法，所述方法包含如下操作：在基板上形成防护膜(101)，将具有伸缩性且在受到来自外部的刺激时粘着力会降低的粘着片(106，107)粘贴于基板的两面侧，在粘贴有粘着片的部分的基板的内部形成切口，维持粘贴有粘着片的状态，将基板的形成了上述切口的部分的外侧的基板外周部(111)分离从而形成防护膜组件框，对粘着片给予刺激而剥离粘着片。
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公开(公告)号：CN112088334B
公开(公告)日：2024-08-27
申请号：CN201980017088.9
申请日：2019-03-01
Applicant: 三井化学株式会社
Abstract: 本发明提供抑制了从粘接层产生释气的防护膜组件。防护膜组件(100)具有：防护膜(101)；支撑上述防护膜的支撑框(103)；设置于上述支撑框的突起部(105)；设置于上述突起部的第1粘接层(107)；以及无机物层，上述无机物层与上述第1粘接层相比设置在上述防护膜所处的一侧。上述无机物层可以包含第1无机物层(109)，上述第1无机物层(109)设置于上述第1粘接层中作为与上述防护膜交叉的方向的侧面的、上述防护膜所处一侧的第1侧面(121)。
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公开(公告)号：CN110325908A
公开(公告)日：2019-10-11
申请号：CN201880012953.6
申请日：2018-02-09
Applicant: 三井化学株式会社
Abstract: 本发明提供EUV透射性高、释气少、污染少的EUV用防护膜组件及其制造方法。防护膜组件(100)的特征在于，具有防护膜(101)、支撑框(103)以及第1粘接层(109)，所述第1粘接层(109)设置于支撑框的与吊挂有防护膜的端部相反一侧的端部，在第1粘接层的沿与防护膜面交叉的方向且处于吊挂防护膜一侧的侧面具有无机物层(111)，上述无机物层的质量吸收系数(μm)为5×103cm2/g～2×105cm2/g的范围。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101512421B
公开(公告)日：2011-05-11
申请号：CN200780033102.1
申请日：2007-09-06
Applicant: 三井化学株式会社
IPC: G02F1/1339 , C07D301/08 , C07D303/26 , C08F20/32
CPC classification number: C07D303/26 , C07D301/08 , C08F220/32
Abstract: 本发明涉及能够应用于液晶显示面板的液晶密封剂。本发明的液晶密封剂包含：(a)分子内具有(甲基)丙烯酰基和缩水甘油基且数均分子量为500～2000的化合物，(b)热潜伏性固化剂，(c)自由基聚合引发剂和(d)填料。所述(a)成分是高分子量体，反应性高且具有潜伏固化性，因此兼具对液晶的溶解度低、固化性高和粘度稳定性高的特点。从而，如果使用所述液晶密封剂制造液晶显示面板，不仅可以保持高的生产率，而且基板与液晶密封剂的固化物的粘接强度高，可以将液晶污染性控制为很低，因此可以制造显示性高的良好的高品质液晶显示面板。
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公开(公告)号：CN107924117A
公开(公告)日：2018-04-17
申请号：CN201680047788.9
申请日：2016-08-15
Applicant: 三井化学株式会社
IPC: G03F1/64
CPC classification number: G03F1/64 , B32B15/08 , B32B2311/24 , B32B2379/08 , C25D11/22
Abstract: 本发明的目的在于提供一种即便照射准分子光等短波长光也难以劣化，进而难以产生逸气或异物的防护膜组件框、使用其的防护膜组件。为了实现上述目的，设为如下的防护膜组件框，其为支撑防护膜的外周的防护膜组件框，包括框架和形成于所述框架的表面的含有聚酰亚胺树脂的膜。
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公开(公告)号：CN106796391A
公开(公告)日：2017-05-31
申请号：CN201580046926.7
申请日：2015-09-18
Applicant: 三井化学株式会社
IPC: G03F1/64 , H01L21/027
Abstract: 本发明提供远紫外光光刻用的防护膜组件、其制造方法以及曝光方法。本发明涉及的防护膜组件具备：配置有防护膜的第1框体；支持上述第1框体的第2框体；贯通上述第1框体的贯通孔；以及在上述第1框体的配置有上述防护膜的面侧覆盖上述贯通孔的过滤器。上述贯通孔可以贯通上述防护膜，上述过滤器可以配置在上述防护膜上。此外，上述过滤器可以与上述防护膜相邻地配置在上述第1框体上。
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公开(公告)号：CN106662806A
公开(公告)日：2017-05-10
申请号：CN201580046947.9
申请日：2015-09-17
Applicant: 三井化学株式会社
IPC: G03F1/64 , H01L21/027
CPC classification number: G03F1/64 , G03F7/2008 , H01L21/027
Abstract: 本发明提供远紫外光光刻用的防护膜组件、其制造方法以及曝光方法。本发明涉及的防护膜组件具备：第1框体，该第1框体配置有防护膜；第2框体，该第2框体具有厚部和第2面，并将上述防护膜和上述第1框体从外侧包围，所述厚部包含第1面，所述第1面承接与上述第1框体的配置有上述防护膜的面相反侧的面，所述第2面与上述第1面连接并承接上述第1框体的侧面；贯通孔，该贯通孔配置在上述第2框体的上述厚部；以及过滤器，该过滤器配置在与配置有上述防护膜的上述第1框体的面交叉的上述第2框体的外侧的侧面，并覆盖上述贯通孔。
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公开(公告)号：CN102971673A
公开(公告)日：2013-03-13
申请号：CN201180033339.6
申请日：2011-06-29
Applicant: 三井化学株式会社
IPC: G03F1/48 , G03F1/62 , C09J133/00 , C09J153/00
CPC classification number: G03F1/62 , C08L23/20 , C08L57/02 , C08L91/06 , C08L2205/02 , C09J135/06 , C09J153/025 , G03F1/64
Abstract: 本发明的课题是提供一种具有在进行曝光的温度区域内特别容易塑性变形，自掩模剥离时几乎没有糊残留，操作性良好的掩模粘接剂层，且可抑制图案的位置偏移的防护膜组件。为了解决上述课题，而制成具备防护膜框架14、防护膜12、包含掩模粘接剂的掩模粘接剂层15的防护膜组件10。掩模粘接剂包含tanδ峰值温度为-20℃～30℃的热塑性弹性体（A）100质量份和增粘树脂（B）20质量份～150质量份，热塑性弹性体（A）为选自由苯乙烯系热塑性弹性体、(甲基)丙烯酸酯系热塑性弹性体和烯烃系热塑性弹性体所组成的组中的至少一种，掩模粘接剂的tanδ峰值温度为-10℃～30℃。
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