使用旋转镜的表面等离子共振传感器

    公开(公告)号:CN101802592A

    公开(公告)日:2010-08-11

    申请号:CN200880103517.6

    申请日:2008-08-13

    发明人: 郑凤铉 慎容范

    IPC分类号: G01N21/25

    摘要: 本发明公开了一种具有旋转镜的表面等离子共振传感器,包括(a)用于振荡作为入射光的激光的入射光源单元;(b)使所述入射光偏振的偏振器;(c)用于反射所述偏振入射光以散发成盘状光的圆柱状或平面状的旋转镜;(d)允许所述盘状光部分地穿过、且位于所述旋转镜的中心轴线的附近的遮光膜;(e)用于将穿过所述遮光膜的所述光聚焦在其上的圆柱状透镜;(f)用于接收聚焦在所述柱状透镜的所述光以产生表面等离子共振的金属薄膜;(g)设置在所述金属薄膜之下的介电介质;以及(h)探测所述从所述金属薄膜反射的光的探测器。该表面等离子共振传感器能够解决现有技术中激光作为入射光获得用于检测角度的图像和二维被反射光强度时出现的干涉问题,包括图像质量的恶化和取决于入射位置的光强度的变动。

    光学聚焦装置
    74.
    发明公开

    公开(公告)号:CN101467026A

    公开(公告)日:2009-06-24

    申请号:CN200780021283.6

    申请日:2007-04-16

    发明人: 吕彤欣 王笑寒

    IPC分类号: G01N21/55 G01N21/00

    摘要: 本发明揭示了一种光学测量和/或检测装置,在应用中可用来检测半导体器件。它包括:光源,用于提供光线;具有内反射面的半抛物面反射器,其中,该反射器具有焦点和概要轴。一个待测器件置于该焦点附近。进入反射器的平行于所述概要轴的入射光线被导向至焦点并在该待测器件上反射离开,从而产生指示该待测器件的信息,然后,反射光线离开该反射器。探测器收集反射出来的光线并对其进行分析从而确定该待测器件的特征。

    检查用照明装置及检查系统

    公开(公告)号:CN106415247A

    公开(公告)日:2017-02-15

    申请号:CN201580026658.2

    申请日:2015-08-04

    发明人: 增村茂树

    IPC分类号: G01N21/84

    摘要: 本发明提供一种检查用照明装置,所述检查用照明装置在由被检查对象的特征仅产生少许的反射、透射、散射上的变化,也可在一定的条件下,能够辨别拍摄装置的观察立体角内的光的变化量。具体而言,即使反射、透射、散射的变化极小的特征也可以检测出来。在所述检查用照明装置中包括:面光源(1),射出检查光;至少一个遮光罩(M1),位于所述面光源(1)和所述检查对象(W)之间;以及透镜(2),配置在比所述遮光罩(M1)离所述检查对象(W)近的一侧,以使所述遮光罩位于以该透镜的焦点位置为中心的位置。从所述面光源(1)发出的光因透镜(2)照射到所述检查对象(W)时形成的、对所述检查对象(W)的检查光的照射立体角上,形成由因述遮光罩(M1)形成的暗部区域,根据被检查对象的特征点产生的反射、透射、散射的变化,可改变所述检查光的照射立体角的形状、大小及倾斜角。

    用于同时测量白度和涂覆量的装置

    公开(公告)号:CN105980834A

    公开(公告)日:2016-09-28

    申请号:CN201380081681.2

    申请日:2013-12-26

    申请人: POSCO公司

    发明人: 洪在和

    IPC分类号: G01N21/3563 G01N21/55

    摘要: 根据本发明的一个实施方案,一种用于同时测量白度和涂覆量的装置,其包括:发光单元,其被布置在距试样预定距离处并且用光照射该试样;滤波器单元,其被布置在所述发光单元与所述试样之间并且使红外光或可见光选择性地透过;检测单元,其被布置在距试样预定距离处并且检测由试样反射的红外光或可见光;以及计算单元,其被连接到所述检测单元上,根据由检测单元检测到的红外光的量计算涂覆量,并且根据由检测单元检测到的可见光的量计算白度。由于通过根据本发明一个实施方案的用于同时测量白度和涂覆量的装置,可以测量白度和涂覆量,因此可以提高工作效率并且可以降低设备的资本支出。