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公开(公告)号：CN102664536B
公开(公告)日：2016-03-02
申请号：CN201210137285.4
申请日：2006-08-14
Applicant: MKS仪器股份有限公司
CPC classification number: B01J19/087 , C01B13/115 , H02M5/4585 , H02M7/537 , Y02B70/1441 , Y02B70/145 , Y02P20/121
Abstract: 提供用于产生臭氧的一种谐振电源（300）。电源（300）的优点是降低成本和增加臭氧产生器的可靠性。电源（300）从功率源（320）把第一AC电压提供给谐振电路（330），并且谐振电路（330）把第二AC电压提供给臭氧产生单元（110），第二AC电压大于第一AC电压。控制器（340）对适于电路谐振的电源（300）提供控制，该控制对于电路的高Q电路元件值具有较宽的容差。
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公开(公告)号：CN101288219B
公开(公告)日：2013-04-03
申请号：CN200680034651.6
申请日：2006-08-14
Applicant: MKS仪器股份有限公司
CPC classification number: B01J19/087 , C01B13/115 , H02M5/4585 , H02M7/537 , Y02B70/1441 , Y02B70/145 , Y02P20/121
Abstract: 提供用于产生臭氧的一种谐振电源(300)。电源(300)的优点是降低成本和增加臭氧产生器的可靠性。电源(300)从功率源(320)把第一AC电压提供给谐振电路(330)，并且谐振电路(330)把第二AC电压提供给臭氧产生单元(110)，第二AC电压大于第一AC电压。控制器(340)对适于电路谐振的电源(300)提供控制，该控制对于电路的高Q电路元件值具有较宽的容差。
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公开(公告)号：CN102664536A
公开(公告)日：2012-09-12
申请号：CN201210137285.4
申请日：2006-08-14
Applicant: MKS仪器股份有限公司
CPC classification number: B01J19/087 , C01B13/115 , H02M5/4585 , H02M7/537 , Y02B70/1441 , Y02B70/145 , Y02P20/121
Abstract: 提供用于产生臭氧的一种谐振电源（300）。电源（300）的优点是降低成本和增加臭氧产生器的可靠性。电源（300）从功率源（320）把第一AC电压提供给谐振电路（330），并且谐振电路（330）把第二AC电压提供给臭氧产生单元（110），第二AC电压大于第一AC电压。控制器（340）对适于电路谐振的电源（300）提供控制，该控制对于电路的高Q电路元件值具有较宽的容差。
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公开(公告)号：CN101288219A
公开(公告)日：2008-10-15
申请号：CN200680034651.6
申请日：2006-08-14
Applicant: MKS仪器股份有限公司
CPC classification number: B01J19/087 , C01B13/115 , H02M5/4585 , H02M7/537 , Y02B70/1441 , Y02B70/145 , Y02P20/121
Abstract: 提供用于产生臭氧的一种谐振电源(300)。电源(300)的优点是降低成本和增加臭氧产生器的可靠性。电源(300)从功率源(320)把第一AC电压提供给谐振电路(330)，并且谐振电路(330)把第二AC电压提供给臭氧产生单元(110)，第二AC电压大于第一AC电压。控制器(340)对适于电路谐振的电源(300)提供控制，该控制对于电路的高Q电路元件值具有较宽的容差。
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