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公开(公告)号:CN112729135B
公开(公告)日:2022-04-26
申请号:CN202011517746.1
申请日:2020-12-21
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明公开一种具有主动光学防抖功能的面阵扫频测距/厚的装置,属于测距/厚领域,包括第一、二二向色镜、分束器、远心镜头、相机、光谱仪、采集控制单元和可运动反射器件,第一二向色镜的透射光方向上设置分束器,分束器反射光方向上设置有载物台,分束器透射光方向上设置可运动反射器件,分束器具有四个端口,第一端口和第三端口位于相对的两个边上,第一端口正对第一二向色镜,第二端口正对载物台,第三端口正对可运动反射器件,第四端口的方向上设置有第二二向色镜,第二二向色镜透射光方向上设置远心镜头,远心镜头连接有相机,第二二向色镜反射光方向上设置光谱仪,光谱仪连通采集控制单元。本发明装置结构简单、测量快速、测量精度高。
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公开(公告)号:CN112731346A
公开(公告)日:2021-04-30
申请号:CN202011518546.8
申请日:2020-12-21
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明公开一种具有主动光学防抖功能的显微型面阵扫频测距/厚的装置,涉及激光扫频测距领域,包括第一、二二向色镜、分束器、显微镜、相机、光谱仪、采集控制单元和可运动反射器件,第一二向色镜的透射光方向上设分束器,分束器反射光方向上设载物台,载物台和分束器之间设显微镜,分束器有四个端口,第一端口正对第一二向色镜,第二端口正对显微镜,第三端口正对可运动反射器件,第四端口正对第二二向色镜,第二二向色镜透射光方向上设置相机,相机与采集控制单元相连,第二二向色镜反射光方向上设光谱仪,光谱仪连通采集控制单元,采集控制单元具有采集相机和光谱仪的信号以及显示数据的功能。本发明装置结构简单、测量快速、测量精度高。
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公开(公告)号:CN112731346B
公开(公告)日:2024-01-16
申请号:CN202011518546.8
申请日:2020-12-21
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明公开一种具有主动光学防抖功能的显微型面阵扫频测距/厚的装置,涉及激光扫频测距领域,包括第一、二二向色镜、分束器、显微镜、相机、光谱仪、采集控制单元和可运动反射器件,第一二向色镜的透射光方向上设分束器,分束器反射光方向上设载物台,载物台和分束器之间设显微镜,分束器有四个端口,第一端口正对第一二向色镜,第二端口正对显微镜,第三端口正对可运动反射器件,第四端口正对第二二向色镜,第二二向色镜透射光方向上设置相机,相机与采集控制单元相连,第二二向色镜反射光方向上设光谱仪,光谱仪连通采集控制单元,采集控制单元具有采集相机和光谱仪的信号以及显示数据的功能。本发明装置结构简单、测量快速、测量精度高。
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公开(公告)号:CN110376596B
公开(公告)日:2021-05-18
申请号:CN201910648603.5
申请日:2019-07-18
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明公开了一种物体表面三维坐标测量系统以及测量方法,属于激光测距领域,其包括激光测距装置、二维位移平台以及处理器,测距装置包括光源、光隔离器、F‑P滤波器、光谱仪、第一、二耦合器、第一、二参考臂和测量臂,第一、二参考臂间具有固定的光程差,光隔离器设置在光源出射光方向上,光谱仪连接处理器,处理器用于对测量臂、第一参考臂和第二参考臂返回的激光之间的干涉信号进行分析处理,以获得待测物体在Z轴方向的深度,同时还用于结合二维位移平台反应的待测物体在XY平面坐标生成待测物体三维坐标。本发明还提供物体表面三维坐标测量方法。本发明方法和装置结构简单,价格低廉,还解决了死区问题,还能进行高精度和大幅面测量。
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公开(公告)号:CN112731345A
公开(公告)日:2021-04-30
申请号:CN202011517751.2
申请日:2020-12-21
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明公开一种具有主动光学防抖功能的抗振型面阵扫频测距/厚的装置,涉及激光测距领域,包括第一二向色镜、分束器、第二二向色镜、镜头、相机、光谱仪、采集控制单元、可运动的部分反射元件,第一二向色镜的透射光方向上设分束器,分束器反射光方向上设载物台,在载物台和分束器之间设置可运动的部分反射元件,分束器具有四个端口,第一端口正对第一二向色镜,第二端口正对可运动的部分反射元件,第四端口的方向上设有第二二向色镜,第二二向色镜透射光方向上设置镜头,镜头与相机相连,相机与采集控制单元相连,第二二向色镜反射光方向上设置光谱仪,光谱仪连通采集控制单元。本发明装置能减小测量误差,其结构简单、测量快速、测量精度高。
