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公开(公告)号：CN102967583B
公开(公告)日：2015-07-22
申请号：CN201210447155.0
申请日：2012-11-11
Applicant: 华中科技大学
IPC: G01N21/43
Abstract: 本发明公开了一种用于测量液相气体折射率的测量仪，包括：点光源照明模块，其产生光束以对待检测液相气体进行检测；探测棱镜，其一棱镜面与所述待测液体表面接触形成反射面，点光源照明模块出射后的光束在该反射面上聚焦形成光斑，并发生全反射和部分反射；反射光接收模块，其用于收集经所述反射面反射的光线，并将收集的光斑图像信息转换成电信号输出；图像分析模块，其对输出的光斑图像信息进行处理，提取出光斑中的明暗界限，进而即可得到待测物的折射率。本发明还公开了一种测量液相气体折射率的方法。本发明的装置和方法可以有效测量液相气体折射率，具有精度高、维护简单、实现容易、抗干扰能力强、受测量环境影响小等优点。
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公开(公告)号：CN119714045A
公开(公告)日：2025-03-28
申请号：CN202411940354.4
申请日：2024-12-26
Applicant: 华中科技大学
IPC: G01B9/02015 , G01B9/02056 , G01B11/24
Abstract: 本申请属于样品形貌检测领域，具体公开了一种多层折射样品检测装置及方法。方法为：将初始光束分为第一光束和第二光束，再将第一光束分解为具有正交偏振态的且光程差固定的两路参考光，将第二光束传输至待测样品产生若干反射光；采集参考光与反射光干涉产生的初始干涉光谱，在初始干涉光谱中去除参考臂引入的固有伪影、待测样品内部的自相关伪影以及镜像伪影，获取无伪影的干涉光谱，进而获取待测样品的三维信息。本申请可以在不损伤待测样品的情况下，对多层折射样品的内层结构进行精准测量。
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公开(公告)号：CN117669376A
公开(公告)日：2024-03-08
申请号：CN202311645956.2
申请日：2023-11-30
Applicant: 华中科技大学
IPC: G06F30/27 , G06F30/25 , G06N5/01 , G06N20/20 , G01N15/0205 , G06F113/08
Abstract: 本发明公开一种液体杂质颗粒系粒径分布反演方法和系统，属于光散射微小颗粒检测领域。本发明在确定随机森林的最佳决策树时，通过调节仿真颗粒系的粒径分布，计算多个散射角度下的颗粒系模拟样品中各粒径的颗粒物所对应的散射光强分数，进一步计算得到若干散射角度下的无噪声电场自相关函数与等效平均粒径。再将预设的噪声水平与高斯噪声分布函数相乘，将结果与若干散射角度下的等效平均粒径相加，得到对应的含噪等效平均粒径，作为模型输入，对应的模拟样品粒径分布作为模型输出，比较采用不同决策树数量训练的反演效果评价值。根据反演效果评价值，确定最佳决策树数量。反演速度快，对于含噪的数据反演结果更加稳定，满足检测精度要求。
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公开(公告)号：CN117053715A
公开(公告)日：2023-11-14
申请号：CN202311083366.5
申请日：2023-08-25
Applicant: 华中科技大学
IPC: G01B11/24
Abstract: 本发明提供一种用于多层折射样品形貌结构测量的检测装置及方法，属于样品形貌检测领域，方法包括：获取第一路反射光束；第一路反射光束作为参考光束；获取从待测样品反射来的第二路反射光束；待测样品包括多层折射结构，第二路反射光束对应的入射光束在入射过程中经过色散元件，色散元件用于保证待测样品每个反射界面的反射信号具有相同符号的非线性相位；基于第一和第二路反射光束的干涉光谱进行分析成像，得到待测样品的形貌结构信息；第二路反射光束中每个反射界面的反射信号具有相同符号的非线性相位，使得对干涉光谱进行相位补偿时真实信号被增强，真实信号共轭的镜像信号被抑制。本发明提高了样品的形貌检测深度范围，且保证了检测精度。
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公开(公告)号：CN115127965A
公开(公告)日：2022-09-30
申请号：CN202211038130.5
申请日：2022-08-29
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明公开了一种混杂颗粒系粒径分布反演方法与系统，属于光散射微小颗粒检测领域。包括：根据若干散射角度测量到的未知粒径分布的待测样品的光强自相关函数，通过累积量法计算在若干散射角度下待测样品的平均粒径，接着将该平均粒径输入至采用最优平滑因子训练好的混杂颗粒系粒径分布反演回归网络，最终得到待测样品的粒径分布曲线，所述最优平滑因子根据标定的动态光散射系统的噪声水平，评价并比较混杂颗粒系粒径分布反演回归网络反演效果得到。该方法适用于球形颗粒系、非球形颗粒系及存在多种不同性质与形态颗粒物的混杂颗粒系，且粒径分布反演速度快、效果好、非接触，可满足实际检测环境下的多种需求。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN114910019A
