公开(公告)号：CN117146717A

公开(公告)日：2023-12-01

申请号：CN202311047561.2

申请日：2023-08-17

Applicant: 华中科技大学

Inventor： 夏珉 ,  董伯彰 ,  李微 ,  杨克成 ,  郭文平

IPC: G01B11/06 ,  G01B9/02 ,  G01B9/02055 ,  G01B11/24

Abstract: 本发明公开了基于单次测量的薄膜参数计算方法、干涉测量装置和系统，属于微纳结构探测领域。本发明只需单次测量，就可以同时获得薄膜厚度分布及表面形貌，避免多次测量带来的测量误差，更适用于实际工业环境。对每个扫描点执行上述计算方法，得到每个扫描点的光程差信息，将其组合得到薄膜样品的表面形貌，由于薄膜厚度计算中引入补偿量函数，使一微米以下的薄膜表面形貌准确度更高。本发明适用于使用Linnik型干涉结构或Mirau型干涉结构，还适用于使用宽光谱光源或扫频光源，可根据工业场景灵活调整。

公开(公告)号：CN114910019A

公开(公告)日：2022-08-16

申请号：CN202210544597.0

申请日：2022-05-19

Applicant: 华中科技大学

Inventor： 董伯彰 ,  郭文平 ,  李微 ,  杨克成 ,  夏珉

IPC: G01B11/24 ,  G02B26/10 ,  G02B27/10

Abstract: 本发明提供了一种实现动态调节扫描光束直径的样品检测装置及方法，属于样品检测领域，方法为：将低相干光分为第一路子光束和第二路子光束；将第一路子光束经反射形成参考光；将第二路子光束转变为线偏振光；评估样品当前扫描检测位置所需的扫描精细程度，在反射式空间光调制器上加载相位图，在扫描过程中动态改变光束的波前相位并反射扫描光束；对样品面扫描，并利用扫描透镜压缩扫描光束，经样品表面反射形成反射光；反射光与参考光发生干涉，由光谱仪获取的频域干涉信息经计算机提取出样品各点高度信息；对样品待检测区域中各个扫描位置的高度信息进行整合，获取整个样品的表面形貌。本发明大大提高了对不同区域扫描精度不同的样品的检测效率。

公开(公告)号：CN114910019B

公开(公告)日：2023-03-21

申请号：CN202210544597.0

申请日：2022-05-19

Applicant: 华中科技大学

Inventor： 董伯彰 ,  郭文平 ,  李微 ,  杨克成 ,  夏珉

IPC: G01B11/24 ,  G02B26/10 ,  G02B27/10

Abstract: 本发明提供了一种实现动态调节扫描光束直径的样品检测装置及方法，属于样品检测领域，方法为：将低相干光分为第一路子光束和第二路子光束；将第一路子光束经反射形成参考光；将第二路子光束转变为线偏振光；评估样品当前扫描检测位置所需的扫描精细程度，在反射式空间光调制器上加载相位图，在扫描过程中动态改变光束的波前相位并反射扫描光束；对样品面扫描，并利用扫描透镜压缩扫描光束，经样品表面反射形成反射光；反射光与参考光发生干涉，由光谱仪获取的频域干涉信息经计算机提取出样品各点高度信息；对样品待检测区域中各个扫描位置的高度信息进行整合，获取整个样品的表面形貌。本发明大大提高了对不同区域扫描精度不同的样品的检测效率。