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公开(公告)号:CN118687680A
公开(公告)日:2024-09-24
申请号:CN202310285295.0
申请日:2023-03-22
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明提供一种超导纳米线单光子探测器双端读出系统及读出方法,所述双端读出系统包括超导纳米线单光子探测器及马赫增德尔电光调制器,超导纳米线单光子探测器用于在有光子照射时产生正向脉冲信号和负向脉冲信号;马赫增德尔电光调制器包括光分束器、光合束器、上波导臂及下波导臂,上波导臂用于传输第一光载波,并根据正向脉冲信号调制第一光载波的相位;下波导臂用于传输第二光载波,并根据负向脉冲信号调制第二光载波的相位。本发明提供的超导纳米线单光子探测器双端读出系统及读出方法能够解决现有超导纳米线单光子探测器采用的双端读出结构,利用同轴线进行信号传输时,信号损耗大、衰减大、漏热高的问题。
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公开(公告)号:CN118569326A
公开(公告)日:2024-08-30
申请号:CN202310177412.1
申请日:2023-02-28
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: G06N3/063 , G06N3/0464
Abstract: 本发明提供一种光神经网络及光神经网络芯片结构,所述光神经网络包括:光波导、光无源器件、光调制器及光探测器;其中,所述光波导用于传输光信号,所述光无源器件与所述光波导连接,共同构建光信号输入网络及光输出网络;所述光调制器用于改变在光波导中传输的光信号,所述光调制器的连接电路及调制电路采用超导材料;所述光探测器用于将光信号转换并输出为电信号。本发明提供的光神经网络及光神经网络芯片结构能够解决:现有光神经网络中采用的光调制器件中调制电路及连接电路的热量会造成信号串扰及能耗增加的问题及光输出端光强低导致光探测器无法读取光信号限制了光神经网络规模的问题。
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公开(公告)号:CN118173619A
公开(公告)日:2024-06-11
申请号:CN202410300437.0
申请日:2024-03-15
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: H01L31/02 , H01L31/0232 , H01L31/0203 , H01L31/024 , B82Y15/00 , B82Y40/00 , H01L25/04
Abstract: 本发明提供一种多通道超导单光子探测器,将正极焊盘和射频接头从自对准金属封装块上移除,正极焊盘设置于PCB走线板,射频接头设置于阵盘,有效利用了冷台空间,实现64通道的自对准SNSPD的集成布局;并且,本申请中自对准金属封装块相较于现有技术中自对准PCB封装板有更好的热接触,提高器件性能。
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公开(公告)号:CN111430396B
公开(公告)日:2024-06-11
申请号:CN202010167335.8
申请日:2020-03-11
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: H01L27/148 , B82Y10/00
Abstract: 本申请涉及一种基于超导纳米线的单光子偏振探测器件及其实现装置,包括:衬底;像元层,像元层置于衬底上;其中,像元层包括一个或多个超像元单元;每个超像元单元包括至少四个像元单元,像元单元由一条蜿蜒曲折的超导纳米线构成;且每个像元单元的超导纳米线结构的平行方向的角度各不同;利用四个超像元对偏振光的偏振角的光响应计数可以实现对线性偏振光的偏振态求解。与现有的半导体偏振探测器相比,本申请中的超导纳米线结构具有线偏振器和光子探测器的双重功能,不仅集合了超导纳米线结构单光子探测器自身的优点,还具有器件规模可拓展、结构简单等特点,有望应用于微弱光环境下的偏振探测及成像、量子通信、天文观测等。
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公开(公告)号:CN117310776A
公开(公告)日:2023-12-29
申请号:CN202311457025.X
申请日:2023-11-03
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明提供一种超导X射线探测装置及系统,包括超导X射线探测器、双端读出电路和低温腔体;所述超导X射线探测器包括曲折蜿蜒成一定光敏面积大小的超导微米线条,所述超导X射线探测器用于在吸收X射线的光子后产生两个正负脉冲信号分别传向微米线两端;所述双端读出电路包括两个偏置器元件,两个偏置器元件的射频和直流端分别连接所述超导X射线探测器的微米线条两端,两个偏置器元件的射频端连接测试设备;在偏置器元件的作用下,所述双端读出电路将两个正负脉冲信号读出并基于测试设备的测试结果能确定X射线入射位置;所述低温腔体内置所述超导X射线探测器,用于提供测试环境。本发明能够实现X射线探测的高灵敏度、高空间分辨率探测。
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公开(公告)号:CN111584707B
公开(公告)日:2023-02-03
申请号:CN202010277519.X
申请日:2020-04-10
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明涉及一种用于SNSPD器件纳米线结构的双层胶剥离方法,采用ZEP‑520A电子束抗蚀剂作为双层胶的底层胶,AR‑P 6200型电子束抗蚀剂作为双层胶的顶层胶。本发明采用的两种抗蚀剂均可在邻二甲苯中显影,且去胶过程可于相同步骤中同时进行,工艺更为简单,通过与多种溶剂配合实现曲折纳米线结构的溶胶剥离;同时,利用两种抗蚀剂中心剂量的差距实现底切结构,具有流程简单、重复性好等优点。
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公开(公告)号:CN114353975A
公开(公告)日:2022-04-15
申请号:CN202111670181.5
申请日:2021-12-31
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: G01K7/00
Abstract: 本发明提供一种低温测试系统,所述低温测试系统包括固定平台、真空罩、制冷装置及探测装置;所述制冷装置包括制冷机、一级冷头、二级冷头、一级制冷冷平台及二级制冷冷平台;所述探测装置包括:室温端面板、一级探测冷平台、二级探测冷平台、芯片放置台及磁屏蔽罩。通过本发明解决了现有的需要液氦提供测试环境以及测试系统降温时间较长、芯片更换不方便的问题。
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公开(公告)号:CN113126332A
公开(公告)日:2021-07-16
申请号:CN202110474166.7
申请日:2021-04-29
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明提供一种马赫曾德尔电光调制器及调制方法,包括第一2×2MMI结构、第二2×2MMI结构及2个相位调制臂,其中,相位调制臂位于所述第一2×2MMI结构及第二2×2MMI结构之间,且相位调制臂的两侧具有DC电极及RF电极,以构成包括1个输入光波导及3个输出光波导的电光调制器;且电光调制器位于第一环境中,3个输出光波导分别与位于第二环境中的3个输出光纤耦合,且第一环境中的温度小于第二环境中的温度。本发明可减少光波在低温区域的耗散,从而可降低制冷能耗,同时,降低传输系统比特能耗;进一步的,电光调制器偏置在工作区域,使第一输出光波导输出最小光强,使得调制信号具有较高的消光比。
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公开(公告)号:CN110346040B
公开(公告)日:2021-06-18
申请号:CN201810288158.1
申请日:2018-04-03
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明提供一种宽谱微纳光纤耦合超导纳米线单光子探测器及其制备方法,包括:衬底;超导纳米线,位于衬底的表面;超导纳米线包括若干个平行间隔排布的直线部及位于相邻直线部之间以将各直线部依次首尾连接成曲折蜿蜒状的连接部;直线部的长度介于100μm~200μm;微纳光纤,位于衬底上,且横跨超导纳米线;光学胶,位于衬底上,且固化包覆于超导纳米线及所述微纳光纤的外围;光学胶具有预设折射率范围,以防止微纳光纤中的入射光泄露至光学胶及衬底。本发明的宽谱微纳光纤耦合超导纳米线单光子探测器可以实现对从可见光到近红外光较大范围波长的光均具有较高光吸收率,具有探测波长范围广、探测效率高及结构简单等优点。
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