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公开(公告)号：CN105762096B
公开(公告)日：2018-04-20
申请号：CN201610182059.6
申请日：2016-03-28
Applicant: 华中科技大学
IPC: H01L21/67 , H01L21/677 , H01L21/50
Abstract: 本发明公开了一种柔性电子制备、转移与封装系统及方法，该系统包括基板转移模块、柔性电子制备模块、激光剥离模块以及封装与装卸模块，基板转移模块用于拾取基板并放置到柔性电子制备模块上，然后将制备好的柔性电子连同基板一起转移到激光剥离模块，最后从激光剥离模块上取回被剥离的基板；柔性电子制备模块用于在基板上完成柔性电子的制备；激光剥离模块用于将制备好的柔性电子与基板分离；封装装卸模块用于将需封装的产品放在封装模块上，并将从基板上剥离的柔性电子封装在产品上，最后将封装好的产品取下。所述方法利用所述系统进行柔性电子的制备、转移与封装。本发明大大缩小了系统的体积，减少了中间环节，节约了空间，提高了生产效率。
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公开(公告)号：CN107553518A
公开(公告)日：2018-01-09
申请号：CN201710880743.6
申请日：2017-09-26
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明属于柔性薄膜加工制造相关设备领域，并公开了一种面向柔性电子转移变形操作的机械手，其包括作为基本框架的支撑柱体组件，以及驱动器组件、滑动组件以及气动组件等功能模块，其中驱动器组件安装固定在安装柱体内部，多套驱动器装置呈阵列排布，多根驱动杆各自输出直线往复运动，驱动杆尾端推动滑动组件运动，配合气动组件的真空腔室和变形膜完成柔性轻质物料的吸附、变形与贴放等操作，此外还可利用传感器实现较高的复位精度。通过本发明，能够以更高精度实现对柔软、轻质、非平面的物料实现拾取并转移贴放到自由曲面的功能，同时具备结构紧凑、便于操作、自由灵活等优点。
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公开(公告)号：CN105070674B
公开(公告)日：2018-01-09
申请号：CN201510461370.X
申请日：2015-07-31
Applicant: 华中科技大学
IPC: H01L21/67 , H01L21/677 , H01L21/66
Abstract: 本发明公开了一种适用于成卷柔性电子器件的逐片转移装置，包括薄膜进给单元、载带输送单元、真空辊吸附单元、压辊转移单元和废料剔除单元，其中薄膜进给单元用于薄膜的进给运动并对薄膜进行模切，模切后的薄膜经真空辊吸附单元驱动至压辊转移单元，模切后的薄膜在压辊转移单元中实现与载带之间的粘着和固定，废料剔除单元则根据工况需要提供多种对废料的实时检测和剔除操作。通过本发明，各个模块单元之间相互联系，共同协作，实现对成卷柔性电子器件逐片的高速检测转移过程，同时具备运动稳定性和可靠性好等优点。
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公开(公告)号：CN107512083A
公开(公告)日：2017-12-26
申请号：CN201710915067.1
申请日：2017-09-30
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明属于电流体动力喷印领域，并公开了一种复杂曲面电路共形喷印方法和设备。该设备包括球形电机模块、平动模块和共形喷印模块，平动模块带动所述球形电机模块在平面内做X和Y轴方向的移动；共形喷印模块包括喷头部分和电气信号部分，喷头部分上下运动实现Z轴方向的自由度，电气信号部分向墨盒中的墨液和电极环施加电压；球形电机模块绕X、Y和Z方向旋转实现待喷印物六自由度运动，曲面基板接地使得待喷印物电势为零，墨液中被施加电压高于电极环中施加电压，从而使得所述墨液、电极环和带喷印物上形成梯度电势差。通过本发明，实现了复杂曲面的共形图案化电喷印工艺，提高电喷印工艺的应用范围，降低制造成本，提高喷印精度。
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公开(公告)号：CN105711099B
公开(公告)日：2017-12-12
申请号：CN201610181599.2
申请日：2016-03-28
Applicant: 华中科技大学
IPC: B29C64/112 , B29C64/20 , B29C64/30 , B22F3/115 , B33Y30/00 , B33Y10/00 , B33Y40/00 , B23K26/362
Abstract: 本发明公开了一种多工位协同的柔性电子制备系统及方法，该系统包括旋转盘模块和分布在其周围的上下基板模块、基底电喷雾模块、3D打印底层绝缘层模块、电纺丝模块、3D打印顶层绝缘层模块、激光剥离模块和取料模块，旋转盘模块用于固定基板及工位转换；上下基板模块用于拾取和转移基板；基底电喷雾模块用于制备基底；3D打印底层和顶层绝缘层模块分别用于打印底层和顶层的绝缘层；电纺丝模块用于纺制电路；激光剥离模块用于烧蚀基底，使基板与柔性电子自动分离；取料模块用于将被分离的柔性电子从基板上取下。所述方法利用所述系统进行柔性电子的多工位协同制备。本发明的整套系统可以反复循环，生产效率高、成本低、精度高。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN106949827A
