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公开(公告)号：CN109470143A
公开(公告)日：2019-03-15
申请号：CN201811496655.7
申请日：2018-12-07
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01B11/00
Abstract: 外部光源高分辨力立体视觉测量系统与方法光学非接触三维测量领域，具体涉及一种利用立体视觉与扫描放大测量系统联用测量大尺度三维物体形貌、形变、位移等的装置和方法；该装置由两个外部光源高分辨力立体视觉单目测量装置及外部光源组成，每一个外部光源高分辨力立体视觉单目测量装置由扫描视觉模块组成；该方法首先将待测物体放置在本装置视场范围及清晰成像范围内；其次，利用扫描视觉模块逐点扫描整个物体；利用视觉三维成像原理对采集到的图片进行处理得到高分辨力的物体三维形貌；本发明可以显著提高大尺度视觉系统的测量分辨力。
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公开(公告)号：CN103105142B
公开(公告)日：2015-09-02
申请号：CN201310033367.9
申请日：2013-01-29
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01B11/24
Abstract: 基于被测表面荧光激发的长工作距轮廓测量装置属于表面形貌测量技术领域；该测量装置包括激光器、沿光线传播方向配置在激光器直射光路上的准直扩束器和偏振分光镜；配置在偏振分光镜反射光路上的四分之一波片、反射式物镜和被测件；配置在偏振分光镜透射光路上的收集物镜、针孔和探测器；所述的探测器中含有窄带滤光片；所述的被测件表面采用真空蒸发镀膜法进行有机镀膜；这种通过镀膜改变被测面的表面特性的设计，保证测量光经被测面反射后能够返回探测系统，解决了高NA和高斜率表面检测的难题，适用于高NA和高斜率球面、非球面和自由曲面三维形貌的超精密测量。
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公开(公告)号：CN103115582B
公开(公告)日：2015-07-29
申请号：CN201310033080.6
申请日：2013-01-29
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01B11/24
Abstract: 基于受激辐射的迈克尔逊荧光干涉显微测量装置属于表面形貌测量技术领域；该测量装置包括激光器、沿光线传播方向配置在激光器直射光路上的会聚物镜、第一针孔、准直扩束物镜和分光棱镜；配置在分光棱镜反射光路上的聚焦物镜、位移驱动器、参考镜、分光棱镜和被测件；配置在分光棱镜透射光路上的成像会聚物镜、窄带滤光片、第二针孔、探测器；所述的被测件和参考镜表面采用真空蒸发镀膜法进行镀膜；这种通过镀膜改变被测面的表面特性的设计，保证测量光经被测面反射后能够返回探测系统，解决了高NA和高斜率表面检测的难题，适用于高NA和高斜率球面、非球面和自由曲面三维形貌的超精密测量。
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公开(公告)号：CN103115582A
公开(公告)日：2013-05-22
申请号：CN201310033080.6
申请日：2013-01-29
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01B11/24
Abstract: 基于受激辐射的迈克尔逊荧光干涉显微测量装置属于表面形貌测量技术领域；该测量装置包括激光器、沿光线传播方向配置在激光器直射光路上的会聚物镜、第一针孔、准直扩束物镜和分光棱镜；配置在分光棱镜反射光路上的聚焦物镜、位移驱动器、参考镜、分光棱镜和被测件；配置在分光棱镜透射光路上的成像会聚物镜、窄带滤光片、第二针孔、探测器；所述的被测件和参考镜表面采用真空蒸发镀膜法进行镀膜；这种通过镀膜改变被测面的表面特性的设计，保证测量光经被测面反射后能够返回探测系统，解决了高NA和高斜率表面检测的难题，适用于高NA和高斜率球面、非球面和自由曲面三维形貌的超精密测量。
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公开(公告)号：CN101520306B
公开(公告)日：2011-01-26
申请号：CN200910071664.6
申请日：2009-03-30
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 基于空间载波的干涉共焦测量装置与方法属于表面形貌测量技术领域；该装置包括：激光器、准直聚焦物镜、针孔、准直扩束物镜、偏振分光镜、四分之一波片、分光镜、探测聚焦物镜、第二微驱动器、收集物镜；沿激光器主光轴方向的分光镜后面依次配置辅助参考镜和第一微驱动器，主参考镜配置在分光镜与探测聚焦物镜之间，在收集物镜的焦点处，放置CCD相机，主控计算机与CCD相机、第一微驱动器连接；采用二次共焦方法，建立位移相位关系，通过倾斜辅助参考镜，引入载波信号，获得载波干涉图，利用空间载波移相算法求解被测表面相位信息，最后拟合出表面形貌和三维轮廓，适用于微结构三维形貌的动态、快速、高精度测量。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101520305A
