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公开(公告)号：CN102785167A
公开(公告)日：2012-11-21
申请号：CN201210294959.1
申请日：2012-08-17
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: B24B53/06
Abstract: 大磨粒金刚石砂轮修整装置及方法，它涉及一种砂轮修整装置及方法，以解决由于大磨粒金刚石砂轮径向回转误差较大而不能直接用于精密磨削，必须更换细磨粒砂轮来实现后续精密磨削的问题，它包括两个圆盘、两套夹具、两个联轴器、两套减速器和两台电机，位于砂轮的轴线的两侧分别设置有一个圆盘，圆盘的轴线与砂轮的轴线相垂直，且圆盘的端面与砂轮的磨削面接触，每个圆盘安装在一个夹具上，每个夹具与一个联轴器连接，每个联轴器与一个减速器的输出端连接，每个减速器的输入端与一个电机的输出端连接。方法步骤为：一、安装；二、检测大磨粒金刚石砂轮的径向回转误差，达到要求后修整完成。本发明用于大磨粒金刚石砂轮的精密修整。
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公开(公告)号：CN102152175B
公开(公告)日：2012-08-08
申请号：CN201110020419.X
申请日：2011-01-18
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: B24B1/04
Abstract: 用于微结构表面精密加工的超声振动辅助磨削装置，它涉及一种超声振动辅助磨削装置。本发明为解决现有的超声振动辅助磨削装置不能调整振动方向，导致加工超硬材料微结构表面时振动轨迹会与表面结构发生干涉，从而破坏了微结构表面的面型精度的问题。旋转台的下端面固装在倾斜台的上端面上，支撑底板固装在旋转台的上端面上，振动工作台通过四个支撑件固装在支撑底板的上方，变幅杆的一端面积小，另一端面积大，变幅杆的小面积端与振动工作台的侧壁固接，变幅杆的大面积端与换能器固接，换能器通过导线与超声发生器连接。本发明通过调整旋转台和倾斜台使得超声振动的方向可随意调节，提高了法向磨削刚度；本发明用于陶瓷类超硬微结构表面精密加工。
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公开(公告)号：CN102513899A
公开(公告)日：2012-06-27
申请号：CN201110459923.X
申请日：2011-12-31
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: B24B13/01
Abstract: 微圆弧槽阵列光学元件的单方向斜轴仿形精密磨削方法，它涉及一种微圆弧槽阵列光学元件的精密磨削方法。本发明为解决现有的微圆弧槽阵列光学元件磨削方法不同进给方向磨削的微圆弧槽表面粗糙度相差较大以及加工中砂轮易磨损、磨削加工效率低的问题。步骤一、使仿形砂轮旋转轴线与待磨削工件上表面成45度夹角，使仿形砂轮的第一最低点成为磨削中心点；步骤二、使待磨削工件随精密磨床工作台沿X轴反方向进给单方向加工所有阵列的微圆弧槽；步骤三、使砂轮旋转轴线与工件表面所在平面成135度夹角，使砂轮的第二最低点成为磨削中心点，然后按照步骤二所述加工圆弧槽。本发明的精密磨削方法用于加工微圆弧槽阵列光学元件。
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公开(公告)号：CN1915597B
公开(公告)日：2010-05-12
申请号：CN200610010488.1
申请日：2006-09-04
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: B24D18/00 , B24B53/053 , B24B53/047
Abstract: 金刚石微刀具阵列的制造方法，属于金刚石刀具制造技术领域。为解决砂轮磨具在工作时产生严重的动力学及运动学问题，以及在加工脆性材料时有些磨粒会超过脆塑转变极限值，因此会导致被加工表面的脆性破坏的问题，本发明结合砂轮在线电解修锐技术进行修整，修整轮和被修整轮以逆时针方向旋转，修整轮回转速度为300～500r·min-1，被修整轮回转速度为3000～5000r·min-1；沿z方向的切深在1～3μm范围内；沿x方向的进给速度在4～10mm/min的范围；当被修整轮的回转误差被减小至1～2μm范围。本方法可以减小表面的粗糙度和有效地抑制波纹度问题的产生，并简化了工艺过程。
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公开(公告)号：CN1564094A
公开(公告)日：2005-01-12
申请号：CN200410013615.4
申请日：2004-03-15
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G05B19/18 , G05B19/408 , G05B15/02
Abstract: 微机械零件三维加工方法，它属于一种超精密加工方法。现有诸多微机械零件的加工方法存在只能加工准三维结构等弊端。本发明两种方法都需结合现有的微机械零件三维加工装置来实现：依次设置扫描探针显微镜等的工作参数，将样品放在三维工作台上，通过控制工作台X、Y向运动开始加工第一个图形；当加工完第一个图形后抬起探针，工作台作二维移动后开始加工下一个图形，直到加工完所有的图形。另一种方法是，三维工作台按预先设置的值在X、Y、Z向移动，一次加工完全部图形后，通过扫描陶管作收缩运动抬起探针，结束加工。本发明方法可以进行真正的三维加工，去除量在纳米量级，对表面的破坏极小，它可以应用于MEMS器件、掩膜和微小模具的制造。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN1554578A
