公开(公告)号：CN108389958A

公开(公告)日：2018-08-10

申请号：CN201810068187.7

申请日：2018-01-24

申请人： 业成科技(成都)有限公司 ,  业成光电(深圳)有限公司 ,  英特盛科技股份有限公司

发明人： 松纳

IPC分类号： H01L41/083

摘要： 本申请涉及一种超声波振动元件及超声波传感器，用于接收外部驱动电压以发出超声波，超声波振动元件包括：压电层层叠组件；压电层层叠组件包括层叠的至少两层压电材料层；压电材料层的极化方向以交替地反转地方式在压电材料层的厚度方向上分层分布；压电层层叠组件还包括层叠于压电材料层表面的导电层；导电层用于使至少两层压电材料层以互相串联或并联的方式接收外部驱动电压。超声波传感器包括超声波振动元件。上述超声波振动元件及超声波传感器，通过设置层叠的，串并联的单层多极向的压电材料层叠组件，在不提高驱动电压且厚度较薄的前提下，增强超声波信号强度。从而使得超声波传感器的信噪比大幅提高。

公开(公告)号：CN108246593A

公开(公告)日：2018-07-06

申请号：CN201710400836.4

申请日：2017-05-31

申请人： 意法半导体股份有限公司

发明人： F·方希里诺 ,  F·F·维拉 ,  A·迪马特奥

IPC分类号： B06B1/06 ,  H01L41/083 ,  H01L41/31

摘要： 本发明涉及压电式微加工超声换能器及其制造方法。一种压电式微加工超声换能器(PMUT)(1)，包括：半导体本体(2)，该半导体本体具有第一空腔(6)和膜(8)，该膜悬置在该第一空腔(6)之上并且面向该半导体本体(2)的前侧(2a)；以及压电式换能器组件(16，18，20)，该压电式换能器组件至少部分地在该膜(8)之上延伸，该压电式换能器组件可被致动以用于生成对该膜(8)的偏转。第二空腔(4)延伸成掩埋在该膜(8)的外围区域(8a)中并且界定该膜(8)的中心区域(8b)。此外，该外围部分(8a)的刚度低于该中心部分(8b)的刚度。

公开(公告)号：CN108183163A

公开(公告)日：2018-06-19

申请号：CN201810015600.3

申请日：2018-01-08

申请人： 杭州士兰微电子股份有限公司

发明人： 季锋 ,  闻永祥 ,  刘琛

IPC分类号： H01L41/083 ,  H01L41/27

摘要： 本申请公开了一种超声波传感器的制造方法。所述方法包括：在半导体衬底中形成阱区，所述阱区围绕第一区域；在所述第一区域中形成掺杂区；在所述第一区域中形成空腔，所述掺杂区位于所述空腔的上方，并且包括到达所述空腔的多个开口；在所述掺杂区上方形成支撑层，所述支撑层封闭所述多个开口；以及在所述支撑层上形成压电叠层。该方法在压电叠层的下方形成空腔以减小应力影响和改善声学性能。

公开(公告)号：CN104904027B

公开(公告)日：2018-06-15

申请号：CN201480004637.6

申请日：2014-01-10

申请人： 罗伯特·博世有限公司

发明人： T.皮尔克 ,  A.克劳斯 ,  F.霍伊克 ,  S.莱迪希 ,  C.舍林

IPC分类号： H01L41/083 ,  H01L41/27 ,  H01L41/293

CPC分类号： H01L41/081 ,  H01L41/0815 ,  H01L41/083 ,  H01L41/0831 ,  H01L41/27 ,  H01L41/293 ,  H01L41/297 ,  Y10T29/43

摘要： 本发明涉及一种多层电极系统以及一种用于制造多层电极系统（300）的方法。该方法包括：提供载体衬底（100）的步骤，所述载体衬底具有在所述载体衬底（100）的上侧（102）中的凹陷（104），其中凹陷（104）的至少一个壁被构造为相对于载体衬底（100）的与上侧（102）相对的下侧倾斜；以及将多层堆叠施加到载体衬底（100）的上侧（102）上的步骤，所述多层堆叠至少具有第一电极层、第二电极层、以及布置在第一电极层与第二电极层之间的压电体层，其中凹陷（104）的所述至少一个壁和底部被多层堆叠的至少一个片段覆盖，以便形成多层电极系统（300）。

公开(公告)号：CN108140722A

公开(公告)日：2018-06-08

申请号：CN201680042207.2

申请日：2016-05-19

申请人： UBEAM有限公司

发明人： A·乔伊斯 ,  S·塔夫勒 ,  P·雷诺兹 ,  J·莱克

IPC分类号： H01L41/083 ,  G01N29/28 ,  B06B1/06

CPC分类号： B06B1/0666

摘要： 提供超声波换能器的系统和技术。基板可以包括主腔、副腔和通道。所述主腔可以具有比所述副腔深的深度。所述副腔可以具有比所述通道深的深度。第一台阶可以形成于所述主腔与所述副腔的交叠处。第二台阶可以形成于所述副腔与所述通道的交叠处。机电有源器件可以在所述第一台阶和所述第二台阶处附接于所述基板，使得所述机电有源器件的自由端悬在所述主腔的上方。膜可以连结于所述基板，使得膜覆盖所述主腔和所述副腔，并且所述膜连结于所述机电有源器件的自由端。