公开(公告)日：2009-09-02
申请号：CN200910071663.1
申请日：2009-03-30
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 瞬间移相干涉二次共焦测量装置与方法属于超精密三维微细结构表面形貌测量领域；其装置包括同步移相模块，在该模块三侧分别配置完全相同的由收集物镜、探测针孔和光电探测器组成的干涉信号接收装置；在第一和第二两种共焦测量状态下，控制三路干涉信号接收装置同步采集输出信号，利用三步移相算法完成共焦微位移解算；本发明融合移相二次共焦与同步移相技术各自特点，实现超精密高速动态测量，具有强抗振动能力和低移相误差的优点。
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公开(公告)号：CN101413784A
公开(公告)日：2009-04-22
申请号：CN200810209586.7
申请日：2008-12-02
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 复色超分辨差动共焦测量大线性量程数据融合方法属于超精密三维微结构表面测量领域；该方法首先利用式1和式2分别计算得到第一和第二超分辨差动共焦测量支路的输出信息，其中式3分别是采用复色超分辨差动共焦测量装置获取的第一和第二测量支路的实际输出光强信息，(式1、2、3见右上)然后截取Γ1和Γ2得到有效输出和，最后构造系统线性输出融合函数：见式4作为系统最终位移响应输出，其中ΓB′为平移因子，λ1和λ2是第一和第二测量支路波长；该方法保留了复色超分辨差动共焦测量高空间分辨力、抑制共模加性噪声和线性量程扩展的优点，同时可以抑制乘性噪声干扰，获得线性程度更好、线性测量范围更大的输出特性曲线。
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公开(公告)号：CN119984045A
公开(公告)日：2025-05-13
申请号：CN202510098293.X
申请日：2025-01-22
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种偏振调控高精度光谱共焦测量装置，它涉及一种线光谱共焦测量装置。本发明为了解决现有技术无法有效抑制离焦光及串扰光，且测量能力较差的问题。本发明包括线形光、两个偏振阵列、分光棱镜、色散物镜和第一光谱解调模块；线形光、分光棱镜、色散物镜和第一光谱解调模块由上至下依次设置，物体表面设置在分光棱镜的一侧，一个偏振阵列设置在线形光与分光棱镜之间，另一个偏振阵列设置在分光棱镜与物体表面之间。本发明属于超精密测量技术领域。
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公开(公告)号：CN118334315A
公开(公告)日：2024-07-12
申请号：CN202410505025.0
申请日：2024-04-25
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G06V10/25 , G06V10/40 , G06V10/766 , G06V10/80 , G06V10/764
Abstract: 本发明公开了一种基于沿尺度方向进行样本选择与加权的单阶段目标检测方法。由于单阶段检测方法的样本定义过程简单，且没有感兴趣区域提取的过程(ROI),导致其检测精度稍稍落后于双阶段检测模型。为了提升单阶段目标检测框架的检测精度，本发明从样本选择这一点出发，通过沿特征层的尺度方向进行样本选择与加权(LRSD:Loss Reweight in Scale dimension)，实现对多特征层样本的高效利用，并通过计算每一特征层的损失，对不同层样本进行加权，从而突出高质量样本的作用，最终实现单阶段检测模型精度的提升。由于本发明并未引入新的训练参数，因此检测精度的提升并没有牺牲检测速度。
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公开(公告)号：CN116840257A
公开(公告)日：2023-10-03
申请号：CN202310807279.3
申请日：2023-07-04
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明涉及一种用于二维半导体晶体缺陷检测的多偏振分解谐波显微成像装置及方法，属于光学显微成像技术领域。本发明装置包括激光光源系统、多偏振生成系统、谐波信号激发系统、信号探测系统以及控制与数据处理系统。本发明采用不同角度线偏振态激发光、不同旋向圆偏振光以及径向偏振光对二维半导体进行谐波信号激发，并扫描形成谐波图像，接着在探测端进行不同模式的偏振探测。进一步对不同旋向圆偏振激发的谐波图像提取差异图像。本发明利用谐波信号的相干特性，以及对激发光偏振态的敏感性，通过扩展入射光偏振态，并对相应谐波显微图像进行融合以及提取差异。本发明的有益效果：实现二维半导体晶体缺陷的快速高灵敏度检测。
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