测量多角度动态光散射的微流控芯片及其应用方法

    公开(公告)号:CN117960262A

    公开(公告)日:2024-05-03

    申请号:CN202410125174.4

    申请日:2024-01-29

    Abstract: 本申请公开了一种测量多角度动态光散射的微流控芯片及其应用方法。本申请包括微流沟道、入射光纤套筒、接收光纤套筒、固定滑槽和固定滑块,其中:微流沟道为直通道,微流沟道的宽度从一端到另一端逐渐收窄;固定滑槽沿微流沟道布置,固定滑块固定在固定滑槽中并沿固定滑槽来回移动;入射光纤套筒和接收光纤套筒的顶端固定在固定滑块上,分别位于微流沟道的两侧;入射光纤套筒和接收光纤套筒以顶端为圆心转动。本申请配合光纤实现动态光散射的测量,减小了系统体积,避免了外界环境的影响,具有较大的浓度适应范围,实现了动态光散射对高浓度样品的高效测量。

    一种实现动态调节扫描光束直径的样品检测装置及方法

    公开(公告)号:CN114910019B

    公开(公告)日:2023-03-21

    申请号:CN202210544597.0

    申请日:2022-05-19

    Abstract: 本发明提供了一种实现动态调节扫描光束直径的样品检测装置及方法,属于样品检测领域,方法为:将低相干光分为第一路子光束和第二路子光束;将第一路子光束经反射形成参考光;将第二路子光束转变为线偏振光;评估样品当前扫描检测位置所需的扫描精细程度,在反射式空间光调制器上加载相位图,在扫描过程中动态改变光束的波前相位并反射扫描光束;对样品面扫描,并利用扫描透镜压缩扫描光束,经样品表面反射形成反射光;反射光与参考光发生干涉,由光谱仪获取的频域干涉信息经计算机提取出样品各点高度信息;对样品待检测区域中各个扫描位置的高度信息进行整合,获取整个样品的表面形貌。本发明大大提高了对不同区域扫描精度不同的样品的检测效率。

    一种基于光电传感阵列测量折射率的亚像素位置获取方法

    公开(公告)号:CN108827915B

    公开(公告)日:2020-10-30

    申请号:CN201810849568.9

    申请日:2018-07-28

    Abstract: 本发明公开了一种基于光电传感阵列测量折射率的亚像素位置获取方法,属于测量与光学领域,包括如下步骤:S1取临界角对应的像素位置前后各m个像素,一共为(2m+1)个像素,采集该(2m+1)个像素对应的反射率,以作为拟合数据,S2采用菲涅尔反射率公式,对步骤S1获取的拟合数据进行菲涅尔反射率拟合,得到菲涅尔拟合函数,S3对步骤S2获得的菲涅尔拟合函数求导,导函数的峰值点即为临界角对应的亚像素位置。本发明提供了一种基于光电传感阵列测量折射率的亚像素位置获取方法,其充分利用了阵列器件测量折射率的自动化、快速的特点,同时提高了折射率测量的精度。

    一种抑制杂散光的物质折射率测量装置

    公开(公告)号:CN107153049B

    公开(公告)日:2019-11-12

    申请号:CN201710395824.7

    申请日:2017-05-31

    Abstract: 本发明公开了一种抑制杂散光的物质折射率测量装置,属于光学仪器领域,其包括光源,输入耦合光学模块,反射测量模块,输出耦合光学模块,阵列器件以及图像采集分析系统,输入耦合光学模块用于接收来自光源的光束并将其聚焦或发散,反射测量模块用于容置待测对象并对其折射率进行测量以获得折射率原始信息,输出耦合光学模块用于收集带有待测对象折射率信息的反射光,阵列器件用于接受带有待测对象折射率信息的反射光,并将其转化为光电信号,图像采集分析系统用于对光电信号进行处理和分析,以直接输出待测对象的折射率数值。本发明通过设计反射测量模块,能巧妙消除测量薄层物质折射率时的杂散光,且能用于测量薄层物质的折射率。

    一种抑制杂散光的物质折射率测量装置

    公开(公告)号:CN107153049A

    公开(公告)日:2017-09-12

    申请号:CN201710395824.7

    申请日:2017-05-31

    Abstract: 本发明公开了一种抑制杂散光的物质折射率测量装置,属于光学仪器领域,其包括光源,输入耦合光学模块,反射测量模块,输出耦合光学模块,阵列器件以及图像采集分析系统,输入耦合光学模块用于接收来自光源的光束并将其聚焦或发散,反射测量模块用于容置待测对象并对其折射率进行测量以获得折射率原始信息,输出耦合光学模块用于收集带有待测对象折射率信息的反射光,阵列器件用于接受带有待测对象折射率信息的反射光,并将其转化为光电信号,图像采集分析系统用于对光电信号进行处理和分析,以直接输出待测对象的折射率数值。本发明通过设计反射测量模块,能巧妙消除测量薄层物质折射率时的杂散光,且能用于测量薄层物质的折射率。

