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公开(公告)号：CN106643470B
公开(公告)日：2019-04-23
申请号：CN201611215267.8
申请日：2016-12-26
Applicant: 清华大学
Abstract: 本发明涉及一种绝对式电容角位移测量传感器，其特征在于包括敏感结构、信号调制解调电路和误差补偿及融合模块；敏感结构包括纵向平行设置的第一定子、转子和第二定子；第一定子顶部外侧设置精测采集电极，第一定子顶部内侧设置精测激励电极；转子底部外侧设置精测敏感电极，转子底部内侧设置精测耦合电极，转子顶部外侧设置粗测敏感电极，转子顶部内侧设置粗测耦合电极，精测/和粗测敏感电极及精测/和粗测耦合电极为等势体；第二定子底部外侧设置粗测采集电极，第二定子底部内侧设置粗测激励电极；信号调制解调电路用于测量精测角位移和粗测角位移；误差补偿及融合模块用于进行误差补偿后计算绝对角位移，本发明可广泛用于角位移测量传感器中。
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公开(公告)号：CN109596099A
公开(公告)日：2019-04-09
申请号：CN201910025797.3
申请日：2019-01-11
Applicant: 清华大学
Abstract: 本发明涉及一种类旋转变压器的倾角传感器，包括敏感结构和壳体；所述敏感结构包括第一接受极板、发射极板和第二接受极板，所述第一接受极板、发射极板和第二接受极板顺序依次间隔堆叠形成类似三明治结构并放置于所述壳体内，所述第一接受极板、发射极板和第二接受极板大小相同且相邻两所述极板之间间距相同，所述第一接受极板、第二接受极板和壳体构成封闭圆柱空间；所述封闭圆柱空间内密封设置有电介质液体，在任意角度下，所述电介质液体液面与三块所述极板的中心重合。本发明提出变电极面积差动电容式倾角敏感器件结构，灵敏度高，动态范围宽，频率响应特性好，成本低廉，可以在测试领域中的倾角传感和测试仪器测量中广泛应用。
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公开(公告)号：CN108544739A
公开(公告)日：2018-09-18
申请号：CN201810319845.5
申请日：2018-04-11
Applicant: 清华大学
Abstract: 本发明涉及一种半球谐振器的热成型装置及半模压热成型加工方法，其中的热成型装置，包括：用于承载成型材料片的承载台，与所述承载台密封连接的凹模，以及与所述承载台密封连接且支撑在所述凹模下方的密封头；其中，在所述凹模的型腔的底部中心设置有用于固定成型材料柱的插槽，在所述凹模的型腔的底部还设置多个抽气孔；在所述密封头的下端密封连接抽气管，在所述抽气管中布置可升降的顶杆，所述顶杆的上端与顶针固定连接，所述顶针的上端布置于开设在所述凹模底部的顶针孔中，所述顶针孔与插槽相通。
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公开(公告)号：CN108276019A
公开(公告)日：2018-07-13
申请号：CN201810172660.6
申请日：2018-03-01
Applicant: 清华大学 , 北京巨瓷科技有限公司
Abstract: 本发明提供了精密真空转子球腔装置及其陶瓷电极引针的金属化封接方法。该封接方法包括：S100：在所述精密真空转子球腔装置的陶瓷碗引针孔内填充金属化膏剂；S200：使陶瓷电极引针穿过所述金属化膏剂并伸入所述陶瓷碗内部；S300：将步骤S200中得到的产品进行第一烧结。由此，不仅可以实现陶瓷电极引针与陶瓷碗的良好匹配性，而且封接效果好；金属化膏剂与陶瓷碗的匹配较好，可进一步提高封接效果；该方法不需要焊料进行钎焊，而是直接使用金属化膏剂与陶瓷碗和陶瓷电极引针利用烧结的方法进行焊接，避免了焊料的磁性对精密真空转子球腔装置的性能产生负面影响；陶瓷电极引针不易断裂，可靠性高；该封接方法工艺简单，成本低，且氦漏率不大于1.0×10-11Pa/m3·s和1.0×10-12Pa/m3·s的成品率分别为100％和80％。
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公开(公告)号：CN105953721B
公开(公告)日：2018-06-22
申请号：CN201610339806.2
申请日：2016-05-20
Applicant: 清华大学
IPC: G01B7/30
Abstract: 本发明涉及一种偏心电容式角位移传感器结构及其使用方法，它包括解调电路和敏感结构，解调电路产生正弦激励信号作用于敏感结构，由敏感结构将电容变化信息返回至解调电路进而获得转角信息。敏感结构包括定子和转子，在定子表面设置有保护电极、激励电极和采集电极；在定子表面最内侧和最外侧均设置有保护电极，紧邻内环保护电极的外侧设置有激励电极，激励电极的外侧设置有采集电极。转子包括保护电极、耦合电极和偏心敏感电极，在转子表面最内侧和最外侧也均设置有保护电极，紧邻内环保护电极外侧设置有耦合电极，耦合电极外侧设置有偏心敏感电极。采集电极和偏心敏感电极呈正对设置，组成测量电容。本发明可减小因径向跳动而导致的测量误差。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN107255483A
公开(公告)日：2017-10-17
