公开(公告)号：CN1564094A

公开(公告)日：2005-01-12

申请号：CN200410013615.4

申请日：2004-03-15

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 阎永达 ,  孙涛 ,  赵清亮 ,  董申 ,  梁迎春 ,  胡振江

IPC: G05B19/18 ,  G05B19/408 ,  G05B15/02

Abstract: 微机械零件三维加工方法，它属于一种超精密加工方法。现有诸多微机械零件的加工方法存在只能加工准三维结构等弊端。本发明两种方法都需结合现有的微机械零件三维加工装置来实现：依次设置扫描探针显微镜等的工作参数，将样品放在三维工作台上，通过控制工作台X、Y向运动开始加工第一个图形；当加工完第一个图形后抬起探针，工作台作二维移动后开始加工下一个图形，直到加工完所有的图形。另一种方法是，三维工作台按预先设置的值在X、Y、Z向移动，一次加工完全部图形后，通过扫描陶管作收缩运动抬起探针，结束加工。本发明方法可以进行真正的三维加工，去除量在纳米量级，对表面的破坏极小，它可以应用于MEMS器件、掩膜和微小模具的制造。

公开(公告)号：CN1559752A

公开(公告)日：2005-01-05

申请号：CN200410013586.1

申请日：2004-02-27

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 孙涛 ,  阎永达 ,  胡振江 ,  梁迎春 ,  张龙江 ,  董申

IPC: B23Q1/25 ,  B23Q5/00

Abstract: 微机械零件三维加工装置，它属于纳米加工装置。现有的基于扫描探针显微镜的加工还只局限于平面二维微图形，没有形成一整套类似于超精密金刚石车削加工的加工机理与相关技术。本发明包括机械台体(1)、设置在机械台体(1)上的三维粗动工作台(2)，在机械台体(1)上设有加工头部件(3)和光学系统(4)，在三维粗动工作台(2)上设有主轴系统(5)，所述三维粗动工作台(2)、加工头部件(3)、光学系统(4)、主轴系统(5)都与控制系统(6)相连。本发明产品具有精度高、效果好的优点。

公开(公告)号：CN2616899Y

公开(公告)日：2004-05-19

申请号：CN03260010.0

申请日：2003-05-28

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 孙涛 ,  阎永达 ,  董申 ,  王洪祥

IPC: G01N13/16 ,  G12B21/08

Abstract: 一种微尺寸探针测头，包括微探针、电容测微仪，其特征在于碟形测头支架中心孔内安装有微探针殷钢支架，带有微探针的微悬臂固定在微探针殷钢支架上，双向调整支架装配在碟形测头支架的两端，双向调整支架分别装有激光器和位置检测器，碟形测头支架的上端安装有精密电极平板和压电陶瓷管，其内部有与精密电极平板有测量间隙的电容测微测量电极。激光器的下部设有准直透镜。本实用新型设计合理，垂直方向位置灵敏度小于±2nm，测量精度高，能够完成微纳米特征的位置与尺寸高精度测量；微探针半径非常尖锐，可达20～30nm，特别适用于微结构尺寸(如微沟槽、微台阶结构等)的测量；最大可以测量的倾斜角度为±30°，可以实现三维测量。