公开(公告)日：2004-12-15
申请号：CN200310107767.6
申请日：2003-12-19
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 纳米碳管针尖的制备方法，它属于纳米器件制造的技术领域，具体涉及的是一种制备纳米碳管探针针尖的方法。它的步骤是：一、在双面导电胶带(5)上粘上经CVD法制备的多壁纳米碳管团(3)，在双面导电胶带(6)上粘上普通硅针尖(4)；二、使(4)的首端(4－1)与(3)中突出在最前面的一根纳米碳管(3－2)的尖端(3－1)之间的距离设在≤2微米；三、在(5)、(6)之间施加30～60交直流电压(V2)，首端(4－1)与尖端(3－1)之间放电产生电弧，在纳米碳管(3－2)壁上有缺陷的位置由于电弧作用被氧化而截断，其尖端(3－1)粘到普通硅针尖(4)的首端(4－1)上；四、撤除电压(V2)，即制成纳米碳管针尖。本发明能明显减少制备纳米碳管针尖的难度和成本，而且容易控制。
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公开(公告)号：CN115586262B
公开(公告)日：2024-11-29
申请号：CN202211354219.2
申请日：2022-11-01
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明涉及精密微细磨削在线无损监测领域，特指一种基于声发射技术的微细磨削在线无损监测方法。解决现有的精密微细磨削加工中微细磨削工具磨损程度及加工零件表面粗糙度无法有效实现在线无损监测的技术问题，本发明采用峰度和偏度作为技术指标，与其他时域特征值进行对比，具有更高的敏感性；与现有技术相比较的优势在于对于加工精度和工具尺寸比传统磨削要求更高的精密微细磨削更具研究价值。与现有技术相比，既可以保证足够的监测精度和准确度，也可以大大提高运算效率，避免资源浪费。
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公开(公告)号：CN118456269A
公开(公告)日：2024-08-09
申请号：CN202410768688.1
申请日：2024-06-14
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种基于激光与超精密磨削的CVD金刚石加工方法，属于CVD金刚石机械加工技术领域。本发明针对现有CVD金刚石加工效率低并且加工质量差的问题。包括：获取CVD金刚石晶片初始形貌；对CVD金刚石晶片初始形貌基于激光点烧蚀实验和沟槽烧蚀实验，确定激光烧蚀平面参数；按照激光烧蚀平面参数采用亚纳秒激光器对CVD金刚石晶片表面进行高峰点的去除，获得具有黏附石墨层表面的初级加工CVD金刚石晶片；再采用金刚石砂轮对初级加工CVD金刚石晶片表面的微小起伏进行超精密磨削，获得磨削加工后CVD金刚石晶片。本发明用于CVD金刚石加工。
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公开(公告)号：CN115586262A
公开(公告)日：2023-01-10
申请号：CN202211354219.2
申请日：2022-11-01
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明涉及精密微细磨削在线无损监测领域，特指一种基于声发射技术的微细磨削在线无损监测方法。解决现有的精密微细磨削加工中微细磨削工具磨损程度及加工零件表面粗糙度无法有效实现在线无损监测的技术问题，本发明采用峰度和偏度作为技术指标，与其他时域特征值进行对比，具有更高的敏感性；与现有技术相比较的优势在于对于加工精度和工具尺寸比传统磨削要求更高的精密微细磨削更具研究价值。与现有技术相比，既可以保证足够的监测精度和准确度，也可以大大提高运算效率，避免资源浪费。
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公开(公告)号：CN115178803A
公开(公告)日：2022-10-14
申请号：CN202210836530.4
申请日：2022-07-15
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: B23D79/00
Abstract: 一种用于金刚石刀具飞切加工微结构元件的飞刀盘，它涉及微结构元件超精密加工领域。本发明解决了现有的飞刀盘存在不能实现金刚石刀具角度两个方向的调整，导致微结构精度低，从而降低了减阻效率的问题。本发明的两个圆柱形刀具角度调整块分别同轴插设在飞刀盘本体的两个圆柱槽内，楔形刀托一端可拆卸地安装有金刚石刀具，楔形刀托另一端通过刀托调整块紧固件与圆柱形刀具角度调整块可转动连接，通过调节楔形刀托沿轴向方向的转动角度来实现金刚石刀具与工件之间的角度调节，通过调节圆柱形刀具角度调整块沿周向方向的旋转角度来实现金刚石刀具的前角控制。本发明用于双向调整金刚石刀具刃口与工件之间的角度，提高切削效果。
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