申请号：CN201710388759.5
申请日：2017-05-27
Applicant: 清华大学
IPC: G01C25/00
CPC classification number: G01C25/005
Abstract: 本发明涉及一种角锥体惯性测量单元及三轴陀螺刻度因子自标定方法，所述角锥体惯性测量单元设置在转台上，所述角锥体惯性测量单元包括角锥体安装工装、单轴陀螺仪和单轴加速度计；所述角锥体为四面体结构；所述转台底部与现有电机转子固定连接，由电机带动所述转台转动；所述角锥体安装工装底面固定设置在所述转台顶部，所述角锥体安装工装的每个侧面上均设置有所述单轴陀螺仪和单轴加速度计，且所述单轴陀螺仪和单轴加速度计呈交错设置。本发明能实现现场标校刻度因子，从而提高导航精度。
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公开(公告)号：CN106767747A
公开(公告)日：2017-05-31
申请号：CN201611232804.X
申请日：2016-12-28
Applicant: 清华大学
IPC: G01C19/5776
Abstract: 本发明涉及一种基于参量激励的数字式速率积分陀螺控制方法和平台，其中，方法包括步骤：1)设置速率积分陀螺同向参考量和正交参考量的初始值，以及速率积分陀螺振动能量的预设值；2)采集速率积分陀螺X、Y轴运动输出电压数字量并进行检测部件误差校正；3)将校正后的X、Y轴运动输出电压数字量进行0°和90°相敏解调；4)计算各中间变量；5)计算相敏解调参考信号、参量激励驱动电压相位参考信号和驱动电压相位参考信号；6)计算X、Y轴参量激励驱动电压数字量；7)计算陀螺振动角度的正弦值和余弦值；8)计算X、Y轴驱动电压数字量；9)将相敏解调参考信号进行0°和90°相位变换后作为下一采样时刻的同向参考量和正交参考量，返回步骤2)。
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公开(公告)号：CN106587585A
公开(公告)日：2017-04-26
申请号：CN201611183128.1
申请日：2016-12-20
Applicant: 沈阳市超高真空应用技术研究所 , 清华大学
IPC: C03B29/06 , C03B27/012 , C03B27/00 , C03B35/00
CPC classification number: C03B29/06 , C03B27/00 , C03B27/012 , C03B35/00
Abstract: 本发明涉及一种双腔室可控压力高温急冷热成形系统及工艺，其中，热成形系统包括：高温腔室，与高温腔室相连通的低温腔室和横向设置在低温腔室内且远离高温腔室一侧的送料杆；高温腔室包括密闭金属外壳、设置在密闭金属外壳内部的保温层、设置在密闭金属外壳上的加热电极以及载物托盘放置装置；密闭金属外壳上还设置有高温放气阀门和高温抽气阀门；高温腔室内靠近低温腔室的部分设置有隔温挡板；低温腔室由低温密闭金属外壳围成，内部包括冷却腔室、换料腔室和换料窗口；低温密闭金属外壳上还设置有低温充气阀门和低温抽气阀门；送料杆的行程能穿过低温腔室直达高温腔室的内部；高温抽气阀门与低温抽气阀门相连通。
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公开(公告)号：CN106052546A
公开(公告)日：2016-10-26
申请号：CN201610341028.0
申请日：2016-05-20
Applicant: 清华大学
IPC: G01B7/30
CPC classification number: G01B7/30
Abstract: 本发明涉及一种分瓣电容式角位移传感器，它包括解调电路和敏感结构，解调电路产生正弦激励信号作用于敏感结构，由敏感结构将电容变化信息返回至解调电路进而获得转角信息。敏感结构包括定子和转子，在定子表面设置有保护电极、激励电极和采集电极；在定子表面最内侧和最外侧均设置有保护电极，紧邻内环保护电极的外侧设置有激励电极，激励电极的外侧设置有采集电极。转子包括保护电极、耦合电极和敏感电极，在转子表面最内侧和最外侧也均设置有保护电极，紧邻内环保护电极外侧设置有耦合电极，耦合电极外侧设置有敏感电极。采集电极和敏感电极呈正对设置，组成测量电容。本发明可减小因径向跳动而导致的测量误差。
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公开(公告)号：CN103235329B
公开(公告)日：2016-02-24
申请号：CN201310142183.6
申请日：2013-04-22
Applicant: 清华大学
IPC: G01S19/49
Abstract: 本发明提出一种组合导航装置，其中，组合导航装置设置在载体上，其特征在于，包括：导航模块，用于获得GPS观测信息，导航模块包括GPS芯片；测量模块，用于测量载体的惯性导航信息；计算模块，用于将GPS观测信息和惯性导航信息进行处理得到载体的状态信息；以及电源模块，用于为导航模块、测量模块和计算模块供电，其中，计算模块设置在测量模块上方，导航模块设置在测量模块上方，电源模块设置在导航模块的上方。根据本发明实施例的装置，通过GPS观测信息和惯性导航信息进行融合、计算已获得载体的状态信息，同时还减小了体积、重量和功耗，降低了成本。
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