发明授权
- 专利标题： 环形等离子体减少设备和方法
-
申请号： CN201480027798.7申请日： 2014-03-14
-
公开(公告)号： CN105209156B公开(公告)日： 2017-05-10
- 发明人: 陈星 , I·泊齐多夫 , 田丰 , K·特兰 , D·兰姆 , K·W·文策尔
- 申请人： MKS仪器股份有限公司
- 申请人地址： 美国马萨诸塞州
- 专利权人： MKS仪器股份有限公司
- 当前专利权人： MKS仪器股份有限公司
- 当前专利权人地址： 美国马萨诸塞州
- 代理机构： 上海专利商标事务所有限公司
- 代理商 陈哲锋; 郭辉
- 优先权： 61/783,360 20130314 US
- 国际申请： PCT/US2014/028194 2014.03.14
- 国际公布： WO2014/152908 EN 2014.09.25
- 进入国家日期： 2015-11-13
- 主分类号： B01D53/32
- IPC分类号： B01D53/32 ; B01J12/00 ; H01J37/32
摘要：
提供用于减少气体的设备。该设备包含环形等离子体腔室，其具有多个进口和一个出口,和至少一个腔室壁。一个或多个磁芯相对于环形等离子体腔室设置。等离子体腔室限定环形等离子体。第二气体进口设置在环形等离子体腔室上，且设置在第一气体进口和气体出口之间并与该气体出口相距距离d,从而第一气体进口和第二气体进口之间的环形等离子体通道体积基本上由惰性气体填充，该距离d基于所需的要减少的气体的停留时间。
公开/授权文献
- CN105209156A 环形等离子体减少设备和方法 公开/授权日：2015-12-30
IPC分类:
