试纸搬运装置
    83.
    发明授权

    公开(公告)号:CN103163309B

    公开(公告)日:2015-12-23

    申请号:CN201210545060.2

    申请日:2012-12-14

    Inventor: 太田进一

    Abstract: 提供一种能够消除位置偏移并能够顺畅地搬运试纸的试纸搬运装置。试纸搬运装置具备:搬运单元(1),其具有对带状的试纸(8)进行保持的试纸保持构件(10)及驱动部(20),并沿着x方向搬运试纸(8);及试纸限定机构,其位于搬运单元(1)的周围,并限定试纸(8)的方向性,其中,试纸保持构件(10)具有:与试纸(8)的下表面相接并对试纸(8)进行保持的下表面保持部(11);在试纸(8)的x方向上游侧对试纸(8)进行保持的上游保持部(12);及在试纸(8)的x方向下游侧对试纸(8)进行保持的下游保持部(13)。

    测量抽样方法
    86.
    发明公开

    公开(公告)号:CN104952753A

    公开(公告)日:2015-09-30

    申请号:CN201410196529.5

    申请日:2014-05-09

    Applicant: 郑芳田

    Abstract: 本发明提出一种测量抽样方法,其是运用可检测出在生产过程中制程机台的各种状态改变(如执行机台保养、更换机台零组件、调整机台参数等)或机台信息异常(如制程资料品质不良、机台参数值漂移、测量资料品质不良等)的各式指标值,来建构出一智能取样决策(Intelligent Sampling Decision;ISD)机制,以在确保虚拟测量的精度下,降低工件测量抽测率。该多个指标值包括:信心指标(Reliance Index;RI)值、整体相似度指标(Global Similarity Index;GSI)值、制程资料品质指标(DQIX)值和测量资料品质指标(DQIy)值。

    数据处理装置以及使用该数据处理装置的自动分析装置

    公开(公告)号:CN104508490A

    公开(公告)日:2015-04-08

    申请号:CN201380040431.4

    申请日:2013-07-03

    Abstract: 本发明的数据处理装置具备:使作为对多个测定项目的测定精度分别产生影响而预先决定的因素与各测定项目对应地存储的因素存储部(12b);基于存储于近似式存储部(12a)的近似式和近似式的参数来判定有无测定项目的测定值的异常的异常判定部(103a);以及按照预先设定的顺序来参照异常判定部(103a)的判定结果、并在对于相同的测定项目而多次连续地判定为测定值异常的情况下将与该测定项目对应地存储于因素存储部(12b)的因素判定为异常因素的因素判定部(103b),基于因素判定部(103b)的判定结果来向操作人员报知异常因素。由此,通过检测测定结果的异常并且特定原因因素,能够抑制测定精度的降低。

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