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公开(公告)号：CN105209156B
公开(公告)日：2017-05-10
申请号：CN201480027798.7
申请日：2014-03-14
申请人： MKS仪器股份有限公司
CPC分类号： H01J37/32449 , B01D53/323 , B01D53/76 , B01D2257/2064 , H01J37/32339 , H01J37/32357 , H01J37/32458 , H01J37/32651 , H01J37/32669 , H01J37/32844 , H01J37/32935 , H01J2237/3321 , H01J2237/334 , H05H1/46 , H05H2001/4667 , H05H2245/121 , Y02C20/30
摘要： 提供用于减少气体的设备。该设备包含环形等离子体腔室，其具有多个进口和一个出口,和至少一个腔室壁。一个或多个磁芯相对于环形等离子体腔室设置。等离子体腔室限定环形等离子体。第二气体进口设置在环形等离子体腔室上，且设置在第一气体进口和气体出口之间并与该气体出口相距距离d,从而第一气体进口和第二气体进口之间的环形等离子体通道体积基本上由惰性气体填充，该距离d基于所需的要减少的气体的停留时间。
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公开(公告)号：CN104903245B
公开(公告)日：2016-11-30
申请号：CN201380058623.8
申请日：2013-11-04
申请人： MKS仪器股份有限公司
IPC分类号： B01D19/00 , G03F7/42 , H01L21/02 , C02F1/78 , C02F103/34
摘要： 本发明在一个方面提供一种再循环臭氧化液体的系统。该系统包括：接触器，接触器包括至少两个入口和至少两个出口。接触器与第一接触器入口处的第一流体源和第二接触器入口处的第二液体源流体地连通，且第二接触器入口接收气体，该气体清除至少一部分来自第一接触器入口处接收的液体的气体。该清除的气体在第一接触器出口处流出接触器。接触器与第二接触器出口处的第二液体源流体地连通，该接触器排放接触器内至少一部分的液体，排放的液体在第二接触器出口处流出接触器。接触器包括与第一液体源流体地连通的第三入口，该第三入口允许第一液体源释放环境压力下的液体。
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公开(公告)号：CN105978358A
公开(公告)日：2016-09-28
申请号：CN201610320044.1
申请日：2013-03-19
申请人： MKS仪器股份有限公司
CPC分类号： H01J37/248 , C01B13/115 , C01B2201/90 , H02M5/458 , C01B13/11 , H02H9/02
摘要： 高频电功率向臭氧生产单元的供给的改进能够使用文中所述的系统和技术来实现。操作在远大于负载频率的切换频率下的DC到DC转换器的应用支持了用于为此种单元供电的高压AC的生成，同时允许了元件尺寸的减小以及负载调谐电路中质量因子的减小。用于获得一个或多个切换及负载频率的可控功率逆变器可利用反馈技术来控制，以在外部提供的功率及负载条件中的一个或多个发生变化时向臭氧生产单元提供稳定的、高质量功率。浪涌保护电路也可提供以选择性地引入电流限制电阻，直至输入DC总线已被有效初始化，该有效初始化由从DC总线获得的测量值来确定。电流限制电阻可以是正温度系数热敏电阻。
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公开(公告)号：CN102664536B
公开(公告)日：2016-03-02
申请号：CN201210137285.4
申请日：2006-08-14
申请人： MKS仪器股份有限公司
CPC分类号： B01J19/087 , C01B13/115 , H02M5/4585 , H02M7/537 , Y02B70/1441 , Y02B70/145 , Y02P20/121
摘要： 提供用于产生臭氧的一种谐振电源（300）。电源（300）的优点是降低成本和增加臭氧产生器的可靠性。电源（300）从功率源（320）把第一AC电压提供给谐振电路（330），并且谐振电路（330）把第二AC电压提供给臭氧产生单元（110），第二AC电压大于第一AC电压。控制器（340）对适于电路谐振的电源（300）提供控制，该控制对于电路的高Q电路元件值具有较宽的容差。
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公开(公告)号：CN103442779B
公开(公告)日：2016-02-10
申请号：CN201280013230.0
申请日：2012-03-15
申请人： MKS仪器股份有限公司
CPC分类号： B01D19/0005 , B01D19/0031 , B01D19/0036 , B01D19/0063 , B01D19/0068 , C02F1/20 , C02F2103/04 , C02F2209/225 , C02F2209/245 , C02F2209/38 , C02F2209/40