    一种透射式薄层物质折射率测量装置

    公开(公告)号:CN106970045A

    公开(公告)日:2017-07-21

    申请号:CN201710395825.1

    申请日:2017-05-31

    CPC classification number: G01N21/41

    Abstract: 本发明公开了一种薄层物质折射率测量装置,属于光学仪器领域,其包括透射测量模块,该透射测量模块包括第一棱镜、第二棱镜以及用于测量时容置待测对象的间隙,所述间隙为第一棱镜的测量面和第二棱镜的测量面相聚间隔而形成,所述间隙的高度为100nm~2mm。第一棱镜和第二棱镜为结构相同、折射率相同的等腰棱镜。或者所述第一棱镜和所述第二棱镜为结构不相同、折射率不相同的等腰棱镜。本发明装置中,透明介质通过两块棱镜构成测量光学系统,不仅实现薄层物质的折射率测量,而且经过玻璃‑待测物质和待测物质‑玻璃两次折射具有显著提升信号特征的优点。

    一种高速快门装置及其应用

    公开(公告)号:CN103018930A

    公开(公告)日:2013-04-03

    申请号:CN201210484838.3

    申请日:2012-11-25

    Abstract: 本发明公开了一种高速快门装置,包括:起偏器,用于将入射的探测光转化为线偏振光;检偏器,其沿光轴设置在所述起偏器后方,其用于通过与其偏振方向一致的线偏振光;电光晶体,其沿光轴设置在所述起偏器和检偏器之间,经所述起偏器转化的线偏振光入射到该电光晶体,通过在其两端加载电压和/或改变加载电压大小,从而改变线偏振光的偏振态,使其可从所述检偏器通过或被阻隔,完成对探测光的选择性接收或阻隔,实现成像。本发明还公开了一种利用上述快门进行距离选通主动成像的方法。本发明能够将成像快门的开关时间控制在纳秒级以内,并且体积可控,从而更好的实现距离选通主动成像,提升大气或水体中成像的分辨率。

    一种用于测量液相气体折射率的测量仪及方法

    公开(公告)号:CN102967583A

    公开(公告)日:2013-03-13

    申请号:CN201210447155.0

    申请日:2012-11-11

    Abstract: 本发明公开了一种用于测量液相气体折射率的测量仪,包括:点光源照明模块,其产生光束以对待检测液相气体进行检测;探测棱镜,其一棱镜面与所述待测液体表面接触形成反射面,点光源照明模块出射后的光束在该反射面上聚焦形成光斑,并发生全反射和部分反射;反射光接收模块,其用于收集经所述反射面反射的光线,并将收集的光斑图像信息转换成电信号输出;图像分析模块,其对输出的光斑图像信息进行处理,提取出光斑中的明暗界限,进而即可得到待测物的折射率。本发明还公开了一种测量液相气体折射率的方法。本发明的装置和方法可以有效测量液相气体折射率,具有精度高、维护简单、实现容易、抗干扰能力强、受测量环境影响小等优点。

    一种CMP垫的金属微粒缺陷的检测装置及方法

    公开(公告)号:CN114354649B

    公开(公告)日:2023-12-26

    申请号:CN202111634362.2

    申请日:2021-12-29

    Abstract: 本发明提供了一种CMP垫的金属微粒缺陷的检测装置及方法,属于CMP垫内部缺陷的检测领域,方法包括:对CMP垫进行背向照明,使用机器视觉成像系统对CMP垫进行扫描成像;对扫描图像进行灰度值的底帽变换;对传统OSTU法获取预设前景灰度百分比进行改造,计算灰度阈值;对预处理后的扫描图像进行自动阈值分割;将分割完成之后的区域进行连通;将连通域中存在缺陷的特征区域进行图像坐标提取;采用张正友角点标定法,对机器视觉系统图像坐标系与X射线成像系统的图像坐标系进行坐标转换获取X射线成像的图像坐标;采用X射线成像方法,对金属微粒缺陷成像核实。本发明检测范围、检测精度和检测效率均得到了极大的提升。

    一种基于点云拟合的深微孔点云拼接方法和系统

    公开(公告)号:CN117078903A

    公开(公告)日:2023-11-17

    申请号:CN202311043907.1

    申请日:2023-08-17

    Abstract: 本发明公开一种基于点云拟合的深微孔点云拼接方法和系统,属于点云处理领域。包括:获取深微孔两个子区域的实测三维点云数据;利用实测子区域三维点云数据,识别出深微孔曲面类型;按照曲面类型,确定曲面标准方程,其几何参数待定;分别将实测两个子区域点云数据按照曲面标准方程进行曲面拟合,得到两个标准方程几何参数确定的拟合曲面;分别提取两个拟合曲面的轴线向量,计算与点云测量坐标系中Z轴对齐的旋转矩阵;将各旋转矩阵与对应实测子区域三维点云数据点乘,得到深微孔点云拼接结果。本发明首次提出分别拟合两次实测点云数据,将两个拟合曲面通过旋转矩阵转换到同一坐标系,实现拼接目的。不仅适用于简单曲面,也能拟合复杂曲面。

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