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公开(公告)号:CN112729135A
公开(公告)日:2021-04-30
申请号:CN202011517746.1
申请日:2020-12-21
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明公开一种具有主动光学防抖功能的面阵扫频测距/厚的装置,属于测距/厚领域,包括第一、二二向色镜、分束器、远心镜头、相机、光谱仪、采集控制单元和可运动反射器件,第一二向色镜的透射光方向上设置分束器,分束器反射光方向上设置有载物台,分束器透射光方向上设置可运动反射器件,分束器具有四个端口,第一端口和第三端口位于相对的两个边上,第一端口正对第一二向色镜,第二端口正对载物台,第三端口正对可运动反射器件,第四端口的方向上设置有第二二向色镜,第二二向色镜透射光方向上设置远心镜头,远心镜头连接有相机,第二二向色镜反射光方向上设置光谱仪,光谱仪连通采集控制单元。本发明装置结构简单、测量快速、测量精度高。
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公开(公告)号:CN112731344A
公开(公告)日:2021-04-30
申请号:CN202011517749.5
申请日:2020-12-21
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明公开一种具有主动光学防抖功能的放大型面阵扫频测距/厚的装置,涉及激光扫频测距领域,包括第一、二二向色镜、分束器、镜头、相机、光谱仪、采集控制单元和可运动反射器件,第一二向色镜的透射光方向上设分束器,分束器反射光方向上设载物台,载物台和分束器之间设镜头,分束器有四个端口,第一端口正对第一二向色镜,第二端口正对镜头,第三端口正对可运动反射器件,第四端口正对第二二向色镜,第二二向色镜透射光方向上设置相机,相机与采集控制单元相连,第二二向色镜反射光方向上设光谱仪,光谱仪连通采集控制单元,采集控制单元具有采集相机和光谱仪的信号以及显示数据的功能。本发明装置结构简单、测量快速、测量精度高。
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公开(公告)号:CN110376596A
公开(公告)日:2019-10-25
申请号:CN201910648603.5
申请日:2019-07-18
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明公开了一种物体表面三维坐标测量系统以及测量方法,属于激光测距领域,其包括激光测距装置、二维位移平台以及处理器,测距装置包括光源、光隔离器、F-P滤波器、光谱仪、第一、二耦合器、第一、二参考臂和测量臂,第一、二参考臂间具有固定的光程差,光隔离器设置在光源出射光方向上,光谱仪连接处理器,处理器用于对测量臂、第一参考臂和第二参考臂返回的激光之间的干涉信号进行分析处理,以获得待测物体在Z轴方向的深度,同时还用于结合二维位移平台反应的待测物体在XY平面坐标生成待测物体三维坐标。本发明还提供物体表面三维坐标测量方法。本发明方法和装置结构简单,价格低廉,还解决了死区问题,还能进行高精度和大幅面测量。
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公开(公告)号:CN110369859A
公开(公告)日:2019-10-25
申请号:CN201910648605.4
申请日:2019-07-18
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明公开一种飞秒激光闭环加工系统及方法,属于飞秒激光加工领域。系统包括飞秒加工系统、飞秒测距系统、三维运动平台和处理器。加工系统和测距系统共用部分元器件。飞秒加工系统包括飞秒激光器、光隔离器、第一分束器和显微物镜。飞秒测距系统包括飞秒激光器、光隔离器、第一、二分束器、显微物镜、第一、二参考臂、耦合透镜、F-P滤波器和光谱仪。被加工的物体放置在三维运动平台上,由处理器控制运动平台的运动、分析飞秒测距系统中光谱仪获取的信息,从而获得物体加工点的高度信息,进而反馈至飞秒加工系统,由此形成闭环控制。本发明还提供了相应的加工方法。本发明系统和方法可以实现对工件的高精度在线反馈加工。
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公开(公告)号:CN112731345B
公开(公告)日:2024-02-09
申请号:CN202011517751.2
申请日:2020-12-21
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明公开一种具有主动光学防抖功能的抗振型面阵扫频测距/厚的装置,涉及激光测距领域,包括第一二向色镜、分束器、第二二向色镜、镜头、相机、光谱仪、采集控制单元、可运动的部分反射元件,第一二向色镜的透射光方向上设分束器,分束器反射光方向上设载物台,在载物台和分束器之间设置可运动的部分反射元件,分束器具有四个端口,第一端口正对第一二向色镜,第二端口正对可运动的部分反射元件,第四端口的方向上设有第二二向色镜,第二二向色镜透射光方向上设置镜头,镜头与相机相连,相机与采集控制单元相连,第二二向色镜反射光方向上设置光谱仪,光谱仪连通采集控制单元。本发明装置能减小测量误差,其结构简单、测量快速、测量精度高。
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