摘要： 一种从液体中选择性地清除溶解的气体的系统，所述系统能够包括具有两个第一接触器入口和两个第一接触器出口的第一接触器。第一接触器能与液体源在第一接触器的第一入口流体连通，并与惰性气体源在第一接触器的第二入口流体连通。第一接触器的第二入口能接受惰性气体，所述惰性气体从液体源中清除第一部分的气体。第一部分的清除的气体能从第一接触器的第一出口排出第一接触器。所述系统也能包括含有两个第二接触器入口和两个第二接触器出口的第二接触器。第二接触器能与第一接触器的第二出口流体连通，并与惰性气体在第二接触器的第二入口源流体连通。第二接触器的第二入口能接受惰性气体，所述惰性气体从液体源中清除第二部分的气体。第二部分的清除的气体能从第二接触器的第一出口排出第二接触器。
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公开(公告)号：CN105036284A
公开(公告)日：2015-11-11
申请号：CN201510299061.7
申请日：2007-10-17
申请人： MKS仪器股份有限公司
IPC分类号： C02F1/68
CPC分类号： C02F1/685 , C02F1/72 , Y10S261/07
摘要： 提供了用于湿法清洁半导体器件的设备、系统和方法。具体说来，提供了可用来输送含所需浓度CO2的去离子水的系统，以及用来产生含所需浓度CO2的去离子水的方法，所述系统和方法可用于湿法清洁半导体器件。
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公开(公告)号：CN102986008B
公开(公告)日：2015-08-12
申请号：CN201180034072.2
申请日：2011-05-26
申请人： MKS仪器股份有限公司
IPC分类号： H01L21/302
CPC分类号： B01F3/04099 , C02F1/685 , C02F1/72 , H01L21/02041
摘要： 提供用于湿法清洁半导体器件的装置、系统和方法。具体地，提供能输送具有期望浓度CO2的去离子水的系统，以及生成用于湿法清洁半导体器件的具有期望浓度CO2的去离子水的方法。
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公开(公告)号：CN104321273A
公开(公告)日：2015-01-28
申请号：CN201380022479.2
申请日：2013-03-19
申请人： MKS仪器股份有限公司
CPC分类号： H01J37/248 , C01B13/115 , C01B2201/90
摘要： 高频电功率向臭氧生产单元的供给的改进能够使用文中所述的系统和技术来实现。操作在远大于负载频率的切换频率下的DC到DC转换器的应用支持了用于为此种单元供电的高压AC的生成，同时允许了元件尺寸的减小以及负载调谐电路中质量因子的减小。用于获得一个或多个切换及负载频率的可控功率逆变器可利用反馈技术来控制，以在外部提供的功率及负载条件中的一个或多个发生变化时向臭氧生产单元提供稳定的、高质量功率。浪涌保护电路也可提供以选择性地引入电流限制电阻，直至输入DC总线已被有效初始化，该有效初始化由从DC总线获得的测量值来确定。电流限制电阻可以是正温度系数热敏电阻。
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公开(公告)号：CN102472774B
公开(公告)日：2014-11-26
申请号：CN201080032648.7
申请日：2010-06-30
申请人： MKS仪器股份有限公司
发明人： W·R·弗莱切
CPC分类号： G01R19/0061 , G01R15/09 , G01R15/165 , G01R19/0023 , H03F3/45475 , H03F2200/261 , H03F2203/45138 , H03F2203/45518 , H03F2203/45522 , H03F2203/45528 , H03F2203/45534 , H03F2203/45536
摘要： 用于测量电流的方法以及装置包括如果第一电压在预定电平以下，则感测放大器的输出处的第一电压、以及基于第一电压和第一电阻元件的电阻计算电流，该第一电阻元件电耦合在放大器的反相输入和放大器的输出之间。该方法还包括如果从放大器输出的电压在预定电平以上，则感测缓冲器的输出处的第二电压、以及基于第一和第二电压以及第一电阻元件和第二电阻元件的电阻计算电流，该第二电阻元件电耦合在放大器的反相输入和缓冲器的输入之间，并且还通过至少一个二极管电耦合到放大器的输出。
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公开(公告)号：CN101288219B
公开(公告)日：2013-04-03
申请号：CN200680034651.6
申请日：2006-08-14
申请人： MKS仪器股份有限公司
CPC分类号： B01J19/087 , C01B13/115 , H02M5/4585 , H02M7/537 , Y02B70/1441 , Y02B70/145 , Y02P20/121
摘要： 提供用于产生臭氧的一种谐振电源(300)。电源(300)的优点是降低成本和增加臭氧产生器的可靠性。电源(300)从功率源(320)把第一AC电压提供给谐振电路(330)，并且谐振电路(330)把第二AC电压提供给臭氧产生单元(110)，第二AC电压大于第一AC电压。控制器(340)对适于电路谐振的电源(300)提供控制，该控制对于电路的高Q电路元件值具有较宽的容差。
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