公开(公告)号：CN108140720A

公开(公告)日：2018-06-08

申请号：CN201680058982.7

申请日：2016-10-07

申请人： 日本特殊陶业株式会社

发明人： 柴田清人 ,  岩城范史 ,  江崎徹 ,  野村俊胜

IPC分类号： H01L41/047 ,  H01L41/083 ,  H01L41/09 ,  H01L41/107

CPC分类号： H01L41/0477 ,  H01L41/0471 ,  H01L41/0472 ,  H01L41/107

摘要： 提供：通过阻止Ag的迁移从而可以长时间维持良好的特性且可以延长寿命的压电元件、压电驱动器和压电变压器。为通过施加电压而伸缩的层叠型的压电元件(100)，具备：设置于元件主体表面的外部电极；与外部电极连接的内部电极(104)、(105)；和，与内部电极(104)、(105)交替层叠的压电层(103)，内部电极(104)、(105)或外部电极(106)、(107)中使用的电极材料具有由Ag与Pd以重量比为60/40～85/15构成的母材，相对于前述母材含有0.1wt％～10wt％的Pt。

公开(公告)号：CN105122839B

公开(公告)日：2018-05-29

申请号：CN201480012753.2

申请日：2014-12-25

申请人： 京瓷株式会社

发明人： 绪方一广 ,  堤内启太

IPC分类号： H04R7/04 ,  H01L41/083 ,  H01L41/09 ,  H01L41/293 ,  H01L41/311 ,  H04R17/00

CPC分类号： H04R17/10 ,  H01L41/083 ,  H01L41/0973 ,  H04R1/028 ,  H04R17/00 ,  H04R2499/13 ,  H04R2499/15

摘要： 本发明要解决的课题为提供一种在特定的频率下声压急剧变化得到抑制、声压特性平坦化从而能够传递高质量的声音信息的声音产生器及具备其的声音产生装置、便携终端、电子设备。本发明的声音产生器具备：双压电晶片型的压电元件(7)，其层叠有多个内部电极(2)以及多个压电体层(3)，并具有第1主面和相反侧的第2主面；和振动板(9)，其与压电元件(7)的第2主面接合，压电元件(7)具有第1主面侧的区域(7a)和第2主面侧的区域(7b)，在压电元件(7)的构成第1主面侧的区域(7a)的压电体层(3)和构成第2主面侧的区域(7b)的压电体层(3)中，相对介电常数以及密度之中的至少一者不同。

公开(公告)号：CN105451994B

公开(公告)日：2018-05-11

申请号：CN201480044828.5

申请日：2014-08-29

申请人： 三井化学株式会社

发明人： 谷本一洋 ,  吉田光伸 ,  西川茂雄

IPC分类号： B32B27/36 ,  B32B7/02 ,  C08L67/04 ,  H01L41/083 ,  H01L41/193

CPC分类号： H01L41/193 ,  B32B27/08 ,  B32B27/18 ,  B32B27/36 ,  B32B2307/306 ,  B32B2307/704 ,  B32B2307/718 ,  B32B2307/7246 ,  B32B2457/00 ,  H01L41/0533 ,  H01L41/45

摘要： 一种层合体，其具有高分子压电体和层(X)，所述高分子压电体含有重均分子量为5万～100万的具有光学活性的脂肪族系聚酯(A)，且通过DSC法得到的结晶度为20％～80％，所述层(X)与所述高分子压电体接触，且具有10mgKOH/g以下的酸值。

公开(公告)号：CN104835907B

公开(公告)日：2018-03-02

申请号：CN201510041458.6

申请日：2015-01-27

申请人： 韩国机械与材料研究院

发明人： 柳政湖 ,  朴燑洙 ,  尹云夏

IPC分类号： H01L41/18 ,  H01L41/083 ,  H01L41/33 ,  H01L43/10 ,  H01L43/12

摘要： 本发明涉及一种含压电(piezoelectric)纤维的复合体及包含该复合体的磁电复合材料层合体，该复合体包括：第一保护层，其一面形成有第一电极；第二保护层，其一面形成有第二电极；及压电纤维层，介于上述第一电极及第二电极之间，由以复合体的长度方向排列的一个以上的压电纤维构成；上述压电纤维由单晶压电材料构成并且上述单晶的 方向和复合体的厚度方向一致而上述单晶的 方向则和复合体的长度方向一致。

公开(公告)号：CN107743432A

公开(公告)日：2018-02-27

申请号：CN201680034313.6

申请日：2016-04-13

申请人： 大陆汽车有限公司

发明人： C.朱姆斯特鲁尔 ,  A.维尔德根

IPC分类号： B24C1/00 ,  B24C3/32 ,  H01L41/053 ,  H01L41/083 ,  H01L41/22 ,  H01L41/27

摘要： 本发明涉及用于制造压电的层堆叠（10）的方法，在所述方法中提供具有多个压电的陶瓷层（12）并具有多个能导电的内电极（14）的层堆叠（10），所述陶瓷层和内电极沿着纵轴（L）交替，其中陶瓷层（12）在自身表面（16）上具有第一区域（18）和第二区域（22），所述第一区域具有多晶组织结构(20)，所述第二区域具有仅仅以机械的方式附着在所述多晶组织结构（20）上的松脱的陶瓷材料（24），其中所述松脱的陶瓷材料（24）被从多晶组织结构（20）去除，而不损坏多晶组织结构（20）。本发明另外涉及层堆叠（10），所述层堆叠尤其是利用这样的方法所制造的。