公开(公告)日：2017-07-14
申请号：CN201710136161.7
申请日：2017-03-09
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明属于应变测量电路领域，并公开了一种具有减敏功能的阵列化电阻应变传感器，包括柔性基底、减敏层、电阻应变传感单元、连接引线和覆盖层，电阻应变传感单元贴附在所述柔性基底的上表面上并通过连接引线连接在一起；减敏层设置在柔性基底的上表面上；所述连接导线设置在所述减敏层上表面上；覆盖层设置在所述柔性基底上遮盖住所有的减敏层、电阻应变传感单元和连接引线。本发明在连接引线与柔性基底之间设置了一层具有减敏功能的材料，能够减小柔性基底层的应变传递到连接引线中，从而使作用在不同电阻应变传感单元间连接线路上的电阻应变非常微小，有效提高应变测量的精度，又能保护连接引线，防止其断裂，影响传感器工作性能。
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公开(公告)号：CN106910678A
公开(公告)日：2017-06-30
申请号：CN201710135335.8
申请日：2017-03-09
Applicant: 华中科技大学
IPC: H01L21/027
CPC classification number: H01L21/0275 , H01L21/0272
Abstract: 本发明属于电子器件制备工艺领域，并公开了一种图案化掩膜版的制备方法，包括以下步骤：1)在透明基板的第一表面上沉积一层吸光材料层并图案化；2)在透明基板的第二表面上旋涂聚合物材料层；3)用激光照射透明基板的第一表面，该透明基板上被吸光材料覆盖的区域，激光能量未达到聚合物材料烧蚀阈值，聚合物得以保留；而透明基板上未被吸光材料覆盖的区域的聚合物会被激光烧蚀，聚合物材料层被烧蚀后实现图案化，并且图案的形状与透明基板的第一表面沉积的吸光材料的形状一致，从而形成所述图案化掩膜版。本发明可以实现对激光剥离后的界面粘附强度调控，通过控制剥离后的界面粘附强度，使大面积柔性超薄器件剥离后依然粘附在刚性衬底上。
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公开(公告)号：CN106805954A
公开(公告)日：2017-06-09
申请号：CN201710114101.5
申请日：2017-02-28
Applicant: 华中科技大学
IPC: A61B5/021
Abstract: 本发明属于柔性电子与传感器技术领域，具体涉及一种穿戴式柔性压力传感器及其制备方法。该可穿戴式柔性压力传感器包括上支撑基体，超柔软Ecoflex压力探测头，PVDF压电薄膜，阵列化微凸台支撑结构，下支撑基体五个部分。超柔软Ecoflex压力探测头可感受到压力而发生变形，进而压迫PVDF压电薄膜发生变形而输出电学信号。本发明还公开了该穿戴式柔性压力传感器的制备方法。这种超柔性探头加鼓形基体能很灵敏地感知测量到人体的微弱的脉搏跳动力，解决了可穿戴智能设备中无法测量压力信号、非柔性的问题。还具有体积小巧、佩戴舒适、使用寿命长、制作成本低廉等优点，适合大规模生产使用。
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公开(公告)号：CN106739506A
公开(公告)日：2017-05-31
申请号：CN201611136763.4
申请日：2016-12-12
Applicant: 华中科技大学
IPC: B41J2/14
CPC classification number: B41J2/14201
Abstract: 本发明涉及电流体动力喷印设备领域，具体涉及一种用于电流体喷印的压电式集成喷头，包括外部支架、压电结构、喷头、下电极支撑环和下电极环，压电结构位于喷头上方，喷头上部设置有一上电极，喷头下方依次设置有下电极支撑环和下电极环，压电结构和上下电极通电后，在喷射头和下电极环之间形成电场，从而使溶液在喷射头处形成泰勒锥。本发明的压电式集成喷头克服了现有的电喷印设备不能满足高频喷射的缺陷，能够实现高频高分辨率的打印，将下电极集成到喷头端，使得整个喷印系统更加灵活，能够使用复杂形状的基板进行打印，还具有结构简单、制造成本低廉，适合大规模生产等优点。
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公开(公告)号：CN104538550B
公开(公告)日：2017-04-12
申请号：CN201410704262.6
申请日：2014-11-26
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明公开了利用并列喷嘴喷印制造柔性电化学晶体管的方法，包括以下步骤：1)注入溶液；2)沉积网格状纤维结构；3)网格状纤维结构自组装。本发明工艺简单，采用并列静电纺丝工艺，一步制得微纳纤维，并且通过平台运动控制可直接实现阵列化纤维的制造；工序简单，借助于表面张力驱动的自组装工艺可大面积稳定可靠实现WECT源极、漏极与栅极的连接；其成本低，效率高，静电纺丝以及自组装工艺极大缩减了制造时间与材料用量；材料兼容性好，制造过程均未涉及高温工艺，有机、柔性材料均可得到极大的运用。
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