公开(公告)日：2022-08-16
申请号：CN202210544597.0
申请日：2022-05-19
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明提供了一种实现动态调节扫描光束直径的样品检测装置及方法，属于样品检测领域，方法为：将低相干光分为第一路子光束和第二路子光束；将第一路子光束经反射形成参考光；将第二路子光束转变为线偏振光；评估样品当前扫描检测位置所需的扫描精细程度，在反射式空间光调制器上加载相位图，在扫描过程中动态改变光束的波前相位并反射扫描光束；对样品面扫描，并利用扫描透镜压缩扫描光束，经样品表面反射形成反射光；反射光与参考光发生干涉，由光谱仪获取的频域干涉信息经计算机提取出样品各点高度信息；对样品待检测区域中各个扫描位置的高度信息进行整合，获取整个样品的表面形貌。本发明大大提高了对不同区域扫描精度不同的样品的检测效率。
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公开(公告)号：CN110751624B
公开(公告)日：2022-08-09
申请号：CN201910850100.6
申请日：2019-09-10
Applicant: 华中科技大学
IPC: G06T7/00 , G06T7/60 , G06T9/00 , G06T9/20 , G06F30/398
Abstract: 本发明公开一种提高PCB检查精度的方法及系统，所述方法包括：读取Gerber文件，检查Gerber文件是否是RS‑274X格式；根据Gerber文件语法规则，查找各种Gerber文件代码，获得Gerber文件图像的参数信息；根据Gerber文件图像的参数信息，采用插值补点的算法计算绘制XLD图像所需参数；根据所计算得到的参数使用Halcon软件绘制XLD图像。同时本发明还实现了一种转换RS‑274X格式的Gerber文件为XLD文件的系统。本发明技术方案在应用于AOI上时，不会产生由于位图像素本身的大小带来的精度上的误差，具有精度高，简单高效的特点，提高了PCB检查的精准率。
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公开(公告)号：CN114757903A
公开(公告)日：2022-07-15
申请号：CN202210362277.3
申请日：2022-04-07
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明提供了一种光器件芯片封装金线缺陷检测方法，属于机器视觉缺陷检测领域，本发明方法包括如下步骤：S1采集光器件芯片上具有封装金线的区域块图像，通过模板匹配检测获得金线的焊点，S2对封装金线的区域块图像依据灰度均值和灰度方差进行基于焊点寻迹的金线线区域提取，获得金线线区域，S3对提取的金线线区域进行灰度分析以及特征计算，完成金线缺陷检测。本发明检测方法的检测速度快，鲁棒性强。
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公开(公告)号：CN112729135B
公开(公告)日：2022-04-26
申请号：CN202011517746.1
申请日：2020-12-21
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明公开一种具有主动光学防抖功能的面阵扫频测距/厚的装置，属于测距/厚领域，包括第一、二二向色镜、分束器、远心镜头、相机、光谱仪、采集控制单元和可运动反射器件，第一二向色镜的透射光方向上设置分束器，分束器反射光方向上设置有载物台，分束器透射光方向上设置可运动反射器件，分束器具有四个端口，第一端口和第三端口位于相对的两个边上，第一端口正对第一二向色镜，第二端口正对载物台，第三端口正对可运动反射器件，第四端口的方向上设置有第二二向色镜，第二二向色镜透射光方向上设置远心镜头，远心镜头连接有相机，第二二向色镜反射光方向上设置光谱仪，光谱仪连通采集控制单元。本发明装置结构简单、测量快速、测量精度高。
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公开(公告)号：CN114354649A
公开(公告)日：2022-04-15
申请号：CN202111634362.2
申请日：2021-12-29
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明提供了一种CMP垫的金属微粒缺陷的检测装置及方法，属于CMP垫内部缺陷的检测领域，方法包括：对CMP垫进行背向照明，使用机器视觉成像系统对CMP垫进行扫描成像；对扫描图像进行灰度值的底帽变换；对传统OSTU法获取预设前景灰度百分比进行改造，计算灰度阈值；对预处理后的扫描图像进行自动阈值分割；将分割完成之后的区域进行连通；将连通域中存在缺陷的特征区域进行图像坐标提取；采用张正友角点标定法，对机器视觉系统图像坐标系与X射线成像系统的图像坐标系进行坐标转换获取X射线成像的图像坐标；采用X射线成像方法，对金属微粒缺陷成像核实。本发明检测范围、检测精度和检测效率均得到了极大的提升。
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